特長
ライトリングによる圧力表示
新開発のライトリングにより、セントラルインターフェイスから離れた場所でも圧力を視認可能です。
コンパクトサイズ
APG100シリーズと比べて25%の小型化を実現しながら、性能はそのまま維持されています。
長くなったフィラメント
独自設計によりフィラメントの長さを最大化し、感度を強化。測定範囲の上下限における反応性も向上しています。
内蔵フィルター
内蔵フィルターが測定セルを損傷させる粒子を除去。設置後はほとんどメンテナンス不要です。
幅広い電源に対応
15~48Vという業界最大クラスの入力電源に対応し、電源制約を気にせず使用可能です。
取り付けが簡単
最も一般的な出力に対応したモデル構成により、既存設備へのアップグレードも容易です。
デジタル/アナログ
Edwardsのデジタルゲージとアナログゲージは設置面積が共通。将来的なデータ収集や制御のニーズにも柔軟に対応可能です。
セットポイントリレー
Edwardsのゲージとして初めて専用セットポイントリレーを搭載。多様な連鎖アクションが可能になります。
用途
- 分析機器
- 半導体
- 医薬
- 研究開発
仕様
項目 | APG200 Mシリーズ | APG200 LCシリーズ | APG200 MPシリーズ |
---|---|---|---|
測定範囲 | 大気圧~5×10⁻²Pa | 大気圧~1×10⁻²Pa | 大気圧~5×10⁻²Pa |
精度 | 大気圧~10,000Pa ±50% 10,000Pa~1×10⁻¹Pa ±15% 1×10⁻¹Pa~5×10⁻²Pa ±50% |
100~1,000Pa ±50% 1,000Pa~1×10⁻¹Pa ±15% 1×10⁻¹Pa~5×10⁻²Pa ±50% |
大気圧~10,000Pa ±50% 10,000Pa~1×10⁻¹Pa ±15% 1×10⁻¹Pa~5×10⁻²Pa ±50% |
再現性 | 100~1×10⁻¹Paの間で 読み値の2% | 10~1×10⁻¹Paの間で 読み値の2% | 100~1×10⁻¹Paの間で 読み値の2% |
供給電圧 | 直流15~48V | 直流15~48V | 直流15~48V |
電気コネクタ | RJ45/9ピンD-sub | RJ45/9ピンD-sub | RJ45/9ピンD-sub |
アナログ出力 | 0~10V(D1G***1***) | 0~10V(D1G***1***) | 0~10V(D1G***1***) |
シリアル出力 | RS232またはRS485(D1G***5***/D1G***0***) | RS232またはRS485(D1G***5***/D1G***0***) | RS232またはRS485(D1G***5***/D1G***0***) |
セットポイント | 0、1、2(モデルを選択) | 0、1、2(モデルを選択) | 0、1、2(モデルを選択) |
範囲 | 1.8~9.2V | 1.8~9.2V | 1.8~9.2V |
リレー接点定格 | 直流48V(最大)、500mA | 直流48V(最大)、500mA | 直流48V(最大)、500mA |
ステータスインジケータ | 360°高輝度LEDリング | 360°高輝度LEDリング | 360°高輝度LEDリング |
最大ケーブル長さ | 100m | 100m | 100m |
過圧限界 | 10bar(1,000,000Pa) | 10bar(1,000,000Pa) | 10bar(1,000,000Pa) |
動作温度範囲 | 5~60°C | 5~60°C | 5~60°C |
保管温度 | -30~70°C | -30~70°C | -30~70°C |
最高ベークアウト温度 | 150°C(電子機器非接続) | 150°C(電子機器非接続) | 150°C(電子機器非接続) |
最大相対湿度 | 31℃まで80%RH、40℃以上では50%RHまで線形に減少 | 31℃まで80%RH、40℃以上では50%RHまで線形に減少 | 31℃まで80%RH、40℃以上では50%RHまで線形に減少 |
真空接触部材質 | タングステン/レニウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、 ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、ステンレス鋼302S26 |
PTFE、プラチナ/イリジウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、 ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、ステンレス鋼302S26 |
プラチナ/ロジウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、 ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、ステンレス鋼302S26 |
デッドボリューム | 3.3cm³ | 3.3cm³ | 3.3cm³ |
重量 | 130g | 130g | 130g |
保護等級 | 40 | 40 | 40 |
認証規格 | CE、UKCA | CE、UKCA | CE、UKCA |
互換性のあるコントローラ | TIC/ADC/TAG | TIC/ADC/TAG | TIC/ADC/TAG |
ユーザーインターフェイス | ワンプッシュ式 | ワンプッシュ式 | ワンプッシュ式 |
下位互換性 | あり | あり | あり |
保護機能 | 内蔵フィルター | 内蔵フィルター | 内蔵フィルター |
サイズ(対辺寸法) | NW16:63×37×37(mm) NW25:63×40×40(mm) DN16CF:65×37×37(mm) ベアチューブ:82×37×37(mm) チューブ径12.7(mm) 4VCR:90×37×37(mm) 1/8″NPT:103×37×37(mm) 8VCR:91×37×37(mm) |
NW16:63×37×37(mm) NW25:63×40×40(mm) DN16CF:65×37×37(mm) ベアチューブ:82×37×37(mm) チューブ径12.7(mm) 4VCR:90×37×37(mm) 1/8″NPT:103×37×37(mm) 8VCR:91×37×37(mm) |
NW16:63×37×37(mm) NW25:63×40×40(mm) DN16CF:65×37×37(mm) ベアチューブ:82×37×37(mm) チューブ径12.7(mm) 4VCR:90×37×37(mm) 1/8″NPT:103×37×37(mm) 8VCR:91×37×37(mm) |
ソフトウェア | Labviewドライバー | Labviewドライバー | Labviewドライバー |
出力整合 | あり | あり | あり |
フランジ | NW16/25、DV16CF、1/8” NPT、4VCR、8VCR、ベアチューブ | NW16/25、DV16CF、1/8” NPT、4VCR、8VCR、ベアチューブ | NW16/25、DV16CF、1/8” NPT、4VCR、8VCR、ベアチューブ |
保守 | チューブと電子機器の交換 | チューブと電子機器の交換 | チューブと電子機器の交換 |