スパッタリングプロセス用クライオポンプ│アルバッククライオ社製（CRYO-SPシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- スパッタリングプロセス用クライオポンプ│アルバッククライオ社製（CRYO-SPシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 CRYO-SPシリーズ メーカー アルバッククライオ㈱
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製品説明
CRYPO-U8HSP
排気速度（20℃）窒素：1,700L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹）Pa(Torr)
吸気口フランジ：UVG-200,6BANSI,UFC-253
※メンテナンスインターバル：16,000時間
※移動ベースはオプションです
CRYPO-U10HSP
排気速度（20℃）窒素：2,400L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹）Pa(Torr)
吸気口フランジ：UVG-250,10BANSI
※メンテナンスインターバル：16,000時間
※移動ベースはオプションです
CRYPO-U12HSP
排気速度（20℃）窒素：4,100L/s
到達圧力：10⁻⁷(10⁻⁹）Pa(Torr)
吸気口フランジ：UVG-300,10BANSI
※メンテナンスインターバル：16,000時間
※移動ベースはオプションです
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
●クラス最高の排気容量
排気容量をUPすることにより再生インターバルが長くなり、装置の稼働率の向上に貢献
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