特長
クラス最高の排気容量
排気容量をUPすることにより再生インターバルが長くなり、装置の稼働率の向上に貢献します。
CRYO-U8HSP
- スパッタリングプロセスに最適。
- アルゴンの排気量は従来機種(U8H)の約2.5倍。
- 水素の排気速度は従来機種(U8H)の約1.2倍に向上。
- 再生までのインターバルが長くなり、装置の稼働率の向上に貢献。
- マルチ運転（最大3台）が可能。
CRYO-U12HSP
- アルゴンの排気容量は標準機種(U12H)の約2倍。
- 水素の排気容量は標準機種(U12H)約1.5倍。
- 再生までのインターバルが長くなり、装置の稼働率の向上に貢献。
仕様
| CRYO-U8HSP | CRYO-U10HSP | CRYO-U12HSP | |
|---|---|---|---|
| 排気速度（20℃） | 窒素：1,700L/s | 窒素：2,400L/s | 窒素：4,100L/s |
| 到達圧力 | 10⁻⁷(10⁻⁹)Pa(Torr) | 10⁻⁷(10⁻⁹)Pa(Torr) | 10⁻⁷(10⁻⁹)Pa(Torr) |
| 吸気口フランジ | UVG-200 6BANSI UFC-253 |
UVG-250 10BANSI |
UVG-300 10BANSI |
※メンテナンスインターバル：16,000時間
※移動ベースはオプションです。
