走査型オージェ電子分光分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI 4800）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 PHI 4800 メーカー アルバック・ファイ㈱
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製品説明
設置要項
構成：装置本体/電気系本体/コンピューター用テーブル
装置本体 重量：1155kg
電気系本体、テーブル 重量：480kg
搬入間口：幅 120cm以上、高さ 195cm以上
性能
最小ビーム径：15nm@15kV
感度：2.5Mcos@10kV, 10nA, (⊿Ｅ/Ｅ:0.4％)
検出器：マルチチャンネル検出器（32チャンネル）
ステージ：5軸モータ制御
試料ホルダーサイズ：φ25.4mm, φ60mm
イオン銃加速電圧：0～5kV可変
イオン銃ラスター範囲：最大4mmX4mm
到達圧力：6.7X10⁻⁸Pa以下
オプション
トランスファーベッセル、6試料パーキング・冷却破断機構、イントロ高真空ゲージ、背面反射電子検出器など
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
最高感度の次世代オージェ
●従来比5倍の高感度オージェ
●ハイスループット分析
●低損傷分析
微小部の化学状態分析
●化学状態マップ
●化学状態デプスプロファイル
絶縁物試料を用意に帯電中和
●低エネルギーイオンを用いた帯電中和
自動測定によるハイスループット分析
●多試料の自動測定分析
●Windows®ソフトウェアによる容易な操作
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