特長
多様な真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&Dまで幅広く活用が可能です。
コストパフォーマンス抜群
差動排気系付きのため、プロセスモニタリングからRGA（残留ガス分析）まで、1台で幅広く対応可能です。
大気圧分析も可能
分析圧力として、大気圧を含む3000Pa、500Pa、100Pa、10Pa、1Paから選択可能です。
低騒音設計
運転音は43dB(A)以下の静音設計で、作業環境に優れています。
仕様
| Qulee with YTP-H | |
|---|---|
| ガス分析計 | BGM2-101, BGM2-102, BGM2-201, BGM2-202, HGM2-302 から選択 |
| 最大サンプリング圧力 | 大気圧, 3000Pa, 500Pa, 100Pa, 10Pa, 1Pa から選択 |
| 排気ユニット | Desktop YTP (YTP-70A-D) |
| ターボ分子ポンプ | 70L/s (N₂) |
| ドライポンプ | 20L/min（ダイアフラム型） |
| 到達圧力 | 10⁻⁶ Pa 台 |
