特長
フロン系コールドトラップ代替として活躍
従来のフロンを使用したコールドトラップに代わる技術として、環境負荷を軽減しつつ、同等以上の性能を提供します。
- 排気時間を大幅に短縮し、装置の稼働率向上に寄与します。
- ヘリウムガスを使用しているので、地球温暖化係数0。
（代替フロンは、地球温暖化係数が1,600～3,800） - フロン系コールドトラップと同等以上の性能。
- 冷却、昇温が各々10分以内で完了。
- 水分子に対する有効排気速度：10,000～100,000L/s。
- 軽量、コンパクトで、施工が簡単。
（設置スペースは、フロン系コールドトラップの約1/3） - 水分の多いバッチ式装置、光学用成膜装置等に最適
（あらゆる真空装置に使用可能）
仕様
| TS10 | TS14 | TS22 | |
|---|---|---|---|
| 適用チャンバー | φ600～800mm | φ600～1,000mm | φ1,100～1,300mm |
| クライオパネルサイズ | 200X200mm | 250X250mm | 400X400mm |
