高真空アングルバルブ自動：複動･単動［ノーマルオープン・クローズ］│入江工研社製（1FLV SERIES）製品紹介│三弘エマテック株式会社

高真空アングルバルブ自動：複動･単動［ノーマルオープン・クローズ］│入江工研社製（1FLV SERIES）製品紹介│三弘エマテック株式会社

型式	1FLV SERIES
メーカー	入江工研㈱

自動型：複動D,単動C（ノーマルクローズ）,単動O（ノーマルオープン）

LX：長寿命タイプ

(LX)1FLV-16D.C.O　フランジ：NW16

(LX)1FLV-25D.C.O　フランジ：NW25

(LX)1FLV-40D.C.O　フランジ：NW40

(LX)1FLV-50D.C.O　フランジ：NW50

(LX)1FLV-63D.C.O　フランジ：NW63

(LX)2FLV-70D.C.O　フランジ：NW70

(LX)2FLV-114D.C.O　フランジ：NW114

(LX)3FLV-25D.C.O　フランジ：NW25

(LX)3FLV-40D.C.O　フランジ：NW40

(LX)3FLV-50D.C.O　フランジ：NW50

(LX)3FLV-65D.C.O　フランジ：NW65

使用圧力　大気圧～1X10⁻⁶Pa

リーク量　<1X10⁻10Pa・㎥/s

寿命回数　☐FLV（自動）10万回　☐FLV（手動）5万回　LX-☐FLV（自動）100万回

操作圧力　0.5～0.6MPa（自動）

ベークアウト温度（耐熱温度）　バルブボディ 120℃(MAX)

　　　　　　　　　　　　　　　ニューマチックアクチュエータ 65℃(MAX)

　　　　　　　　　　　　　　　電磁弁付きの場合 50℃

主要構成材料　バルブボディ：SUS304

　　　　　　　ベローズ：SUS316L（☐FLV）

　　　　　　　ハステロイ®C-22(LX-☐FLV)

　　　　　　　シリンダ：アルミニウム

　　　　　　　弁座シール：バイトン®

　　　　　　　ボンネットシール：バイトン®

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