特長
- 高速加熱処理が可能
- 水冷メタルチャンバ式のコールドウォール構造で高速冷却が可能
- 真空置換後のガスフローも可能
- お手持ちのパソコンから温度プログラム設定や外部信号の入力が簡単に実行可能
- 加熱中の温度データをパソコン上に表示することが可能
- チャンバ内、汚れ防止に石英防着板取り付け可能（オプション）
- 9ゾーン出力制御により優れた温度分布と再現性が可能
構成
- 赤外線ゴールドイメージ炉
- 熱処理チャンバ
- プログラム温度コントローラ
- 9ゾーン出力ユニット
- スパン切換ユニット
- ガス配管系
- 熱気排気装置
- 架台・配電盤
- パイロメータ（オプション）
- 冷却水循環装置（オプション）
- 真空排気装置（オプション）
仕様
| RTP-6 | |
|---|---|
| 温度範囲 | RT ～ 1100℃ |
| 試料寸法 | 標準 φ6インチウエハ 1枚 （φ4インチ または φ5インチ用はオプション） |
| 雰囲気 | ガス中、ガスフロー中、大気中、真空中 （真空排気装置はオプション） |
| 加熱方式 | 放物面反射赤外線ランプによる上部片面加熱方式 （下部方向加熱方式も可能） |
| 最大加熱速度 | 80℃ /sec |
| 均熱精度 | ⊿t＝10℃（800℃保持時、N₂中） |
| 制御センサ | 標準：熱電対 JIS “K” （SiCコート付カーボンサセプタに挿入方式） オプション：パイロメータ |
| 装置寸法 | 約W600×D1000×H1700（mm） 突起物を除く |
