ターボ分子ポンプ│エドワーズ社製（nEXTシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- ターボ分子ポンプ│エドワーズ社製（nEXTシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 nEXTシリーズ メーカー エドワーズ（株）
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製品説明
EXTおよびnEXT ターボ分子ポンプは、複合ドラッグステージと一体型コントローラを備えた
ハイブリッド軸受けポンプで、47～400L/sの排気速度となります。
いずれも永久磁石製上部軸受けが特長でハイドロカーボンのない、
高/ 超高真空を実現し、信頼性の高い高速運転を可能にしています。
オンボード コントローラはエドワーズ社のTIC およびTAG コントローラに直接接続できるため、
低コストのシステム統合を実現しています。
nEXT モデルでは、ユーザーが交換可能な軸受けカートリッジによってユーザー保守性を提供し、
所有コストを低減しています。
【オプション】
全機種
1mポンプ～コントローラ延長ケーブル
2mポンプ～コントローラ延長ケーブル
5mポンプ～コントローラ延長ケーブル
リレー BOX：Sml Bkg
リレー BOX：Inst & Sml Bkg
IEC320 ソ ケ ット付接続ケーブル：2m（リレーボックス / RV or XDS 間）
IEC320 ソ ケ ット付接続ケーブル：5m（リレーボックス / RV or XDS 間）
インターフェイスケーブル：2m（TIC /リレーボックス間）
インターフェイスケーブル：5m RS232C用（TIC / PC間)
ベントポートアダプタ：NW10-1 / 8 BSP
パージリストリクタ：PRX10 NW10
バイブレーションアダプタ：
バイブレーションアダプタ：ISO63用
バイブレーションアダプタ：CF63用
バイブレーションアダプタ：ISO100用
バイブレーションアダプタ：CF100用
バイブレーションアダプタ：ISO160用
nEXT85
TAGコントローラー
TAG 電源
TIC100 ターボ＆インスツルメントコントローラ 100W RS232C
TIC100 ターボ＆インスツルメントコントローラ 100W + 真空ゲージ 3 点RS232C
WCX85 ウォーター クーラー
ACX85 エア クーラー
N/O TAV5 ベントバルブコネクター装備
N/C TAV5 ベントバルブコネクター装備
CF63 フランジヒーター 110 V
CF63 フランジヒーター 240 V
ベアリング交換キット
オイルカートリッジキット
ベアリングおよびオイルカートリッジキット
ベアリング交換ツールキット
nEXT240/300/400
TAG コントローラー
TAG 電源
TIC200 ターボ＆インスツルメントコントローラー 200W RS232C
TIC200 ターボ＆インスツルメントコントローラー 200W + 真空ゲージ 3 点RS232C
nEXT ラジアル エア クーラー
nEXT アキシャル エア クーラー
nEXT ウォータークーラー
CF100 100-120 V フランジヒーター
CF100 200-240 V フランジヒーター
CF160 100-120 V フランジヒーター
CF160 200-240 V フランジヒーター
TAV5 ソレイド駆動のベントバルブ
nST USB ケーブル
オイルカートリッジ ツールキット
ベアリングツール キット
オイル カートリッジ
ベアリングおよびオイル カートリッジ
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
上部時期軸受け
クリーンな真空・低電力・低振動を実現しました。
インレットスクリーン
標準装備となります。(非表示)
追加リジェネステージ
Tタイプのポンプに付属しています。
圧縮の向上およびより高い背圧性能を提供します。
手動ベントバルブ
ベントシステムの安全機能で、ポンプへの損傷を防止します。
ベントを全自動化するソレノイドバルブと交換可能です。
内蔵コントローラ
直接I/Oまたはシリアルコントロールが可能です。
エドワーズのTAGまたはTICコントローラに接続して簡易なシステム化を実現しました。
ユーザー保守が可能
オイルカートリッジおよびベアリングは、現場で簡単に保守が可能です。
nEXT85D DN40仕様
排気速度：N2⇒47L/s Ar⇒44L/s He⇒61L/s H2⇒49L/s
圧縮比：N2⇒>1011 Ar⇒>1011 He⇒8×106 H2⇒2×105
到達圧力（CF)：<5×10-8Pa
最大背圧：N2⇒1,800Pa
吸気口径：NW-40(KF-40)
排気口径：NW-16(KF-16)
始動時間：115s
取付姿勢：フランジ直立から水平±2°
冷却方式：外気/空気/水
最大漏洩磁波：5mT
最大消費電力：80W(範囲50～120)
運転電圧：24～48V d.c.
公称回転速度：90,000rpm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ）：水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃
軸受け制御：上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製
コントローラータイプ：内臓
インターフェイス：RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)
重量：3Kg
寸法：W97mm×D117mm×H149mm
nEXT85H DN40仕様
排気速度：N2⇒47L/s Ar⇒44L/s He⇒61L/s H2⇒44L/s
圧縮比：N2⇒>1011 Ar⇒>1011 He⇒2×107 H2⇒5×103
到達圧力（CF)：<5×10-8Pa
最大背圧：N2⇒1,800Pa
吸気口径：NW-40(KF-40)
排気口径：NW-16(KF-16)
始動時間：115s
取付姿勢：フランジ直立から水平±2°
冷却方式：外気/空気/水
最大漏洩磁波：5mT
最大消費電力：80W(範囲50～120)
運転電圧：24～48V d.c.
公称回転速度：90,000rpm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ）：水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃
軸受け制御：上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製
コントローラータイプ：内臓
インターフェイス：RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)
重量：3Kg
寸法：W97mm×D117mm×H149mm
nEXT85D DN63仕様
排気速度：N2⇒84L/s Ar⇒80L/s He⇒78L/s H2⇒60L/s
圧縮比：N2⇒>1011 Ar⇒>1011 He⇒8×106 H2⇒2×105
到達圧力（CF)：<5×10-8Pa
最大背圧：N2⇒1,800Pa
吸気口径：ISO63またはCF63
排気口径：NW-16(KF-16)
始動時間：115s
取付姿勢：フランジ直立から水平±2°
冷却方式：外気/空気/水
最大漏洩磁波：5mT
最大消費電力：80W(範囲50～120)
運転電圧：24～48V d.c.
公称回転速度：90,000rpm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ）：水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃
軸受け制御：上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製
コントローラータイプ：内臓
インターフェイス：RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)
重量：吸気口径ISO63⇒3Kg 吸気口径CF63⇒4.5Kg
寸法：W97mm×D117mm×H149mm
nEXT85H DN63仕様
排気速度：N2⇒84L/s Ar⇒80L/s He⇒78L/s H2⇒54L/s
圧縮比：N2⇒>1011 Ar⇒>1011 He⇒2×107 H2⇒5×105
到達圧力（CF)：<5×10-8Pa
最大背圧：N2⇒1,800Pa
吸気口径：ISO63またはCF63
排気口径：NW-16(KF-16)
始動時間：115s
取付姿勢：フランジ直立から水平±2°
冷却方式：外気/空気/水
最大漏洩磁波：5mT
最大消費電力：80W(範囲50～120)
運転電圧：24～48V d.c.
公称回転速度：90,000rpm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ）：水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃
軸受け制御：上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製
コントローラータイプ：内臓
インターフェイス：RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)
重量：吸気口径ISO63⇒3Kg 吸気口径CF63⇒4.5Kg
寸法：W97mm×D117mm×H149mm
nEXT240D仕様
排気速度：N2⇒240L/s Ar⇒230L/s He⇒230L/s H2⇒165L/s
圧縮比：N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒3×105 H2⇒104
到達圧力（CF)：<5×10-8Pa
最大背圧：N2⇒950/2,000Pa
吸気口径：ISO100またはCF100
排気口径：NW-25(KF-25)
始動時間：115s
取付姿勢：フランジ直立から水平±2°
冷却方式：外気/空気/水
最大漏洩磁波：5mT
最大消費電力：160W(範囲50～200)
運転電圧：24～48V d.c.
公称回転速度：60,000rpm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ）：水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃
軸受け制御：上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製
コントローラータイプ：内臓
インターフェイス：RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)
重量：吸気口径ISO100⇒6Kg 吸気口径CF100⇒9Kg
寸法：W97mm×D117mm×H149mm
nEXT240T仕様
排気速度：N2⇒240L/s Ar⇒230L/s He⇒230L/s H2⇒165L/s
圧縮比：N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒106 H2⇒105
到達圧力（CF)：<5×10-8Pa
最大背圧：N2⇒950/2,000Pa
吸気口径：ISO100またはCF100
排気口径：NW-25(KF-25)
始動時間：115s
取付姿勢：フランジ直立から水平±2°
冷却方式：外気/空気/水
最大漏洩磁波：5mT
最大消費電力：160W(範囲50～200)
運転電圧：24～48V d.c.
公称回転速度：60,000rpm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ）：水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃
軸受け制御：上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製
コントローラータイプ：内臓
インターフェイス：RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)
重量：吸気口径ISO100⇒6Kg 吸気口径CF100⇒9Kg
寸法：W97mm×D117mm×H149mm
nEXT300D仕様
排気速度：N2⇒300L/s Ar⇒280L/s He⇒340L/s H2⇒280L/s
圧縮比：N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒106 H2⇒5×104
到達圧力（CF)：<5×10-8Pa
最大背圧：N2⇒950/2,000Pa
吸気口径：ISO100またはCF100
排気口径：NW-25(KF-25)
始動時間：145s
取付姿勢：フランジ直立から水平±2°
冷却方式：外気/空気/水
最大漏洩磁波：5mT
最大消費電力：160W(範囲50～200)
運転電圧：24～48V d.c.
公称回転速度：60,000rpm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ）：水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃
軸受け制御：上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製
コントローラータイプ：内臓
インターフェイス：RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)
重量：吸気口径ISO100⇒6Kg 吸気口径CF100⇒9Kg
寸法：W97mm×D117mm×H149mm
nEXT300T仕様
排気速度：N2⇒300L/s Ar⇒280L/s He⇒340L/s H2⇒280L/s
圧縮比：N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒3×106 H2⇒105
到達圧力（CF)：<5×10-8Pa
最大背圧：N2⇒950/2,000Pa
吸気口径：ISO100またはCF100
排気口径：NW-25(KF-25)
始動時間：145s
取付姿勢：フランジ直立から水平±2°
冷却方式：外気/空気/水
最大漏洩磁波：5mT
最大消費電力：160W(範囲50～200)
運転電圧：24～48V d.c.
公称回転速度：60,000rpm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ）：水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃
軸受け制御：上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製
コントローラータイプ：内臓
インターフェイス：RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)
重量：吸気口径ISO100⇒6Kg 吸気口径CF100⇒9Kg
寸法：W97mm×D117mm×H149mm
nEXT400D仕様
排気速度：N2⇒400L/s Ar⇒380L/s He⇒390L/s H2⇒325L/s
圧縮比：N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒108 H2⇒5×105
到達圧力（CF)：<5×10-8Pa
最大背圧：N2⇒950/2,000Pa
吸気口径：ISO100またはCF100
排気口径：NW-25(KF-25)
始動時間：175s
取付姿勢：フランジ直立から水平±2°
冷却方式：外気/空気/水
最大漏洩磁波：5mT
最大消費電力：160W(範囲50～200)
運転電圧：24～48V d.c.
公称回転速度：60,000rpm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ）：水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃
軸受け制御：上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製
コントローラータイプ：内臓
インターフェイス：RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)
重量：吸気口径ISO160⇒7Kg 吸気口径CF160⇒10Kg
寸法：W97mm×D117mm×H149mm
nEXT400T仕様
排気速度：N2⇒400L/s Ar⇒380L/s He⇒390L/s H2⇒325L/s
圧縮比：N2⇒>1011(D&T) Ar⇒>1011(D&T) He⇒>108 H2⇒106
到達圧力（CF)：<5×10-8Pa
最大背圧：N2⇒950/2,000Pa
吸気口径：ISO100またはCF100
排気口径：NW-25(KF-25)
始動時間：175s
取付姿勢：フランジ直立から水平±2°
冷却方式：外気/空気/水
最大漏洩磁波：5mT
最大消費電力：160W(範囲50～200)
運転電圧：24～48V d.c.
公称回転速度：60,000rpm
ベークアウト時のシステムフランジ最大温度(CFのみ）：水冷⇒120℃ 強制空冷⇒115℃
軸受け制御：上部⇒永久磁石 下部⇒オイル潤滑セラミック製
コントローラータイプ：内臓
インターフェイス：RS232/RS485、I/O、外部Profibus(オプション)
重量：吸気口径ISO160⇒7Kg 吸気口径CF160⇒10Kg
寸法：W97mm×D117mm×H149mm
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