2ω法ナノ薄膜熱伝導率計│アドバンス理工社製（TCN-2ω）

アドバンス理工社製の2ω法ナノ薄膜熱伝導率計（TCN-2ω）は、2ω法を用いて基板上に形成された20～1000nmのナノ薄膜の厚さ方向の熱伝導率を高精度かつ簡便に測定できる装置です。サーモリフレクタンス法による温度振幅検出を採用し、試料前処理も容易です。主にLow-K絶縁膜や熱電薄膜の開発・評価、半導体デバイスの熱設計などに利用され、真空中での測定に対応しています。