2ω法ナノ薄膜熱伝導率計│アドバンス理工社製（TCN-2ω）製品紹介│三弘エマテック株式会社

2ω法ナノ薄膜熱伝導率計│アドバンス理工社製（TCN-2ω）製品紹介│三弘エマテック株式会社

型式	TCN-2ω
メーカー	アドバンス理工㈱

測定温度：RT

試料寸法：幅10mmX長10～20ｍｍX厚0.3～1mm（基板）

測定雰囲気：真空中

【特許・規格】

熱物性測定方法（特許第5426115号）

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

●基板上に形成された20～1000nmの薄膜の厚さ方向の熱伝導率測定が可能

●サーモリフレクタンス法を用いた温度振幅検出による測定を実現

●測定試料の前処理が容易

●Low-K絶縁膜の熱抵抗を数値化し半導体デバイスの熱設計に

●絶縁膜の開発および放熱性の改良

●熱電薄膜への応用評価

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