特長
- ダイヤモンドからポリマーまでの広範囲の薄板材料の面内方向熱拡散率測定が可能
- 厚さ3～500μmの自立したシート、フィルム、線材、繊維など幅広い形態の材料に対応
- 示差法により、基板上に成膜された厚さ100nm～1000nmの薄膜の熱伝導率が測定可能（※室温のみ）
- 簡単な操作で測定可能
- 専用ソフトウェアによる制御、測定および解析が可能
- 本体はすべての光学、制御、計測システムをコンパクトに一体化
用途
- CVDダイヤモンド、窒化アルミニウムなどの高熱伝導率薄板材料（厚さ＜500μm）の熱拡散率／熱伝導率測定
- 銅、ニッケル、ステンレスなどの金属薄板材料（厚さ＜5μm）の熱拡散率／熱伝導率測定
- ガラス、樹脂材料などの低熱伝導薄板材料（厚さ＜500μm）の熱拡散率／熱伝導率測定
- 異方性を有する高熱伝導率グラファイトシート（厚さ＜100μm）、ポリイミドやPETなどの高分子フィルム（厚さ＞5μm）の熱拡散率／熱伝導率測定
- ガラス基板（厚さ30μm）上に成膜された窒化アルミニウム・酸化アルミニウム薄膜（厚さ0.03mm）の熱伝導率測定
- ガラス基板（厚さ0.03mm）上に成膜されたDLC薄膜（厚さ＞1μm）の熱伝導率測定
- PET基板（厚さ0.1mm）上に成膜された有機色素薄膜（厚さ100～300nm）の熱伝導率測定
- スパッタリング用各種ターゲット材料の評価
※測定条件については、材料・物性値により変動します。記載されている条件は目安です。
仕様
| LaserPIT-R | LaserPIT-M2 | |
|---|---|---|
| 温度範囲 | RT | RT～200℃ |
| AC電源 | レーザダイオード（685nm、30mW） | レーザダイオード（685nm、30mW） |
| 試料寸法（自立した薄板） | 幅2.5～5mm×長さ30mm×厚さ3～500μm | 幅2.5～5mm×長さ30mm×厚さ3～500μm |
| 試料寸法（基板上の薄膜） | 幅2.5～5mm×長さ30mm×厚さ100nm～1000nm | 幅2.5～5mm×長さ30mm×厚さ100nm～1000nm |
| 測定周期 | 0.05～10/s | 0.05～10/s |
| 測定雰囲気 | 真空中 | 真空中 |
