特長
高速排気性能
大気圧付近で最大80m³/hの排気速度を実現し、従来比で約20％の排気時間短縮が可能です。さらに、メカニカルブースターポンプを組み合わせることで、排気速度を最大1,200m³/hまで拡張できます。
低騒音設計
専用サイレンサーが標準搭載されており、ドライ真空ポンプ特有の騒音問題も解消します。
到達圧力時の騒音値は61dB(A)以下と運転中にも気にならないレベルになっています。
低消費電力（C仕様）
C仕様に標準搭載されたECO-SHOCK技術は省電力の為のアルバック独自技術です。
到達圧力時の消費電力は0.6kW以下まで低減できます。(LS120A-Cの値を参照)
ランニングコスト削減
LSシリーズは従来必要だった軸シールガスが不要です。
窒素や空気などの排気を主とするクリーンプロセスにおいてランニングコストが低減出来ます。
※L仕様はパージガスを流すことが可能です。
用途に応じた2タイプ
4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件、用途に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。
用途に合わせて2つのタイプをお選びいただくことができます。
C仕様：クリーンプロセス（LS***A-C）
- ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ
- 用途：エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け
スパッタリング / 蒸着 / 貼り合せ / ロードロック室 / TMP補助など
※ECO-SHOCKとは、ULVACの特許技術で容積移送型ドライポンプに取り付ける省電力化アタッチメントです。
1,000Pa以下での連続運転が多い場合に省エネ効果が得られます。
また、本機を取り付けても全圧力領域で排気速度の低下はありません。
L仕様：ライトプロセス（LS***A-L）
- 表面処理、パージ機能を擁するライトプロセスタイプ
- 用途：水蒸気や揮発性薬液排気等のライトプロセス向け
真空乾燥 / 凍結乾燥 / アッシング / 一般産業用途など
仕様
| LS120A-C | LS120A-L | LS300A-C | LS300A-L | LS600A-C | LS600A-L | LS1200A-C | LS1200A-L | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 最大排気速度 | 2,000L/min(120㎥/h) | 2,000L/min(120㎥/h) | 6,333L/min(380㎥/h) | 6,333L/min(380㎥/h) | 10,000L/min(600㎥/h) | 10,000L/min(600㎥/h) | 16,667L/min(1,000㎥/h) | 16,667L/min(1,000㎥/h) |
| 到達圧力 | ≦0.6Pa | ≦0.6Pa | ≦0.1Pa | ≦0.1Pa | ≦0.1Pa | ≦0.1Pa | ≦0.1Pa | ≦0.1Pa |
| 電源圧力 | 200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V |
200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V |
200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V |
200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V |
200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V |
200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V |
200V級/400V級 3相 50/60Hz | 200V級/400V級 3相 50/60Hz |
| 消費電力概略値 | 0.6kW | 2kW | 1.0kW | 2.5kW | 1.3kW | 2.6kW | 1.3kW | 2.7kW |
| 冷却水量 | > 2.0L/min | > 2.0L/min | > 4.0L/min | > 4.0L/min | > 4.0L/min | > 4.0L/min | > 4.0L/min | > 4.0L/min |
| バージガス量 | － | 0～50SLM | － | 0～50SLM | － | 0～50SLM | － | 0～50SLM |
| 最大水蒸気処理量 | － | 1.5kg/h | － | 1.5kg/h | － | 1.5kg/h | － | 1.5kg/h |
| 騒音値 | 61dB(A) | 61dB(A) | 61dB(A) | 61dB(A) | 62dB(A) | 62dB(A) | 64dB(A) | 64dB(A) |
| 吸気口径 | 水平⇒NW50（KF50） 垂直⇒VG50 | 水平⇒NW50（KF50） 垂直⇒VG50 | ISO-F-50 | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | ISO-F-100 |
| 排気口径 | KF40 | NW40（KF40） | NW40（KF40） | NW40（KF40） | NW40（KF40） | NW40（KF40） | NW40（KF40） | NW40（KF40） |
| 質量 | 142kg | 142kg | 220kg | 220kg | 242kg | 242kg | 266kg | 266kg |
| 適合規格 | CE、cTUVus | CE、cTUVus | CE、cTUVus | CE、cTUVus | CE、cTUVus | CE、cTUVus | CE、cTUVus | CE、cTUVus |
| 寸法 | W311mm×D639mm×H307mm | W311mm×D639mm×H307mm | W311mm×D639mm×H537mm | W311mm×D639mm×H537mm | W311mm×D639mm×H563mm | W311mm×D639mm×H563mm | W311mm×D639mm×H563mm | W311mm×D639mm×H563mm |
| 標準付属品 | 取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード | 取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード | 取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード | 取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード | 取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード | 取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード | 取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード | 取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード |
※消費電力概算値は到達圧力時の値となります。
※最大水蒸気処理量はパージガス使用時の値となります。
※C仕様はパージガスを流すことができません。
※C仕様はリークレス対応となっておりません。
オプション
本体オプション
- 電圧仕様：200V級または400V級
- シール部材質：パーフロロエラストマー(L仕様のみ)
外部オプション
- MBP吸気口変換フランジ
- 筐体排気ポート
- 耐震固定金具
- LR互換ユニット（吸気口、信号)
- パージガスバルブ
