走査型デュアルX線光電子分光分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI Quantes）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 走査型デュアルX線光電子分光分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI Quantes）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 PHI Quantes メーカー アルバック・ファイ㈱
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製品説明
設置要項
構成：装置本体/ロータリーポンプ/冷却水ユニット/コンピューター用テーブル
本体重量：1105kg
搬入間口：幅130cm以上、高さ185cm以上
電力：200-230V 単相 50 A 50/60Hz 1系統
性能
●エネルギー掃引範囲：0～5,450cV
●最高エネルギー分解能(Ag 3d5/2)：Cr 0.85 eV以下 Al 0.48eV以下
●最大感度(Ag 3d5/2,半値幅1.3eV以下)：Cr 10,000cps Al 3,000,000cps
●最小分析径(20%-80%, ナイフエッジ方)：Cr 14μｍ以下 Al 7.5μｍ以下
●Ｘ線スキャン範囲：最大1.4mmX1.4mm（連続可変）
●イオン銃加速電圧：0～5kV
●イオン銃ラスター範囲：最大5mmX5mm（連続可変）
●到達圧力：6.7X10⁻⁸Pa以下
オプション
アルゴンガスクラスターイオン銃、サンブルポジショニングステーション(SPS)、トランスファーベッセル、処理室用補助チャンバー、試料加熱・冷却機構など
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
硬X線を搭載した走査型デュアルX線光電子分光分析装置
●走査型デュアルモノクロX線源
●2線源による容易な同領域測定
●ターンキー帯電中和
●自動分析
●高耐圧アナライザ
2つの異なるエネルギー線源で広がる応用範囲
●情報深さの違い
●2線源による角度分解測定
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