ターボ分子ポンプ│エドワーズ社製（STPシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- ターボ分子ポンプ│エドワーズ社製（STPシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 STPシリーズ メーカー エドワーズ（株）
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製品説明
STP 磁気浮上式ターボ分子ポンプは、長時間の安定稼動、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気、ミニマムメンテナンスおよび低振動が要求される用途に最適です。
多軸磁気ベアリングシステムを使用してロータを浮上させるため、
汚染のリスクがなく騒音と振動が最小化されています。
STP 磁気浮上式ターボ分子ポンプのラインナップは、半導体プロセスに使用されています。
実験用途でもSTP 磁気浮上式ターボ分子ポンプは卓越した信頼性を発揮しており、メンテナンス不要です。
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
振動フリー
ロータの磁気浮上式のため摩擦接触がなく極めて低振動で、
ポンプの寿命が尽きるまで一定に保たれます。
オイルフリー
磁気ベアリングの使用により潤滑剤が不要です。
自動バランシングシステム
エドワーズ独自開発の5 軸制御技術によりロータ内のバランス不良を自動で補正します。
メンテナンスフリー
摩擦接触がないため摩擦源と振動源が存在しないため事実上不要です。
耐腐食性
STP 磁気浮上ターボ分子ポンプのほとんどのモデルは、ニッケルコーティングを施したロータと
窒素パージ機能を備えた特別な耐腐食性バージョンでもラインナップしており、
化学実験用途に最適です。
STP301 DN100仕様
排気速度：N2⇒300L/s H2⇒300L/s
圧縮比：N2⇒>108 H2⇒2×104
到達圧力（CF)：<1×10-8Pa
最大吸引圧力：6.7×10-2Pa
最大背圧：13Pa
吸気口径：ISO100またはCF100
排気口径：NW-25(KF-25)
始動時間：180s
取付姿勢：自由
冷却方式：自然/強制空冷/水冷
耐磁場軸方向：15mT
放射状方向：3mT
最大消費電力：350W
定格回転速度：48,000rpm
振動：<0.01μm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ)：120℃
軸受け方式：3軸磁気浮上式
コントローラータイプ：別置き
インターフェイス：RS232、I/O、Profibus(オプション)
重量：11.0Kg
寸法：W218mm×D200mm×H230mm
STP451 DN160仕様
排気速度：N2⇒480L/s H2⇒460L/s
圧縮比：N2⇒>108 H2⇒2×104
到達圧力（CF)：<1×10-8Pa
最大吸引圧力：6.7×10-2Pa
最大背圧：13Pa
吸気口径：ISO160またはCF160
排気口径：NW-25(KF-25)
始動時間：180s
取付姿勢：自由
冷却方式：自然/強制空冷/水冷
耐磁場軸方向：15mT
放射状方向：3mT
最大消費電力：350W
定格回転速度：48,000rpm
振動：<0.01μm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ)：120℃
軸受け方式：3軸磁気浮上式
コントローラータイプ：別置き
インターフェイス：RS232、I/O、Profibus(オプション)
重量：12.0Kg
寸法：W218mm×D200mm×H230mm
STP603 DN160仕様
排気速度：N2⇒650L/s H2⇒550L/s
圧縮比：N2⇒>108 H2⇒>105
到達圧力（CF)：<1×10-8Pa
最大吸引圧力：1.3×10-2Pa
最大背圧：13Pa
吸気口径：ISO160またはCF160
排気口径：NW-40(KF-40)
始動時間：360s
取付姿勢：自由
冷却方式：自然/強制空冷/水冷
耐磁場軸方向：15mT
放射状方向：3mT
最大消費電力：800W
定格回転速度：35,000rpm
振動：<0.01μm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ)：120℃
軸受け方式：5軸磁気浮上式
コントローラータイプ：別置き
インターフェイス：RS232、I/O、Profibus(オプション)
重量：31.0Kg
寸法：W218mm×D200mm×H230mm
STP1003 DN200仕様
排気速度：N2⇒1000L/s H2⇒800L/s
圧縮比：N2⇒>108 H2⇒>105
到達圧力（CF)：<1×10-8Pa
最大吸引圧力：1.3×10-2Pa
最大背圧：13Pa
吸気口径：ISO200またはCF200
排気口径：NW-40(KF-40)
始動時間：360s
取付姿勢：自由
冷却方式：自然/強制空冷/水冷
耐磁場軸方向：15mT
放射状方向：3mT
最大消費電力：800W
定格回転速度：35,000rpm
振動：<0.01μm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ)：120℃
軸受け方式：5軸磁気浮上式
コントローラータイプ：別置き
インターフェイス：RS232、I/O、Profibus(オプション)
重量：31.0Kg
寸法：W218mm×D200mm×H230mm
STPiX457 DN100仕様
排気速度：N2⇒300L/s H2⇒300L/s
圧縮比：N2⇒>108 H2⇒>1×104
到達圧力（CF)：<1×10-8Pa
最大流量：N2⇒120sccm
最大吸引圧力：1.3×10-1Pa
最大背圧：67Pa
吸気口径：ISO100またはCF100
排気口径：NW-25(KF-25)
始動時間：480s
取付姿勢：自由
冷却方式：自然/強制空冷
耐磁場軸方向：15mT
放射状方向：3mT
最大消費電力：240W
定格回転速度：55,000rpm
振動：<0.005μm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ)：120℃
軸受け方式：5軸磁気浮上式
コントローラータイプ：一体型
インターフェイス：RS232、I/O、Profibus,EtherCAT(オプション)
重量：16.0Kg
寸法：W218mm×D200mm×H230mm
STPiX457 DN160仕様
排気速度：N2⇒450L/s H2⇒460L/s
圧縮比：N2⇒>108 H2⇒>1×104
到達圧力（CF)：<1×10-8Pa
最大流量：N2⇒120sccm
最大吸引圧力：1.3×10-1Pa
最大背圧：67Pa
吸気口径：ISO160またはCF160
排気口径：NW-25(KF-25)
始動時間：480s
取付姿勢：自由
冷却方式：自然/強制空冷
耐磁場軸方向：15mT
放射状方向：3mT
最大消費電力：240W
定格回転速度：55,000rpm
振動：<0.005μm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ)：120℃
軸受け方式：5軸磁気浮上式
コントローラータイプ：一体型
インターフェイス：RS232、I/O、Profibus,EtherCAT(オプション)
重量：16.0Kg
寸法：W218mm×D200mm×H230mm
STPiX3006C DN250仕様
排気速度：N2⇒2300L/s H2⇒2600L/s
圧縮比：N2⇒>108 H2⇒>6×104
到達圧力（CF)：<1×10-7Pa
最大流量：N2⇒1000sccm
最大吸引圧力：―
最大背圧：133Pa
吸気口径：ISO250またはCF250
排気口径：NW-40(KF-40)
始動時間：840s
取付姿勢：自由
冷却方式：ー
耐磁場軸方向：15mT
放射状方向：3mT
最大消費電力：1500W
定格回転速度：27,000rpm
振動：
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ)：120℃
軸受け方式：5軸磁気浮上式
コントローラータイプ：一体型
インターフェイス：RS232、I/O、Profibus,EtherCAT(オプション)
重量：84.0Kg
寸法：W218mm×D200mm×H230mm
STPiX3006C DN320仕様
排気速度：N2⇒2700L/s H2⇒2700L/s
圧縮比：N2⇒>108 H2⇒>6×104
到達圧力（CF)：<1×10-7Pa
最大流量：N2⇒1000sccm
最大吸引圧力：―
最大背圧：133Pa
吸気口径：ISO320またはCF320
排気口径：NW-40(KF-40)
始動時間：840s
取付姿勢：自由
冷却方式：ー
耐磁場軸方向：15mT
放射状方向：3mT
最大消費電力：1500W
定格回転速度：27,000rpm
振動：
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ)：120℃
軸受け方式：5軸磁気浮上式
コントローラータイプ：一体型
インターフェイス：RS232、I/O、Profibus,EtherCAT(オプション)
重量：87.0Kg
寸法：W218mm×D200mm×H230mm
オプション製品
STP301/451
コントローラ：SCU350 100-240V
コントローラ：SCU350 100-240V with RS232
接続ケーブル（ポンプーコントローラ）：3mケーブル
接続ケーブル（ポンプーコントローラ）：5mケーブル
接続ケーブル（ポンプーコントローラ）：10mケーブル
接続ケーブル（ポンプーコントローラ）：20mケーブル
接続ケーブル（ポンプーコントローラ）：30mケーブル
電源ケーブル：3m
電源ケーブル：5m
電源ケーブル：10m
空冷ファン：115V エアクーラー
空冷ファン：220-240V エアクーラー
空冷ファン：Water cooling kit
STP-Ix457
電源：ips240 AC power supply 100-240V
DC電源ケーブル（ポンプー電源ケーブル）：2.5m
DC電源ケーブル（ポンプー電源ケーブル）：5m
DC電源ケーブル（ポンプー電源ケーブル）：10m
DC電源ケーブル（ポンプー電源ケーブル）：15m
DC電源ケーブル（ポンプー電源ケーブル）：20m
電源ケーブル：3m
電源ケーブル：5m
電源ケーブル：10m
ベントバルブ：ベントバルブ
STP603/1003
コントローラ：SCU800 100-120/200-240V with RS232/485
延長ケーブル（ポンプーコントローラ）：3mケーブル
延長ケーブル（ポンプーコントローラ）：5mケーブル
延長ケーブル（ポンプーコントローラ）：10mケーブル
延長ケーブル（ポンプーコントローラ）：20mケーブル
延長ケーブル（ポンプーコントローラ）：30mケーブル
電源ケーブル：3m
電源ケーブル：5m
電源ケーブル：10m
空冷ファン：100-115V エアクーラー
空冷ファン：220-240V エアクーラー
空冷ファン：Water cooling kit
STPiX3006C
ディスプレイ：Idt001と3ｍケーブル
ディスプレイ：Idt001と5ｍケーブル
ディスプレイ：Idt001と10ｍケーブル
ディスプレイ：Idt001と15ｍケーブル
電源ケーブル：3m
電源ケーブル：5m
電源ケーブル：10m
全機種共通
ベークアウト：CF100 100-120V フランジヒーター
ベークアウト：CF100 200-240V フランジヒーター
ベークアウト：CF160 100-120V フランジヒーター
ベークアウト：CF160 200-240V フランジヒーター
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