揺動ピストン型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DOPシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 揺動ピストン型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DOPシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 DOPシリーズ メーカー アルバック機工㈱
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製品説明
大排気量でコンパクトサイズのドライ真空ポンプです。
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプです。
用途に合わせて選べる豊富なラインナップを揃えています。
【用途】
近年の半導体製造産業、エレクトロニクス機器産業の急速な発展に伴って、ダイアフラム真空ポンプの需要も拡大
ICのウェハ吸着装置、真空チャック、フィルム吸着、自動機械、包装機械、
光学機械、真空ピンセット、医療用機械、印刷機械、真空排気、真空濃縮、ろ過、脱ガス脱泡など
特徴
・自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計です。
・大気圧から作動が可能です。
・シンプル構造で、メンテナンスが容易です。
DOP-40D仕様
実行排気速度：50Hz⇒40L/min（2.4㎥/h） 60Hz⇒44L/min（2.64㎥/h）
到達圧力：絶対圧⇒1.2×103Pa、ゲージ圧⇒-100.1kPa
使用電動機：単相、100V、210W、4P、コンデンサ運転
電源用リード線のみ付属しています。
全負荷電流：50Hz⇒3.2A 60Hz⇒3.9A
吸・排気口径(メネジサイズ)：O.D.Φ9mm×I.D.Φ5mm(Rc1/4）
使用雰囲気温度：7～40℃
最大寸法：W160mm×D270mm×H179mm
重量：7.0Kg
RoHS対応品
電源オプション：単相115V、単相200V、単相220V
＊装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付けててください。
防振ゴムの取付ネジサイズはM5×P0.8となります。
ポンプ側へ取付られる防振ゴムのネジの長さは10mmを超えないようお願いいたします。
DOP-80SP仕様
実行排気速度：50Hz⇒80L/min（4.8㎥/h） 60Hz⇒88L/min（5.28㎥/h）
到達圧力：絶対圧⇒5.33×103Pa、ゲージ圧⇒-96.0kPa
使用電動機：単相、100V、210W、4P、コンデンサ運転
電源用リード線のみ付属しています。
全負荷電流：50Hz⇒3.2A 60Hz⇒3.9A
吸・排気口径(メネジサイズ)：O.D.Φ9mm×I.D.Φ5mm(Rc1/4）
使用雰囲気温度：7～40℃
最大寸法：W160mm×D270mm×H179mm
重量：7.0Kg
RoHS対応品
電源オプション：単相115V、単相200V、単相220V
＊装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付けててください。
防振ゴムの取付ネジサイズはM5×P0.8となります。
ポンプ側へ取付られる防振ゴムのネジの長さは10mmを超えないようお願いいたします。
DOP-80SP仕様(加圧専用のポンプ）
実行排気速度：50Hz⇒80L/min（4.8㎥/h） 60Hz⇒84L/min（5.04㎥/h）
加圧圧力：ゲージ圧⇒.5MPa
使用電動機：単相、100V、300W、4P、コンデンサ運転
電源用リード線のみ付属しています。
全負荷電流：50Hz⇒5.0A 60Hz⇒5.5A
吸・排気口径(メネジサイズ)：O.D.Φ9mm×I.D.Φ5mm(Rc1/4）
使用雰囲気温度：7～40℃
最大寸法：W168.5mm×D288mm×H181mm
重量：7.0Kg
RoHS対応品
電源オプション：単相200V、単相220V
＊装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付けててください。
防振ゴムの取付ネジサイズはM5×P0.8となります。
ポンプ側へ取付られる防振ゴムのネジの長さは10mmを超えないようお願いいたします。
DOP-120SY・120SX仕様( SY/SXの差異は吸排気口位置のみ)
実行排気速度：50Hz⇒120L/min（7.2㎥/h） 60Hz⇒140L/min（8.4㎥/h）
到達圧力：絶対圧⇒8.0×103Pa、ゲージ圧⇒-93.3kPa
使用電動機：三相、200~220V、120W、4P
電源用端子台に接続してください。
全負荷電流：50Hz⇒1.4A(200V)、1.6A(220V) 60Hz⇒1.4A(200V)
吸・排気口径(メネジサイズ)：Rc1/4
使用雰囲気温度：7～40℃
最大寸法：W139.5mm×D255mm×H167mm
重量：6.4Kg
RoHS対応品
DOP-181SA仕様
実行排気速度：50Hz⇒180L/min（10.8㎥/h） 60Hz⇒200L/min（12㎥/h）
到達圧力：絶対圧⇒10.0×103Pa、ゲージ圧⇒-91.3kPa
使用電動機：単相、100V、400W、4P
全負荷電流：50Hz⇒6.3A 60Hz⇒5.8A
吸・排気口径(メネジサイズ)：Rc3/8
使用雰囲気温度：7～40℃
最大寸法：W172mm×D266mm×H235mm
重量：12.0Kg
RoHS対応品
＊電源コードおよび電源プラグは付属していません。
電源用リード線のみ付属しています。
＊装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付けててください。
防振ゴムの取付ネジサイズはM6×P1.0となります。
＊吸気管および排気管は付属していません。
DOP-181SB仕様
実行排気速度：50Hz⇒180L/min（10.8㎥/h） 60Hz⇒200L/min（12㎥/h）
到達圧力：絶対圧⇒10.0×103Pa、ゲージ圧⇒-91.3kPa
使用電動機：単相、115V、400W、4P
全負荷電流：50Hz⇒5.3A 60Hz⇒5.1A
吸・排気口径(メネジサイズ)：Rc3/8
使用雰囲気温度：7～40℃
最大寸法：W172mm×D266mm×H235mm
重量：12.0Kg
RoHS対応品
＊電源コードおよび電源プラグは付属していません。
電源用リード線のみ付属しています。
＊装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付けててください。
防振ゴムの取付ネジサイズはM6×P1.0となります。
＊吸気管および排気管は付属していません。
DOP-181SC仕様
実行排気速度：50Hz⇒180L/min（10.8㎥/h） 60Hz⇒200L/min（12㎥/h）
到達圧力：絶対圧⇒10.0×103Pa、ゲージ圧⇒-91.3kPa
使用電動機：単相、200V、400W、4P
全負荷電流：50Hz⇒3.2A 60Hz⇒2.9A
吸・排気口径(メネジサイズ)：Rc3/8
使用雰囲気温度：7～40℃
最大寸法：W162mm×D266mm×H235mm
重量：12.0Kg
RoHS対応品
＊電源コードおよび電源プラグは付属していません。
電源用リード線のみ付属しています。
＊装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付けててください。
防振ゴムの取付ネジサイズはM6×P1.0となります。
＊吸気管および排気管は付属していません。
DOP-181SD仕様
実行排気速度：50Hz⇒180L/min（10.8㎥/h） 60Hz⇒200L/min（12㎥/h）
到達圧力：絶対圧⇒10.0×103Pa、ゲージ圧⇒-91.3kPa
使用電動機：単相、220V、400W、4P
全負荷電流：50Hz⇒2.9A 60Hz⇒2.6A
吸・排気口径(メネジサイズ)：Rc3/8
使用雰囲気温度：7～40℃
最大寸法：W162mm×D266mm×H235mm
重量：12.0Kg
RoHS対応品
＊電源コードおよび電源プラグは付属していません。
電源用リード線のみ付属しています。
＊装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付けててください。
防振ゴムの取付ネジサイズはM6×P1.0となります。
＊吸気管および排気管は付属していません。
DOP-181SE仕様
実行排気速度：50Hz⇒180L/min（10.8㎥/h） 60Hz⇒200L/min（12㎥/h）
到達圧力：絶対圧⇒10.0×103Pa、ゲージ圧⇒-91.3kPa
使用電動機：三相、200~220V、400W、4P
全負荷電流：50Hz⇒2.0~1.9A 60Hz⇒1.9~1.8A
吸・排気口径(メネジサイズ)：Rc3/8
使用雰囲気温度：7～40℃
最大寸法：W160mm×D266mm×H235mm
重量：12.0Kg
RoHS対応品
＊電源コードおよび電源プラグは付属していません。
電源用リード線のみ付属しています。
＊装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付けててください。
防振ゴムの取付ネジサイズはM6×P1.0となります。
＊吸気管および排気管は付属していません。
DOP-301SB仕様
実行排気速度：50Hz⇒300L/min（18㎥/h） 60Hz⇒330L/min（19.8㎥/h）
到達圧力：絶対圧⇒8.0×103Pa、ゲージ圧⇒-93.3kPa
使用電動機：三相、200~230V、400W、4P
全負荷電流：50Hz⇒2.1A(200V/220V) 60Hz⇒2.5A(200V/220V/230V)
吸・排気口径(メネジサイズ)：O.D.Φ16mm×I.D.Φ12mm(Rc1/2)
使用雰囲気温度：0～40℃
最大寸法：W315mm×D443mm×H231mm
重量：20.0Kg
RoHS対応品
＊電源コードおよび電源プラグは付属していません。電源用端子台に接続してください。
DOP-400SB仕様
実行排気速度：50Hz⇒400L/min（24㎥/h） 60Hz⇒440L/min（26.4㎥/h）
到達圧力：絶対圧⇒12.0×103Pa、ゲージ圧⇒-89.3kPa
使用電動機：三相、200~220V、400W、4P
全負荷電流：50Hz⇒2.4A(200V) 60Hz⇒2.8A(200V)、2.7A(220V)
吸・排気口径(メネジサイズ)：O.D.Φ16mm×I.D.Φ12mm(Rc1/2)
使用雰囲気温度：0～40℃
最大寸法：W315mm×D443mm×H231mm
重量：20.0Kg
RoHS対応品
＊電源コードおよび電源プラグは付属していません。電源用端子台に接続してください。
DOP-420SA仕様
実行排気速度：50Hz⇒420L/min（25.2㎥/h） 60Hz⇒460L/min（27.6㎥/h）
到達圧力：絶対圧⇒17.3×103Pa、ゲージ圧⇒-84.0kPa
使用電動機：三相、200~220V、550W、4P
全負荷電流：50Hz⇒3.5A(200V) 60Hz⇒3.1A(200V)、3.2A(220V)
吸・排気口径(メネジサイズ)：O.D.Φ26mm×I.D.Φ20mm(Rc3/4)
使用雰囲気温度：0～40℃
最大寸法：W310mm×D523mm×H253mm
重量：33.0Kg
RoHS対応品
＊電源コードおよび電源プラグは付属していません。電源用端子台に接続してください。
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