クライオポンプ│アルバッククライオ社製（CRYO-Uシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- クライオポンプ│アルバッククライオ社製（CRYO-Uシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 CRYO-Uシリーズ メーカー アルバッククライオ㈱
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製品説明
標準型のクライオポンプで、各種サイズ（４インチから30インチ口径）を取り揃えております。
バンドヒーター、クライオ温度計、自動再生装置など各種オプションを取り揃えております。
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
●他のポンプでは得られないクリーンな真空が得られます。
●すべての期待が排気できます。
●液体窒素が不要なので安いランニングコストでご使用頂けます。
●どのような方向にも取り付けられます。
●コンパクトなデザインで軽量です。
●操作が簡単です。
●イオンポンプやターボ分子ポンプに比べて大きな排気速度が得られます。
～用途～
●真空蒸着装置
●スパッタリング装置
●イオン注入装置
●半導体プロセス装置
●加速器
●核融合装置
●表面分析装置
●スペースチャンバ
●その他清浄な高真空、超高真空が要求される装置
CRYO-U4H仕様
排気速度（20℃）：窒素450L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr)
吸気口フランジ：ISO-K DN100
※メンテナンスインターバル：16,000時間
CRYO-U6H仕様
排気速度（20℃）：窒素750L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr)
吸気口フランジ：UVG-150, UFC-203
※メンテナンスインターバル：16,000時間
CRYO-U8H仕様
排気速度（20℃）：窒素1,700L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr)
吸気口フランジ：UVG-200, 6BANSI, UFC-253
※メンテナンスインターバル：16,000時間
CRYO-U10H仕様
排気速度（20℃）：窒素2,400L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr)
吸気口フランジ：UVG-250
※メンテナンスインターバル：16,000時間
CRYO-U12H仕様
排気速度（20℃）：窒素4,000L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr)
吸気口フランジ：UVG-300, 10BANSI
※メンテナンスインターバル：16,000時間
CRYO-U16/U16P仕様
排気速度（20℃）：窒素5,000L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr)
吸気口フランジ：UVG-400
※メンテナンスインターバル：16,000時間
CRYO-U20P仕様
排気速度（20℃）：窒素10,000L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr)
吸気口フランジ：UVG-500
※メンテナンスインターバル：16,000時間
CRYO-U20H仕様
排気速度（20℃）：窒素10,000L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr)
吸気口フランジ：UVG-500, 20BANSI, ISO-500
※メンテナンスインターバル：16,000時間
CRYO-U22P仕様
排気速度（20℃）：窒素11,500L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr)
吸気口フランジ：UVG-550
※メンテナンスインターバル：16,000時間
CRYO-U22WB仕様
排気速度（20℃）：窒素13,000L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr)
吸気口フランジ：UVG-550
※メンテナンスインターバル：16,000時間
CRYO-U22H仕様
排気速度（20℃）：窒素17,000L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr)
吸気口フランジ：UVG-550
※メンテナンスインターバル：16,000時間
CRYO-U30H仕様
排気速度（20℃）：窒素28,000L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹)Ｐa(Torr)
吸気口フランジ：VG-750
※メンテナンスインターバル：16,000時間
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