赤外線ランプ加熱装置│アドバンス理工社製（RTP-6）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 赤外線ランプ加熱装置│アドバンス理工社製（RTP-6）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 RTP-6 メーカー アドバンス理工㈱
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製品説明
温度範囲：RT ～ 1100℃
試料寸法：標準 φ6インチウエハ 1枚（φ4インチ または、φ5インチ用はオプション）
雰囲気：ガス中、ガスフロー中、大気中、真空中（真空排気装置はオプション）
加熱方式：放物面反射赤外線ランプによる上部片面加熱方式（下部方向加熱方式も可能）
最大加熱速度：80℃ /sec
均熱精度：⊿t＝10℃ at 800℃ hold N2中
制御センサ：標準 熱電対 JIS”K”（SiCコート付カーボンサセプタに挿入方式）、パイロメータ（オプション）
装置寸法：約W600×D1000×H1700（mm） 突起物を除く
【用途】
赤外線ゴールドイメージ炉
熱処理チャンバ
プログラム温度コントローラ
9ゾーン出力ユニット
スパン切換ユニット
ガス配管系
熱気排気装置
架台・配電盤
パイロメータ（オプション）
冷却水循環装置（オプション）
真空排気装置（オプション）
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
- 高速加熱処理が可能
- 水冷メタルチャンバ式のコールドウォール構造で高速冷却が可能
- 真空置換後のガスフローも可能
- お手持ちのパソコンから温度プログラム設定や外部信号の入力が簡単に実行可能
- 加熱中の温度データをパソコン上に表示する事が可能
- チャンバ内、汚れ防止に石英防着板取り付け可能（オプション）
- 9ゾーン出力制御により優れた温度分布と再現性が可能
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