特長
硬X線を搭載した走査型デュアルX線光電子分光分析装置
- 走査型デュアルモノクロX線源
- 2線源による容易な同領域測定
- ターンキー帯電中和
- 自動分析
- 高耐圧アナライザ
2つの異なるエネルギー線源で広がる応用範囲
- 情報深さの違い
- 2線源による角度分解測定
仕様
| PHI Quantes | |
|---|---|
| 構成 | 装置本体 / ロータリーポンプ / 冷却水ユニット / コンピューター用テーブル |
| 本体重量 | 1105kg |
| 搬入間口 | 幅130cm以上、高さ185cm以上 |
| 電力 | 200-230V 単相 50A 50/60Hz 1系統 |
| エネルギー掃引範囲 | 0～5,450eV |
| 最高エネルギー分解能（Ag 3d5/2） | Cr 0.85eV以下 / Al 0.48eV以下 |
| 最大感度（Ag 3d5/2, 半値幅1.3eV以下） | Cr 10,000cps / Al 3,000,000cps |
| 最小分析径（20%-80%, ナイフエッジ法） | Cr 14μm以下 / Al 7.5μm以下 |
| X線スキャン範囲 | 最大1.4mm × 1.4mm（連続可変） |
| イオン銃加速電圧 | 0～5kV |
| イオン銃ラスター範囲 | 最大5mm × 5mm（連続可変） |
| 到達圧力 | 6.7×10⁻⁸Pa以下 |
オプション
- アルゴンガスクラスターイオン銃
- サンプルポジショニングステーション（SPS）
- トランスファーベッセル
- 処理室用補助チャンバー
- 試料加熱・冷却機構
