ターボ分子ポンプ│エドワーズ社製（nEXTシリーズ）

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ハイブリッド軸受け構造と一体型コントローラを備えた高性能真空ポンプです。高真空・超高真空を実現し、nEXTモデルはユーザー自身で簡単にメンテナンスできるのが特長です。

特長

上部時期軸受け

クリーンな真空・低電力・低振動を実現しました。

インレットスクリーン

標準装備となります。(非表示)

追加リジェネステージ

Tタイプのポンプに付属しています。
圧縮の向上およびより高い背圧性能を提供します。

手動ベントバルブ

ベントシステムの安全機能で、ポンプへの損傷を防止します。
ベントを全自動化するソレノイドバルブと交換可能です。

内蔵コントローラ

直接I/Oまたはシリアルコントロールが可能です。
エドワーズのTAGまたはTICコントローラに接続して簡易なシステム化を実現しました。

ユーザー保守が可能

オイルカートリッジおよびベアリングは、現場で簡単に保守が可能です。

仕様

	nEXT85D DN40	nEXT85H DN40	nEXT85D DN63	nEXT85H DN63	nEXT240D	nEXT240T	nEXT300D	nEXT300T	nEXT400D	nEXT400T
排気速度	N2⇒47L/s Ar⇒44L/s He⇒61L/s H2⇒49L/s	N2⇒47L/s Ar⇒44L/s He⇒61L/s H2⇒44L/s	N2⇒84L/s Ar⇒80L/s He⇒78L/s H2⇒60L/s	N2⇒84L/s Ar⇒80L/s He⇒78L/s H2⇒54L/s	N2⇒240L/s Ar⇒230L/s He⇒230L/s H2⇒165L/s	N2⇒240L/s Ar⇒230L/s He⇒230L/s H2⇒165L/s	N2⇒300L/s Ar⇒280L/s He⇒340L/s H2⇒280L/s	N2⇒300L/s Ar⇒280L/s He⇒340L/s H2⇒280L/s	N2⇒400L/s Ar⇒380L/s He⇒390L/s H2⇒325L/s	N2⇒400L/s Ar⇒380L/s He⇒390L/s H2⇒325L/s
圧縮比	N2⇒>1011 Ar⇒>1011 He⇒8×10⁶ H2⇒2×10⁵	N2⇒>1011 Ar⇒>1011 He⇒2×10⁷ H2⇒5×10³	N2⇒>1011 Ar⇒>1011 He⇒8×10⁶ H2⇒2×10⁵	N2⇒>1011 Ar⇒>1011 He⇒2×10⁷ H2⇒5×10⁵	N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒3×10⁵ H2⇒10⁴	N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒10⁶ H2⇒10⁵	N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒10⁶ H2⇒5×10⁴	N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒3×10⁶ H2⇒10⁵	N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒10⁸ H2⇒5×10⁵	N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒>10⁸ H2⇒10⁶
到達圧力（CF）	<5×10⁻⁸Pa	<5×10⁻⁸Pa	<5×10⁻⁸Pa	<5×10⁻⁸Pa	<5×10⁻⁸Pa	<5×10⁻⁸Pa	<5×10⁻⁸Pa	<5×10⁻⁸Pa	<5×10⁻⁸Pa	<5×10⁻⁸Pa
最大背圧	N2⇒1,800Pa	N2⇒1,800Pa	N2⇒1,800Pa	N2⇒1,800Pa	N2⇒950/2,000Pa	N2⇒950/2,000Pa	N2⇒950/2,000Pa	N2⇒950/2,000Pa	N2⇒950/2,000Pa	N2⇒950/2,000Pa
吸気口径	NW-40(KF-40)	NW-40(KF-40)	ISO63またはCF63	ISO63またはCF63	ISO100またはCF100	ISO100またはCF100	ISO100またはCF100	ISO100またはCF100	ISO100またはCF100	ISO100またはCF100
排気口径	NW-16(KF-16)	NW-16(KF-16)	NW-16(KF-16)	NW-16(KF-16)	NW-25(KF-25)	NW-25(KF-25)	NW-25(KF-25)	NW-25(KF-25)	NW-25(KF-25)	NW-25(KF-25)
始動時間	115s	115s	115s	115s	115s	115s	145s	145s	175s	175s
取付姿勢	フランジ直立から水平±2°	フランジ直立から水平±2°	フランジ直立から水平±2°	フランジ直立から水平±2°	フランジ直立から水平±2°	フランジ直立から水平±2°	フランジ直立から水平±2°	フランジ直立から水平±2°	フランジ直立から水平±2°	フランジ直立から水平±2°
冷却方式	外気/空気/水	外気/空気/水	外気/空気/水	外気/空気/水	外気/空気/水	外気/空気/水	外気/空気/水	外気/空気/水	外気/空気/水	外気/空気/水
最大漏洩磁波	5mT	5mT	5mT	5mT	5mT	5mT	5mT	5mT	5mT	5mT
最大消費電力	80W(範囲50～120)	80W(範囲50～120)	80W(範囲50～120)	80W(範囲50～120)	160W(範囲50～200)	160W(範囲50～200)	160W(範囲50～200)	160W(範囲50～200)	160W(範囲50～200)	160W(範囲50～200)
運転電圧	24～48V d.c.	24～48V d.c.	24～48V d.c.	24～48V d.c.	24～48V d.c.	24～48V d.c.	24～48V d.c.	24～48V d.c.	24～48V d.c.	24～48V d.c.
公称回転速度	90,000rpm	90,000rpm	90,000rpm	90,000rpm	60,000rpm	60,000rpm	60,000rpm	60,000rpm	60,000rpm	60,000rpm
ベークアウト温度（CF）	水冷⇒120℃　強制空冷⇒115℃	水冷⇒120℃　強制空冷⇒115℃	水冷⇒120℃　強制空冷⇒115℃	水冷⇒120℃　強制空冷⇒115℃	水冷⇒120℃　強制空冷⇒115℃	水冷⇒120℃　強制空冷⇒115℃	水冷⇒120℃　強制空冷⇒115℃	水冷⇒120℃　強制空冷⇒115℃	水冷⇒120℃　強制空冷⇒115℃	水冷⇒120℃　強制空冷⇒115℃
軸受け制御	上部⇒永久磁石下部⇒オイル潤滑セラミック製	上部⇒永久磁石下部⇒オイル潤滑セラミック製	上部⇒永久磁石下部⇒オイル潤滑セラミック製	上部⇒永久磁石下部⇒オイル潤滑セラミック製	上部⇒永久磁石下部⇒オイル潤滑セラミック製	上部⇒永久磁石下部⇒オイル潤滑セラミック製	上部⇒永久磁石下部⇒オイル潤滑セラミック製	上部⇒永久磁石下部⇒オイル潤滑セラミック製	上部⇒永久磁石下部⇒オイル潤滑セラミック製	上部⇒永久磁石下部⇒オイル潤滑セラミック製
コントローラータイプ	内臓	内臓	内臓	内臓	内臓	内臓	内臓	内臓	内臓	内臓
インターフェイス	RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)	RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)	RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)	RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)	RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)	RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)	RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)	RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)	RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)	RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)
重量	3Kg	3Kg	ISO63⇒3Kg CF63⇒4.5Kg	ISO63⇒3Kg CF63⇒4.5Kg	ISO100⇒6Kg CF100⇒9Kg	ISO100⇒6Kg CF100⇒9Kg	ISO100⇒6Kg CF100⇒9Kg	ISO100⇒6Kg CF100⇒9Kg	ISO160⇒7Kg CF160⇒10Kg	ISO160⇒7Kg CF160⇒10Kg
寸法	W97mm×D117mm×H149mm	W97mm×D117mm×H149mm	W97mm×D117mm×H149mm	W97mm×D117mm×H149mm	W97mm×D117mm×H149mm	W97mm×D117mm×H149mm	W97mm×D117mm×H149mm	W97mm×D117mm×H149mm	W97mm×D117mm×H149mm	W97mm×D117mm×H149mm

オプション

全機種共通

1m ポンプ～コントローラ延長ケーブル
2m ポンプ～コントローラ延長ケーブル
5m ポンプ～コントローラ延長ケーブル
リレー BOX：Sml Bkg
リレー BOX：Inst & Sml Bkg
IEC320 ソケット付接続ケーブル：2m（リレーボックス / RV or XDS 間）
IEC320 ソケット付接続ケーブル：5m（リレーボックス / RV or XDS 間）
インターフェイスケーブル：2m（TIC /リレーボックス間）
インターフェイスケーブル：5m RS232C用（TIC / PC間)
ベントポートアダプタ：NW10-1 / 8 BSP
パージリストリクタ：PRX10 NW10
バイブレーションアダプタ：ISO63用、CF63用、ISO100用、CF100用、ISO160用

nEXT85専用

TAG コントローラー
TAG 電源
TIC100 ターボ＆インスツルメントコントローラー 100W RS232C
TIC100 ターボ＆インスツルメントコントローラー 100W + 真空ゲージ 3 点 RS232C
WCX85 ウォータークーラー
ACX85 エアクーラー
N/O TAV5 ベントバルブコネクター装備
N/C TAV5 ベントバルブコネクター装備
CF63 フランジヒーター 110 V、240 V
ベアリング交換キット
オイルカートリッジキット
ベアリングおよびオイルカートリッジキット
ベアリング交換ツールキット

nEXT240/300/400専用

TAG コントローラー
TAG 電源
TIC200 ターボ＆インスツルメントコントローラー 200W RS232C
TIC200 ターボ＆インスツルメントコントローラー 200W + 真空ゲージ 3 点 RS232C
nEXT ラジアルエアクーラー
nEXT アキシャルエアクーラー
nEXT ウォータークーラー
CF100 フランジヒーター 100-120 V、200-240 V
CF160 フランジヒーター 100-120 V、200-240 V
TAV5 ソレイド駆動のベントバルブ
nST USB ケーブル
オイルカートリッジツールキット
ベアリングツールキット
オイルカートリッジ
ベアリングおよびオイルカートリッジ

この製品を導入した実績

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