製作実績
極微少He洩れ検査装置（真空法）
- 対象ワーク：アキュームレータ
- チャンバー容積：1L
- タクト：20sec
- 判定値：1E-9Pa・㎥/s
- 特徴：極微少洩れ高速検査、インデックスを用いた自動検査
大型He洩れ検査装置（真空法）
- 対象ワーク：アルミケース
- チャンバー容積：1000L
- タクト：100s
- 判定値：1.67E-4Pa・㎥/s
- 特徴：多重構造、内部洩れ検査、自動段替え
He洩れ検査・組立装置（真空法）
- 対象ワーク：アルミケース
- チャンバー容積：100L
- タクト：50s
- 判定値：8.44E-5Pa・㎥/s
- 特徴：サーボを用いた高精度圧入とHe洩れ検査の複合機
超高圧He洩れ検査装置（真空法）
- 対象ワーク：水素部品
- チャンバー容積：100L
- 圧力：130MPa・G
- タクト：90s
- 判定値：8.44E-5Pa・㎥/s
- 特徴：ワークへの超高圧加圧から洩れ検査までを全自動で実施
He洩れ検査装置（真空法）
- 対象ワーク：燃料系部品
- チャンバー容積：50L
- タクト：30s
- 判定値：8.44E-5Pa・㎥/s
- 特徴：真空チャンバー内での駆動構造並びに信号確認可能な治具設計
He洩れ検査装置（大気圧法）
- 対象ワーク：全般
- チャンバー容積：40~1000L
- タクト：40~120s
- 判定値：8.44E-5~1.67E-3Pa・㎥/s
- 特徴：真空ﾁｬﾝﾊﾞｰが不要、比較的大きなワークも検査可能、ローコスト（イニシャル/ランニング共に）
Air洩れ検査装置
- 対象ワーク：燃料系部品
- ワーク容積：10cc
- タクト：40s
- 判定値：0.05~0.1cc/min
- 特徴：Airリークテスターはご指定機種で対応可能