高真空アングルバルブ手動│入江工研社製（1FLV SERIES 手動/Manual）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 1FLV SERIES 手動/Manual メーカー 入江工研㈱
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製品説明
手動型：複動D,単動C（ノーマルクローズ）,単動O（ノーマルオープン）
1FLV-16M フランジ：NW16
1FLV-25M フランジ：NW25
1FLV-40M フランジ：NW40
1FLV-50M フランジ：NW50
1FLV-63M フランジ：NW63
特徴
使用圧力 大気圧～1X10⁻⁶Pa
リーク量 <1X10⁻10Pa・㎥/s
寿命回数 ☐FLV（手動）5万回
操作圧力 0.5～0.6MPa（自動）
ベークアウト温度（耐熱温度） バルブボディ 120℃(MAX)
ニューマチックアクチュエータ 65℃(MAX)
電磁弁付きの場合 50℃
主要構成材料 バルブボディ：SUS304
ベローズ：SUS316L（☐FLV）
ハステロイ®C-22(LX-☐FLV)
シリンダ：アルミニウム
弁座シール：バイトン®
ボンネットシール：バイトン®
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