特長
生産性の向上
ポンプのダウンタイム短縮と到達真空度1Paにより、迅速な処理と高い到達真空度を実現します。
インテリジェント制御
豊富な通信機能と自動制御機能を備えたオンボードコントローラ。オンボードコントロールパネルにより、自動始動/停止ルーチン、節電、グリーンモードAUCおよびセルフクリーニングオプションを使って生産プロセスを自動制御することが可能です。PID制御、外部出力制御(0-10V)、イーサネット接続(SIM Protocol)。
進化したシャフトシール技術
GXS内に搭載された画期的な技術がギヤボックスを汚染から保護し、真空スペースへのオイルの侵入を防ぎます。非接触式の長寿命シールできわめて効果的な密封が可能となり、確実なポンプ性能を実現します。
ポンプ機構設計
静音性の高いパワーハウスです。低振動と静音運転を実現し、静音性を要求される作業環境に最適です。強化されたスクリュータイプのロータにより、段階的な圧縮が可能となり、プロセスのあらゆる段階で熱制御が改善され排気が最適化されます。
用途に応じてカスタマイズが可能
さまざまな用途で最適な性能を発揮するようにカスタマイズできます。ライトプロセスからミドルプロセス程度の用途まで、ポンプ単体やポンプとメカニカルブースタポンプの組み合わせが可能です。
長寿命の軸受けおよび潤滑
潤滑間隔と保守間隔の必要性をなくすオイル潤滑式ギアにより、ポンプ寿命の延長と保守コストの節約が期待できます。
用途
- リチウムイオン電池
- 自動車塗膜
- フリーズドライ
- 産業ガラスコーティング
- 太陽電池製造
- 熱処理
- 薄膜蒸着
- プラスチック成形
- 真空容器の高速排気
仕様
項目 | GXS160 | GXS160/1750 | GXS250 | GXS250/2600 | GXS450 | GXS450/2600 | GXS450/4200 | GXS750 | GXS750/2600 | GXS750/4200 |
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設定排気速度 | 2,666L/min (160㎥/h) | 19,333L/min (1,160㎥/h) | 4,166L/min (250㎥/h) | 31,666L/min (1,900㎥/h) | 7,500L/min (450㎥/h) | 36,666L/min (2,200㎥/h) | 50,433L/min (3,026㎥/h) | 12,333L/min (740㎥/h) | 38,333L/min (2,300㎥/h) | 57,500L/min (3,450㎥/h) |
到達圧力 | 1Pa | 0.1Pa | 1Pa | 0.1Pa | 1Pa | 0.1Pa | 0.1Pa | 1Pa | 0.1Pa | 0.1Pa |
吸気口径 | ISO63 | ISO100 | ISO63 | ISO160 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO100 | ISO160 | ISO160 |
排気口径 | NW40(KF40) | NW40(KF40) | NW40(KF40) | NW40(KF40) | NW40(KF40) | NW50(KF50) | NW50(KF) | NW50(KF50) | NW50(KF) | NW50(KF50) |
運転周囲温度範囲 | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ |
モーター定格 | 7.5kW | 7.5kW / 4.5kW | 7.5kW | 7.5kW / 7.5kW | 11kW | 11kW / 7.5kW | 11kW / 7.5kW | 22kW | 22kW / 7.5kW | 22kW / 7.5kW |
騒音レベル | <64dB(A) | <64dB(A) | <64dB(A) | <64dB(A) | <64dB(A) | <64dB(A) | <64dB(A) | <70dB(A) | <70dB(A) | <70dB(A) |
供給電源 | 50Hz/60Hz 三相200-230V または 380-460V | 50Hz/60Hz 三相200-230V または 380-460V | 50Hz/60Hz 三相200-230V または 380-460V | 50Hz/60Hz 三相200-230V または 380-460V | 50Hz/60Hz 三相200-230V または 380-460V | 50Hz/60Hz 三相200-230V または 380-460V | 50Hz/60Hz 三相200-230V または 380-460V | 50Hz/60Hz 三相200-230V または 380-460V | 50Hz/60Hz 三相200-230V または 380-460V | 50Hz/60Hz 三相200-230V または 380-460V |
冷却水流量 | 4L/min | 7L/min | 4L/min | 7L/min | 6L/min | 12L/min | 12L/min | 10L/min | 12L/min | 12L/min |
冷却水供給温度範囲 | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ | 5~40℃ |
パージ流量 | 12L/min、18~146L/min | 12L/min、18~146L/min | 12L/min、18~146L/min | 12L/min、18~146L/min | 12L/min、18~146L/min | 12L/min、18~146L/min | 12L/min、18~146L/min | 12L/min、18~146L/min | 12L/min、18~146L/min | 12L/min、18~146L/min |
重量 | 305kg | 475kg | 305kg | 515kg | 546kg | 760kg | 818kg | 679kg | 918kg | 976kg |
寸法 | W390×D1,092×H568mm | W390×D1,092×H829.5mm | W390×D1,092×H568mm | W390×D1,092×H829.5mm | W517×D1,186×H717mm | W517×D1,186×H1,030.5mm | W517×D1,186×H1,030.5mm | W517×D1,622×H717mm | W517×D1,622×H1,030.5mm | W517×D1,622×H1,030.5mm |