特徴
振動フリー
ロータの磁気浮上式のため摩擦接触がなく極めて低振動で、ポンプの寿命が尽きるまで一定に保たれます。
オイルフリー
磁気ベアリングの使用により潤滑剤が不要です。
自動バランシングシステム
エドワーズ独自開発の5 軸制御技術によりロータ内のバランス不良を自動で補正します。
メンテナンスフリー
摩擦接触がないため摩擦源と振動源が存在しないため事実上不要です。
耐腐食性
STP 磁気浮上ターボ分子ポンプのほとんどのモデルは、ニッケルコーティングを施したロータと窒素パージ機能を備えた特別な耐腐食性バージョンでもラインナップしており、化学実験用途に最適です。
仕様
| STP301 DN100仕様 | STP451 DN160仕様 | STP603 DN160 | STP1003 DN200 | STPiX457 DN100 | STPiX457 DN160 | STPiX3006C DN250 | STPiX3006C DN320 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 排気速度 | N2:300L/s He:280L/s H2:300L/s |
N2:480L/s He:460L/s H2:460L/s |
N2:650L/s H2:550L/s |
N2:1000L/s H2:800L/s |
N2:300L/s H2:300L/s |
N2:450L/s H2:460L/s |
N2:2300L/s H2:2600L/s |
N2:2700L/s H2:2700L/s |
| 圧縮比 | N2:>108 H2:2×104 |
N2:>108 H2:2×104 |
N2:>108 H2:>105 |
N2:>108 H2:>105 |
N2:>108 H2:>1×104 |
N2:>108 H2:>1×104 |
N2:>108 H2:>6×104 |
N2:>108 H2:>6×104 |
| 到達圧力（CF) | <1×10-8Pa | <1×10-8Pa | <1×10-8Pa | <1×10-8Pa | <1×10-8Pa | <1×10-8Pa | <1×10-7Pa | <1×10-7Pa |
| 最大流量 | — | — | — | — | N2⇒120sccm | N2⇒120sccm | N2⇒1000sccm | N2⇒1000sccm |
| 最大吸引圧力 | 6.7×10-2Pa | 6.7×10-2Pa | 1.3×10-2Pa | 1.3×10-2Pa | 1.3×10-1Pa | 1.3×10-1Pa | — | — |
| 最大背圧 | 13Pa | 13Pa | 13Pa | 13Pa | 67Pa | 67Pa | 133Pa | 133Pa |
| 吸気口径 | ISO100またはCF100 | ISO160またはCF160 | ISO160またはCF160 | ISO200またはCF200 | ISO100またはCF100 | ISO160またはCF160 | ISO250またはCF250 | ISO320またはCF320 |
| 排気口径 | NW-25(KF-25) | NW-25(KF-25) | NW-40(KF-40) | NW-40(KF-40) | NW-25(KF-25) | NW-25(KF-25) | NW-40(KF-40) | NW-40(KF-40) |
| 始動時間 | 180s | 180s | 360s | 360s | 480s | 480s | 840s | 840s |
| 取付姿勢 | 自由 | 自由 | 自由 | 自由 | 自由 | 自由 | 自由 | 自由 |
| 冷却方式 | 自然/強制空冷/水冷 | 自然/強制空冷/水冷 | 自然/強制空冷/水冷 | 自然/強制空冷/水冷 | 自然/強制空冷 | 自然/強制空冷 | — | — |
| 耐磁場軸方向 | 3mT | 15mT | 15mT | 15mT | 15mT | 15mT | 15mT | 15mT |
| 放射状方向 | 350W | 3mT | 3mT | 3mT | 3mT | 3mT | 3mT | 3mT |
| 最大消費電力 | 350W | 350W | 800W | 800W | 240W | 240W | 1500W | 1500W |
| 定格回転速度 | 48,000rpm | 48,000rpm | 35,000rpm | 35,000rpm | 55,000rpm | 55,000rpm | 27,000rpm | 27,000rpm |
| 振動 | <0.01μm | <0.01μm | <0.01μm | <0.01μm | <0.005μm | <0.005μm | — | — |
| ベークアウト時の システムフランジ最大温度(CFのみ) |
120℃ | 120℃ | 120℃ | 120℃ | 120℃ | 120℃ | 120℃ | 120℃ |
| 軸受け方式 | 3軸磁気浮上式 | 3軸磁気浮上式 | 5軸磁気浮上式 | 5軸磁気浮上式 | 5軸磁気浮上式 | 5軸磁気浮上式 | 5軸磁気浮上式 | 5軸磁気浮上式 |
| コントローラータイプ | 別置き | 別置き | 別置き | 別置き | 一体型 | 一体型 | 一体型 | 一体型 |
| インターフェイス | RS232、I/O、Profibus(オプション) | RS232、I/O、Profibus(オプション) | RS232、I/O、Profibus(オプション) | RS232、I/O、Profibus(オプション) | RS232、I/O、Profibus,EtherCAT(オプション) | RS232、I/O、Profibus,EtherCAT(オプション) | RS232、I/O、Profibus,EtherCAT(オプション) | RS232、I/O、Profibus,EtherCAT(オプション) |
| 重量 | 11.0Kg | 12.0Kg | 31.0Kg | 31.0Kg | 16.0Kg | 16.0Kg | 84.0Kg | 87.0Kg |
| 寸法 | W218mm×D200mm×H230mm | W218mm×D200mm×H230mm | W218mm×D200mm×H230mm | W218mm×D200mm×H230mm | W218mm×D200mm×H230mm | W218mm×D200mm×H230mm | W218mm×D200mm×H230mm | W218mm×D200mm×H230mm |
オプション製品
STP301/451
| コントローラ | SCU350 100-240V SCU350 100-240V with RS232 |
|---|---|
| 接続ケーブル （ポンプーコントローラ） |
3mケーブル・5mケーブル・10mケーブル・20mケーブル・30mケーブル |
| 電源ケーブル | 3m・5m・10m |
| 空冷ファン | 115V エアクーラー 220-240V エアクーラー Water cooling kit |
STP-Ix457
| 電源 | ips240 AC power supply 100-240V |
|---|---|
| DC電源ケーブル （ポンプー電源ケーブル） |
2.5m・5m・10m・15m・20m |
| 電源ケーブル | 3m・5m・10m |
| ベントバルブ | ベントバルブ |
STP603/1003
| コントローラ | SCU800 100-120/200-240V with RS232/485 |
|---|---|
| 延長ケーブル （ポンプーコントローラ） |
3mケーブル・5mケーブル・10mケーブル・20mケーブル・30mケーブル |
| 電源ケーブル | 3m・5m・10m |
| 空冷ファン | 100-115V エアクーラー 220-240V エアクーラー Water cooling kit |
STPiX3006C
| ディスプレイ | Idt001と3ｍケーブル Idt001と5ｍケーブル Idt001と10ｍケーブル Idt001と15ｍケーブル |
|---|---|
| 電源ケーブル | 3m・5m・10m |
全機種共通
| ベークアウト | CF100 100-120V フランジヒーター CF100 200-240V フランジヒーター CF160 100-120V フランジヒーター CF160 200-240V フランジヒーター |
|---|
