Speed TSシリーズ│アルバッククライオ社製（クライオポンプ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- Speed TSシリーズ│アルバッククライオ社製（クライオポンプ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 Speed TSシリーズ メーカー アルバッククライオ㈱
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製品説明
TS10
適用チャンバー：φ600～800mm
クライオパネルサイズ：200X200mm
TS14
適用チャンバー：φ600～1,000mm
クライオパネルサイズ：250X250mm
TS22
適用チャンバー：φ1,100～1,300mm
クライオパネルサイズ：400X400mm
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
フロン系コールドトラップ代替
●排気時間を大幅に短縮し、装置の稼働率向上に寄与します。
●ヘリウムガスを使用しているので、地球温暖化係数0。
（代替フロンは、地球温暖化係数が1,600～3,800）
●フロン系コールドトラップと同等以上の性能。
●冷却、昇温が各々10分以内で完了。
●有効排気速度：10,000～100,000L/s。
●軽量、コンパクトで、施工が簡単。
（設置スペースは、フロン系コールドトラップの約1/3）
●水分の多いバッチ式装置、光学用成膜装置等に最適
（あらゆる真空装置に使用可能）
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