コンパクトピラニゲージ│エドワーズ社製（APG200シリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- コンパクトピラニゲージ│エドワーズ社製（APG200シリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 APG200シリーズ メーカー エドワーズ（株）
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製品説明
コンパクトなサイズ、LEDライトリング、統合セットポイントと柔軟性のある接続部／出力により、あらゆる用途に最適。
各種のアップグレードと機能拡張（小型化・柔軟性の高い出力）
新しいインターフェイスとライトリングで、半導体分野やさらにはローカル圧力表示により、
メインインターフェイスから離れた場所で実験を監視できる研究開発分野まで、
あらゆる真空市場に適しています。
【用途】
・分析機器
・半導体
・医薬
・研究開発
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
１．ライトリングによる圧力表示
新開発のライトリングにより、セントラルインターフェイスから
離れた場所で圧力を確認可能。
２． コンパクトサイズ
APG100シリーズと比べ、性能を損なうことなく、25%小型化を実現
３．長くなったフィラメント
独自設計によりフィラメント長の最大化し、感度の強化によって、
測定範囲の上限と下限の反応性を向上。
４．内蔵フィルター
内蔵フィルターが測定セルを損傷させる粒子を除去。
設置すれば、ほぼ保守の必要はありません。
５．幅広い電源に対応
15～48Vの幅広い入力電源は業界最大。
電源を気にすることなく、ゲージが使用可能。
６． 取り付けが簡単
最も一般的な出力に対応したモデルをラインナップ。
これにより、アップグレードがさらに容易に。
７．デジタル／アナログ
Edwardsのデジタルゲージとアナログゲージは設置面積が同じ。
その為、データ収集／制御の必要性が増した場合、あとからアップグレードが可能。
８．セットポイントリレー
Edwardsのゲージとしては初めて専用セットポイントリレーを装備。
幅広い連鎖アクションが可能。
APG200 Mシリーズ
測定範囲：大気圧～5×10-²Pa
精度：大気圧～10,000Pa ±50%
10,000Pa～1×10-¹Pa ±15%
1×10-¹Pa～5×10-²Pa ±50%
再現性：100～1×10-¹Paの間で 読み値の2%
供給電圧：直流15～48V
電気コネクタ：RJ45／9ピンD-sub
アナログ出力（D1G***1***）：0～10V
シリアル出力（D1G***5***/D1G***0***）：RS232またはRS485
セットポイント：0、1、2（モデルを選択）
範囲：1.8～9.2V
リレー接点定格：直流48V（最大）、500mA
ステータスインジケータ：360°高輝度LEDリング
最大ケーブル長さ：100m
過圧限界：10bar（1,000,000Pa）
動作温度範囲：5～60°C
保管温度：-30～70°C
最高ベークアウト温度（電子機器非接続）：150°C
最大相対湿度：31℃まで80%RH、40℃以上では50%RHまで線形に減少
真空接触部材質：タングステン／レニウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、
ガラス、ニッケル、 ニッケル鉄合金、ステンレス鋼302S26″
デッドボリューム：3.3cm3
重量：130g
保護等級：40
認証規格：CE、UKCA
互換性のあるコントローラ：TIC／ADC／TAG
ユーザーインターフェイス：ワンプッシュ式
下位互換性：あり
保護機能：内蔵フィルター
サイズ （対辺寸法）
NW16：63×37×37(mm)
NW25：63×40×40(mm)
DN16CF：65×37×37(mm)
ベアチューブ：82×37×37(mm) チューブ径 12.7(mm)
4VCR：90×37×37(mm)
1/8″NPT：103×37×37(mm)
8 VCR：91 ×37×37(mm)
ソフトウェア：Labviewドライバー
出力整合：あり
フランジ：NW16/25、DV16CF、1/8” NPT、4VCR、8VCR、ベアチューブ
保守：チューブと電子機器の交換
APG200 LCシリーズ
測定範囲：大気圧～1×10-²Pa
精度：100～1,000Pa ±50%
1,000Pa～1×10-¹Pa ±15%
1×10-¹Pa～5×10-²Pa ±50%
再現性：10～1×10-¹Paの間で 読み値の2%
供給電圧：直流15～48V
電気コネクタ：RJ45／9ピンD-sub
アナログ出力（D1G***1***）：0～10V
シリアル出力（D1G***5***/D1G***0***）：RS232またはRS485
セットポイント：0、1、2（モデルを選択）
範囲：1.8～9.2V
リレー接点定格：直流48V（最大）、500mA
ステータスインジケータ：360°高輝度LEDリング
最大ケーブル長さ：100m
過圧限界：10bar（1,000,000Pa）
動作温度範囲：5～60°C
保管温度：-30～70°C
最高ベークアウト温度（電子機器非接続）：150°C
最大相対湿度：31℃まで80%RH、40℃以上では50%RHまで線形に減少
真空接触部材質：PTFE、プラチナ／イリジウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、
ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、ステンレス鋼302S26″
デッドボリューム：3.3cm3
重量：130g
保護等級：40
認証規格：CE、UKCA
互換性のあるコントローラ：TIC／ADC／TAG
ユーザーインターフェイス：ワンプッシュ式
下位互換性：あり
保護機能：内蔵フィルター
サイズ （対辺寸法）
NW16：63×37×37(mm)
NW25：63×40×40(mm)
DN16CF：65×37×37(mm)
ベアチューブ：82×37×37(mm) チューブ径 12.7(mm)
4VCR：90×37×37(mm)
1/8″NPT：103×37×37(mm)
8 VCR：91 ×37×37(mm)
ソフトウェア：Labviewドライバー
出力整合：あり
フランジ：NW16/25、DV16CF、1/8” NPT、4VCR、8VCR、ベアチューブ
保守：チューブと電子機器の交換
APG200 MPシリーズ
測定範囲：大気圧～5×10-²Pa
精度：大気圧～10,000Pa ±50%
10,000Pa～1×10-¹Pa ±15%
1×10-¹Pa～5×10-²Pa ±50%
再現性：100～1×10-¹Paの間で 読み値の2%
供給電圧：直流15～48V
電気コネクタ：RJ45／9ピンD-sub
アナログ出力（D1G***1***）：0～10V
シリアル出力（D1G***5***/D1G***0***）：RS232またはRS485
セットポイント：0、1、2（モデルを選択）
範囲：1.8～9.2V
リレー接点定格：直流48V（最大）、500mA
ステータスインジケータ：360°高輝度LEDリング
最大ケーブル長さ：100m
過圧限界：10bar（1,000,000Pa）
動作温度範囲：5～60°C
保管温度：-30～70°C
最高ベークアウト温度（電子機器非接続）：150°C
最大相対湿度：31℃まで80%RH、40℃以上では50%RHまで線形に減少
真空接触部材質：プラチナ／ロジウム、ステンレス鋼316L および304L、
ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、ステンレス鋼302S26″
デッドボリューム：3.3cm3
重量：130g
保護等級：40
認証規格：CE、UKCA
互換性のあるコントローラ：TIC／ADC／TAG
ユーザーインターフェイス：ワンプッシュ式
下位互換性：あり
保護機能：内蔵フィルター
サイズ （対辺寸法）
NW16：63×37×37(mm)
NW25：63×40×40(mm)
DN16CF：65×37×37(mm)
ベアチューブ：82×37×37(mm) チューブ径 12.7(mm)
4VCR：90×37×37(mm)
1/8″NPT：103×37×37(mm)
8 VCR：91 ×37×37(mm)
ソフトウェア：Labviewドライバー
出力整合：あり
フランジ：NW16/25、DV16CF、1/8” NPT、4VCR、8VCR、ベアチューブ
保守：チューブと電子機器の交換
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