クライオポンプ│アルバッククライオ社製（Speed TSシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社

クライオポンプ│アルバッククライオ社製（Speed TSシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社

型式	Speed TSシリーズ
メーカー	アルバッククライオ㈱

TS10

適用チャンバー：φ600～800mm

クライオパネルサイズ：200X200mm

TS14

適用チャンバー：φ600～1,000mm

クライオパネルサイズ：250X250mm

TS22

適用チャンバー：φ1,100～1,300mm

クライオパネルサイズ：400X400mm

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

フロン系コールドトラップ代替

●排気時間を大幅に短縮し、装置の稼働率向上に寄与します。

●ヘリウムガスを使用しているので、地球温暖化係数0。

（代替フロンは、地球温暖化係数が1,600～3,800）

●フロン系コールドトラップと同等以上の性能。

●冷却、昇温が各々10分以内で完了。

●有効排気速度：10,000～100,000L/s。

●軽量、コンパクトで、施工が簡単。

（設置スペースは、フロン系コールドトラップの約1/3）

●水分の多いバッチ式装置、光学用成膜装置等に最適

（あらゆる真空装置に使用可能）

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