特長
- 装置内部に除振メカニズムを内包することで、振動外乱の影響を防ぎ、一般的な分析用電子天秤（分解能0.01mg）を安定使用できる程度の環境で測定が可能
- レーザ波長（632.8nm）を基準にして、試料の変位量測定を行い、光学素子を一体化することで迷光を排除し、干渉縞信号のS/N比が向上
- 特別な変位較正のための測定や操作は不要
- 干渉縞をイメージ・センサーで検出し、画像処理することにより、試料測定中においても変位（膨張・収縮）量を高分解能（１nm）で算出し、膨張率の確認が可能
（特願2016-058190、058191、058192）
用途
- ゼロ膨張材料の開発
- 負極負熱膨張材料の開発
- 標準材料の開発
- アクチュエータ材料の開発
仕様
| SuperLIX | |
|---|---|
| 温度範囲 | 標準型0℃～50℃（高精度恒温循環システム使用） |
| 試料寸法 | φ5又は☐5±0.5mm×長さ12～20mm （標準試料寸法φ5×20mmL、標準的な試料として端面R加工） |
| 測定雰囲気 | 減圧He雰囲気 |
| 測定方法 | 二重工路式マイケルソン型レーザー干渉方式 |
| 設置床面積 | 約1,200mm(W)×760mm(D)×1,600mm(H) |
※チャンバー取外し時2,500mm(H)以上スペースが必要です。
特許・規格
- JISR3251-1990に準拠
- 特願2016-058190、058191、058192
