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※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値より引用
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

コンパクトピラニゲージ│エドワーズ社製(APG200シリーズ)

※価格についてはお問い合わせください。

コンパクトなサイズ、LEDライトリング、統合セットポイントと柔軟性のある接続部/出力により、あらゆる用途に最適。
各種のアップグレードと機能拡張(小型化・柔軟性の高い出力)
新しいインターフェイスとライトリングで、半導体分野やさらにはローカル圧力表示により、メインインターフェイスから離れた場所で実験を監視できる研究開発分野まで、あらゆる真空市場に適しています。

特長

ライトリングによる圧力表示

新開発のライトリングにより、セントラルインターフェイスから離れた場所でも圧力を視認可能です。

コンパクトサイズ

APG100シリーズと比べて25%の小型化を実現しながら、性能はそのまま維持されています。

長くなったフィラメント

独自設計によりフィラメントの長さを最大化し、感度を強化。測定範囲の上下限における反応性も向上しています。

内蔵フィルター

内蔵フィルターが測定セルを損傷させる粒子を除去。設置後はほとんどメンテナンス不要です。

幅広い電源に対応

15~48Vという業界最大クラスの入力電源に対応し、電源制約を気にせず使用可能です。

取り付けが簡単

最も一般的な出力に対応したモデル構成により、既存設備へのアップグレードも容易です。

デジタル/アナログ

Edwardsのデジタルゲージとアナログゲージは設置面積が共通。将来的なデータ収集や制御のニーズにも柔軟に対応可能です。

セットポイントリレー

Edwardsのゲージとして初めて専用セットポイントリレーを搭載。多様な連鎖アクションが可能になります。

用途

  • 分析機器
  • 半導体
  • 医薬
  • 研究開発

仕様

項目 APG200 Mシリーズ APG200 LCシリーズ APG200 MPシリーズ
測定範囲 大気圧~5×10⁻²Pa 大気圧~1×10⁻²Pa 大気圧~5×10⁻²Pa
精度 大気圧~10,000Pa ±50%
10,000Pa~1×10⁻¹Pa ±15%
1×10⁻¹Pa~5×10⁻²Pa ±50%
100~1,000Pa ±50%
1,000Pa~1×10⁻¹Pa ±15%
1×10⁻¹Pa~5×10⁻²Pa ±50%
大気圧~10,000Pa ±50%
10,000Pa~1×10⁻¹Pa ±15%
1×10⁻¹Pa~5×10⁻²Pa ±50%
再現性 100~1×10⁻¹Paの間で 読み値の2% 10~1×10⁻¹Paの間で 読み値の2% 100~1×10⁻¹Paの間で 読み値の2%
供給電圧 直流15~48V 直流15~48V 直流15~48V
電気コネクタ RJ45/9ピンD-sub RJ45/9ピンD-sub RJ45/9ピンD-sub
アナログ出力 0~10V(D1G***1***) 0~10V(D1G***1***) 0~10V(D1G***1***)
シリアル出力 RS232またはRS485(D1G***5***/D1G***0***) RS232またはRS485(D1G***5***/D1G***0***) RS232またはRS485(D1G***5***/D1G***0***)
セットポイント 0、1、2(モデルを選択) 0、1、2(モデルを選択) 0、1、2(モデルを選択)
範囲 1.8~9.2V 1.8~9.2V 1.8~9.2V
リレー接点定格 直流48V(最大)、500mA 直流48V(最大)、500mA 直流48V(最大)、500mA
ステータスインジケータ 360°高輝度LEDリング 360°高輝度LEDリング 360°高輝度LEDリング
最大ケーブル長さ 100m 100m 100m
過圧限界 10bar(1,000,000Pa) 10bar(1,000,000Pa) 10bar(1,000,000Pa)
動作温度範囲 5~60°C 5~60°C 5~60°C
保管温度 -30~70°C -30~70°C -30~70°C
最高ベークアウト温度 150°C(電子機器非接続) 150°C(電子機器非接続) 150°C(電子機器非接続)
最大相対湿度 31℃まで80%RH、40℃以上では50%RHまで線形に減少 31℃まで80%RH、40℃以上では50%RHまで線形に減少 31℃まで80%RH、40℃以上では50%RHまで線形に減少
真空接触部材質 タングステン/レニウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、
ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、ステンレス鋼302S26
PTFE、プラチナ/イリジウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、
ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、ステンレス鋼302S26
プラチナ/ロジウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、
ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、ステンレス鋼302S26
デッドボリューム 3.3cm³ 3.3cm³ 3.3cm³
重量 130g 130g 130g
保護等級 40 40 40
認証規格 CE、UKCA CE、UKCA CE、UKCA
互換性のあるコントローラ TIC/ADC/TAG TIC/ADC/TAG TIC/ADC/TAG
ユーザーインターフェイス ワンプッシュ式 ワンプッシュ式 ワンプッシュ式
下位互換性 あり あり あり
保護機能 内蔵フィルター 内蔵フィルター 内蔵フィルター
サイズ(対辺寸法) NW16:63×37×37(mm)
NW25:63×40×40(mm)
DN16CF:65×37×37(mm)
ベアチューブ:82×37×37(mm) チューブ径12.7(mm)
4VCR:90×37×37(mm)
1/8″NPT:103×37×37(mm)
8VCR:91×37×37(mm)
NW16:63×37×37(mm)
NW25:63×40×40(mm)
DN16CF:65×37×37(mm)
ベアチューブ:82×37×37(mm) チューブ径12.7(mm)
4VCR:90×37×37(mm)
1/8″NPT:103×37×37(mm)
8VCR:91×37×37(mm)
NW16:63×37×37(mm)
NW25:63×40×40(mm)
DN16CF:65×37×37(mm)
ベアチューブ:82×37×37(mm) チューブ径12.7(mm)
4VCR:90×37×37(mm)
1/8″NPT:103×37×37(mm)
8VCR:91×37×37(mm)
ソフトウェア Labviewドライバー Labviewドライバー Labviewドライバー
出力整合 あり あり あり
フランジ NW16/25、DV16CF、1/8” NPT、4VCR、8VCR、ベアチューブ NW16/25、DV16CF、1/8” NPT、4VCR、8VCR、ベアチューブ NW16/25、DV16CF、1/8” NPT、4VCR、8VCR、ベアチューブ
保守 チューブと電子機器の交換 チューブと電子機器の交換 チューブと電子機器の交換

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