用途
- スパッタリング装置
- CVD装置（化学気相成長装置）
- プラズマエッチング装置
- RFイオン源
- ニュートラライザ（プラズマプロセスで使用される放射線源）
特徴
・高効率アンプ採用
高効率アンプを搭載し、電力変換効率の良い回路を構成し、省エネルギーを実現します。
・高速オートマッチング
高速アルゴリズムにより高速オートマッチングを実施できます。
・RF電源にオートマッチング機能内蔵
オートマッチングコントローラ機能が内蔵されており、本体ユニットのみでRF電源の電力制御とマッチングシステムの制御を行うことができます。
・柔軟な制御形態に対応
外部アナログ制御やシリアル通信制御が可能です。
・高信頼性:
アルバックは、装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバックしております。
| RFS-1305N仕様【パワージェネレータ】 | RFS-1310N仕様【パワージェネレータ】 | RFS-1330N仕様【パワージェネレータ】 | RFS-1350N仕様【パワージェネレータ】 | |
|---|---|---|---|---|
| 入力仕様 | 入力定格電圧: AC200 to 220V 入力電圧変動範囲: AC180〜242V 相数・周波数: 単相 50/60Hz 入力接続部：DCA3102E16-10P-D(バヨネットロック式丸型レセプタクル) 入力容量: 1.2 kVA以下 入力電流: 10A以下 漏洩電流: 5mA以下 |
入力定格電圧: AC200 to 220V 入力電圧変動範囲: AC180〜242V 相数・周波数: 単相 50/60Hz 入力接続部：DCA3102E16-10P-D(バヨネットロック式丸型レセプタクル) 入力容量: 1.8 kVA以下 入力電流: 10A以下 漏洩電流: 5mA以下 |
入力定格電圧: AC200 to 220V 入力電圧変動範囲: AC180?242V 相数・周波数: 三相 50/60Hz 入力接続部：DCA3102E22-22P-D(バヨネットロック式丸型レセプタクル) 入力容量: 5kVA以下 入力電流: 25A以下 漏洩電流: 5mA以下 |
入力定格電圧: AC200 to 220V 入力電圧変動範囲: AC180〜242V 相数・周波数: 三相 50/60Hz 入力接続部：DCA3102E22-22P-D(バヨネットロック式丸型レセプタクル) 入力容量: 8kVA以下 入力電流: 30A以下 漏洩電流: 5mA以下 |
| 出力仕様 | 発振周波数: 13.56MHz 定格進行波電力: 500W ＊50Ω負荷時 最大反射波電力: 100W 出力インピーダンス: 50Ω 高調波歪率: -35dB以下 （定格出力時連続モードにて） 出力接続部: N型 |
発振周波数: 13.56MHz 定格進行波電力: 1000W ＊50Ω負荷時 最大反射波電力: 100W 出力インピーダンス: 50Ω 高調波歪率: -35dB以下 （定格出力時連続モードにて） 出力接続部: N型 |
発振周波数: 13.56MHz 定格進行波電力: 3000W ＊50Ω負荷時 最大反射波電力: 500W 出力インピーダンス: 50Ω 高調波歪率: -35dB以下 （定格出力時連続モードにて） 出力接続部: HN型 |
発振周波数: 13.56MHz 定格進行波電力: 5000W ＊50Ω負荷時 最大反射波電力: 500W 出力インピーダンス: 50Ω 高調波歪率: -35dB以下 （定格出力時連続モードにて） 出力接続部: DIN 7/16 |
| 制御 | 制御方式: 定電力制御 制御精度: 定格出力の±2％以下（定格電力値の10～100％） |
制御方式: 定電力制御 制御精度: 定格出力の±2％以下（定格電力値の10～100％） |
制御方式: 定電力制御 制御精度: 定格出力の±2％以下（定格電力値の10～100％） |
制御方式: 定電力制御 制御精度: 定格出力の±2％以下（定格電力値の10～100％） |
| 冷却方式 | 空冷 ＊冷却水不要 | 空冷 ＊冷却水不要 | 水冷 流量4L/min | 水冷 流量6L/min |
| 制御補償範囲 | 定格電力値の10～100％ | 定格電力値の10～100％ | 定格電力値の10～100％ | 定格電力値の10～100％ |
| 外形寸法 | W240mm x D495mm x H150mm（突起部含まず） | W240mm x D495mm x H150mm（突起部含まず） | W480mm x D500mm x H150mm（突起部含まず） | W480mm x D500mm x H150mm（突起部含まず） |
| 質量 | 約11Kg | 約11Kg | 約23Kg | 約23Kg |
| マッチングボックス | 型式:MBX-1305N | 型式:MBX-1310N | 型式:MBX-1330N | 型式:MBX-1350N |
| RF入力 | 入力周波数: 13.56MHz 定格電力: 30〜500W 入力接続部: N型 |
入力周波数: 13.56MHz 定格電力: 30〜1000W 入力接続部: N型 |
入力周波数: 13.56MHz 定格電力: 30〜3000W 入力接続部: HN型 |
入力周波数: 13.56MHz 定格電力: 30〜5000W 入力接続部: DIN 7/16型 |
| RF出力 | 許容出力電圧: 2.5kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下 許容出力電流: 30A 以下 負荷インピーダンス：実部：0.5Ω ≦ R ≦ 10.0Ω（ただし、規定電圧、規定電流の範囲内の時） |
許容出力電圧: 2.5kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下 許容出力電流: 30A 以下 負荷インピーダンス：実部：0.5Ω ≦ R ≦ 10.0Ω（ただし、規定電圧、規定電流の範囲内の時） |
許容出力電圧: 5.0kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下 許容出力電流: 80A 以下 負荷インピーダンス：実部：0.5Ω ≦ R ≦ 10.0Ω（ただし、規定電圧、規定電流の範囲内の時） |
許容出力電圧: 10kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下 許容出力電流: 120A 以下 負荷インピーダンス：実部：0.5Ω ≦ R ≦ 10.0Ω（ただし、規定電圧、規定電流の範囲内の時） |
| 冷却方式 | 空冷 | 空冷 | 空冷+水冷（流量2L/min） | 空冷+水冷（流量2L/min） |
| 外形寸法 | W375mm x D250mm x H120mm（突起部含まず） | W375mm x D250mm x H120mm（突起部含まず） | W375mm x D250mm x H170mm（突起部含まず） | W450mm x D500mm x H248mm（突起部含まず） |
| 質量 | 約8kg ・動作周囲温度:10〜40℃（結露なきこと） ・動作環境:直射日光、熱、ホコリ、振動を避けること、腐食性ガスを含まないこと |
約8kg ・動作周囲温度:10〜40℃（結露なきこと） ・動作環境:直射日光、熱、ホコリ、振動を避けること、腐食性ガスを含まないこと |
約10kg ・動作周囲温度:10〜40℃（結露なきこと） ・動作環境:直射日光、熱、ホコリ、振動を避けること、腐食性ガスを含まないこと |
約21kg ・動作周囲温度:10〜40℃（結露なきこと） ・動作環境:直射日光、熱、ホコリ、振動を避けること、腐食性ガスを含まないこと |
