特長
- 平行移動式試料ホルダにより安定した測定が可能
- 読み取り分解能1nmの超精密測定
- 石英試料を用いれば、厚さ50～500μmのフィルムや薄板の厚さ方向の測定も可能
用途
- 有機フィルムの厚さ方向膨張測定
- 低膨張ガラスの高精度膨張測定
- 低膨張金属材料の品質管理測定
- 封止材の膨張測定
- 各種電子部材の精密熱膨張測定
- 標準熱膨張計の校正試料の測定
仕様
| LIX-2M | LIX-2L | |
|---|---|---|
| 温度範囲 | RT ～ 700℃ | －150 ～ 200℃ |
| 試料寸法 | φ3～6㎜×長さ10㎜～15㎜ 長さ方向の両端は球面仕上げ | φ3～6㎜×長さ10㎜～15㎜ 長さ方向の両端は球面仕上げ |
| 測定雰囲気 | ①真空中 ②低圧高純度Heガス中 | ①真空中 ②低圧高純度Heガス中 |
| 測定方法 | 二重光路マイケルソン型レーザ光干渉方式 | 二重光路マイケルソン型レーザ光干渉方式 |
| 設置床面積 | 本体 約 W2000㎜ × D800㎜ | 本体 約 W2000㎜ × D800㎜ |
特許・規格
JISR3251-1995に準拠 平行移動式試料ホルダ（特許）
