質量ガス分析計ハイパフォーマンス│インフィコン社製（Transpector MPH）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 質量ガス分析計ハイパフォーマンス│インフィコン社製（Transpector MPH）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 Transpector MPH メーカー インフィコン㈱
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製品説明
MPH 100F
質量範囲：1～100amu
検出器：FC
全圧測定範囲：2.7X10⁻⁵～6.7X10⁻²Pa
最大動作圧力：6.7X10⁻²Pa
接続フランジ：ICF70(DN40CF)
MPH100M
質量範囲：1～100amu
検出器：FC/EM
全圧測定範囲：2.7X10⁻⁵～6.7X10⁻²Pa
最大動作圧力：6.7X10⁻²Pa
接続フランジ：ICF70(DN40CF)
MPH200F
質量範囲：1～200amu
検出器：FC
全圧測定範囲：2.7X10⁻⁵～6.7X10⁻²Pa
最大動作圧力：6.7X10⁻²Pa
接続フランジ：ICF70(DN40CF)
MPH200M
質量範囲：1～200amu
検出器：FC/EM
全圧測定範囲：2.7X10⁻⁵～6.7X10⁻²Pa
最大動作圧力：6.7X10⁻²Pa
接続フランジ：ICF70(DN40CF)
MPH300F
質量範囲：1～300amu
検出器：FC
全圧測定範囲：2.7X10⁻⁵～6.7X10⁻²Pa
最大動作圧力：6.7X10⁻²Pa
接続フランジ：ICF70(DN40CF)
MPH300M
質量範囲：1～300amu
検出器：FC/EM
全圧測定範囲：2.7X10⁻⁵～6.7X10⁻²Pa
最大動作圧力：6.7X10⁻²Pa
接続フランジ：ICF70(DN40CF)
特徴
●高真空環境下の残留ガス分析計(RGA)ハイパフォーマンスモデル
●残留ガスのデータ収集、リアルタイムモニタリングが可能になります
●質量範囲は1-100amu、1-200amu、1-300amuから選択可能
●検出器はファラデーアップ(FC)仕様、電子倍増管(EM)仕様を推奨
●低濃度のガス検出能力を必要とする場合は電子倍増管(EM)仕様を推奨
●超高速データ収集（最速Dwell Time=1.8ms)
●イットリアコート・イリジウム/タングステン フィラメントを選択可能
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