スクリュー型ドライ真空ポンプ│アルバック社製（LSシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 LSシリーズ メーカー ㈱アルバック
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製品説明
LSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。
従来、排気速度を大きくする為には多くの電力を消費していましたが、独自開発のスクリュー形状と省電力技術の融合により、
高速排気と低消費電力の両立を実現したドライ真空ポンプです。
4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件、用途に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。
＊メカニカルブースターポンプとの組合せにより120～1,200㎥/hクラスの排気速度を得ることが可能です。
用途に合わせて2つのタイプをお選びいただくことができます。
・C 仕様：クリーンプロセス（LS***A-C）
特徴：ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ
＊ECO-SHOCKとは：ULVACの特許技術で容積移送型ドライポンプに取り付ける省電力化アタッチメントです。
1,000Pa以下での連続運転が多い場合に省エネ効果が得られます。
また、本機を取り付けても全圧力領域で排気速度の低下はありません。
用途：エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け
スパッタリング / 蒸着 / 貼り合せ / ロードロック室 / TMP補助など
・L 仕様：ライトプロセス（LS***A-L）
特徴：表面処理、パージ機能を擁するライトプロセスタイプ
用途：水蒸気や揮発性薬液排気等のライトプロセス向け
真空乾燥 / 凍結乾燥 / アッシング / 一般産業用途など
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
・高速排気
大気圧付近の排気速度は最大80m3 / hと排気速度が大きく、従来の真空ポンプよりも排気時間が約20％短縮できます。
・低騒音
専用サイレンサーが標準搭載されており、ドライ真空ポンプ特有の騒音問題も解消します。
到達圧力時の騒音値は61dB(A)以下と運転中にも気にならないレベルになっています。
・低消費電力
C仕様に標準搭載されたECO-SHOCK技術は省電力の為のアルバック独自技術です。
到達圧力時の消費電力は0.6kW以下まで低減できます。(LS120A-Cの値を参照)
・ランニングコスト削減
LSシリーズは従来必要だった軸シールガスが不要です。
窒素や空気などの排気を主とするクリーンプロセスにおいてランニングコストが低減出来ます。
＊L仕様はパージガスを流すことが可能です。
更に排気速度を高めたい方に、メカニカルブースターポンプを組み合わせていただくことをお勧めしています。
組み合わせる事で120～1200m3/hに到達可能です。
LS120A-C仕様
最大排気速度：2,000L/min(120㎥/h)
到達圧力:≦0.6Pa
電源圧力：200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力概略値 ：0.6kW
冷却水量：> 2.0L/min
騒音値：61dB(A)
吸気口径：水平⇒NW50（KF50） 垂直⇒VG50
排気口径：KF40
質量：142kg
適合規格：CE、cTUVus
寸法：W311mm×D639mm×H307mm
標準付属品：取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード
＊消費電力概算値は到達圧力時の値となります。
＊C仕様はパージガスを流すことができません。
＊C仕様はリークレス対応となっておりません。
LS120A-L仕様
最大排気速度：2,000L/min(120㎥/h)
到達圧力:≦0.6Pa
電源圧力：200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力概略値 ：2kW
冷却水量：> 2.0L/min
バージガス量 ：0～50SLM
最大水蒸気処理量：1.5kg/h
騒音値：61dB(A)
吸気口径：水平⇒NW50（KF50） 垂直⇒VG50
排気口径：NW40（KF40）
質量：142kg
適合規格：CE、cTUVus
寸法：W311mm×D639mm×H307mm
標準付属品：取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード
＊消費電力概算値は到達圧力時の値となります。
＊最大水蒸気処理量はパージガス使用時の値となります。
LS300A-C仕様
最大排気速度：6,333L/min(380㎥/h)
到達圧力:≦0.1Pa
電源圧力：200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力概略値 ：1.0kW
冷却水量：> 4.0L/min
騒音値：61dB(A)
吸気口径：ISO-F-50
排気口径：NW40（KF40）
質量：220kg
適合規格：CE、cTUVus
寸法：W311mm×D639mm×H537mm
標準付属品：取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード
＊消費電力概算値は到達圧力時の値となります。
＊C仕様はパージガスを流すことができません。
＊C仕様はリークレス対応となっておりません。
LS300A-L仕様
最大排気速度：6,333L/min(380㎥/h)
到達圧力:≦0.1Pa
電源圧力：200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力概略値 ：2.5kW
冷却水量：> 4.0L/min
バージガス量 ：0～50SLM
最大水蒸気処理量：1.5kg/h
騒音値：61dB(A)
吸気口径：ISO-F-50
排気口径：NW40（KF40）
質量：220kg
適合規格：CE、cTUVus
寸法：W311mm×D639mm×H537mm
標準付属品：取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード
＊消費電力概算値は到達圧力時の値となります。
＊最大水蒸気処理量はパージガス使用時の値となります。
LS600A-C仕様
最大排気速度：10,000L/min(600㎥/h)
到達圧力:≦0.1Pa
電源圧力：200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力概略値 ：1.3kW
冷却水量：> 4.0L/min
騒音値：62dB(A)
吸気口径：ISO-F-80
排気口径：NW40（KF40）
質量：242kg
適合規格：CE、cTUVus
寸法：W311mm×D639mm×H563mm
標準付属品：取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード
＊消費電力概算値は到達圧力時の値となります。
＊C仕様はパージガスを流すことができません。
＊C仕様はリークレス対応となっておりません。
LS600A-L仕様
最大排気速度：10,000L/min(600㎥/h)
到達圧力:≦0.1Pa
電源圧力：200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力概略値 ：2.6kW
冷却水量：> 4.0L/min
バージガス量 ：0～50SLM
最大水蒸気処理量：1.5kg/h
騒音値：62dB(A)
吸気口径：ISO-F-80
排気口径：NW40（KF40）
質量：242kg
適合規格：CE、cTUVus
寸法：W311mm×D639mm×H563mm
標準付属品：取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード
＊消費電力概算値は到達圧力時の値となります。
＊最大水蒸気処理量はパージガス使用時の値となります。
LS1200A-C仕様
最大排気速度：16,667L/min(1,000㎥/h)
到達圧力:≦0.1Pa
電源圧力：200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力概略値：1.3kW
冷却水量：> 4.0L/min
騒音値：64dB(A)
吸気口径：ISO-F-100
排気口径：NW40（KF40）
質量：266kg
適合規格：CE、cTUVus
寸法：W311mm×D639mm×H563mm
標準付属品：取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード
＊消費電力概算値は到達圧力時の値となります。
＊C仕様はパージガスを流すことができません。
＊C仕様はリークレス対応となっておりません。
LS1200A-L仕様
最大排気速度：16,667L/min(1,000㎥/h)
到達圧力:≦0.1Pa
電源圧力：200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力概略値：2.7kW
冷却水量：> 4.0L/min
バージガス量：0～50SLM
最大水蒸気処理量：1.5kg/h
騒音値：64dB(A)
吸気口径：ISO-F-100
排気口径：NW40（KF40）
質量：266kg
適合規格：CE、cTUVus
寸法：W311mm×D639mm×H563mm
標準付属品：取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード
＊消費電力概算値は到達圧力時の値となります。
＊最大水蒸気処理量はパージガス使用時の値となります。
オプション製品
本体オプション
・電圧仕様：200V級または400V級
・シール部材質：パーフロロエラストマー(L仕様のみ)
外部オプション
・MBP吸気口変換フランジ
・筐体排気ポート
・耐震固定金具
・LR互換ユニット（吸気口、信号)
・パージガスバルブ
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