特長
信頼性と高い設計と技術
市場で30年以上の実績を持つ設計を採用しています。使い捨てのオイルフィルターを採用した内蔵のオイルろ過システムと強制オイル潤滑により、あらゆる吸気圧力で効率的かつ容易に作動するポンプメカニズムを実現しています。
防爆仕様に適合したATEXバージョン
E2M Exシリーズは、爆発性雰囲気が存在し得る環境で使用いただけます。爆発性雰囲気で使用するための各種製品があります。これらの製品はATEXや関連するその他の国際規格の認証を取得しています。
ニーズに合ったシリーズを選択可能
殆どの用途に対応するHCシリーズ（炭化水素オイル仕様）。高酸素ガス混合物ポンピング用のFXシリーズ（PFPE対応）。化学的活性化合物用途向けのAZシリーズ（アジ化物対応）。
E2MとEHブースターポンプの組み合わせ
E2MとEHブースターポンプを組み合わせることで排気速度の向上・到達圧力の向上。エドワーズ独自のポンプシステムEM275・EH4200は、非常に高い排気速度を発揮し、大容量のチャンバーを極めて低い圧力に迅速に排気します。
プロセスを汚染から保護
オイルや空気の逆流を防止します。
用途
- 医薬品の凍結乾燥
- コーティング
- 血漿処理（FXシリーズによる酸素豊富な血漿の処理を含む）
- ヒートパイプによる放熱
- 熱処理
- 化学プロセス業界（蒸留、蒸発、混合、Exシリーズによるろ過）
仕様
| E2M40/E2M40F | E2M80/E2M80F | E2M175/E2M175F | E2M275 | |
|---|---|---|---|---|
| 設定排気速度 | 50Hz⇒708L/min（42.5㎥/h） 60Hz⇒842L/min（50.5㎥/h） |
50Hz⇒1,333L/min（80㎥/h） 60Hz⇒1,600L/min（96㎥/h） |
50Hz⇒2,967L/min（178㎥/h） 60Hz⇒3,567L/min（214㎥/h） |
50Hz⇒4,867L/min（292㎥/h） 60Hz⇒5,833L/min（350㎥/h） |
| 実行排気速度 | 50Hz⇒617L/min（37㎥/h） 60Hz⇒733L/min（44㎥/h） |
50Hz⇒1,233L/min（74㎥/h） 60Hz⇒1,500L/min（90㎥/h） |
50Hz⇒2,667L/min（160㎥/h） 60Hz⇒3,267L/min（196㎥/h） |
50Hz⇒4,250L/min（255㎥/h） 60Hz⇒5,100L/min（306㎥/h） |
| 到達圧力 | ガスバラストバルブ閉：0.1Pa ガスバラストバルブ開⇒0.7Pa |
ガスバラストバルブ閉：0.1Pa ガスバラストバルブ開⇒0.7Pa |
ガスバラストバルブ閉：0.1Pa ガスバラストバルブ開⇒0.5Pa |
ガスバラストバルブ閉：0.1Pa ガスバラストバルブ開⇒0.5Pa |
| 許容水蒸気圧 | 700Pa | 500Pa | 2,000Pa | 1,200Pa |
| 水蒸気最大排気速度 | 0.5kg/h | 0.3kg/h | 2.4kg/h | 2.3kg/h |
| 吸気口径 | ISO40 | ISO40 | ISO63 | ISO63 |
| 排気口径 | NW25(KF25) | NW25(KF25) | ISO40 | ISO40 |
| モーター定格 | 50Hz⇒1.5kW 60Hz⇒1.5kW |
50Hz⇒3kW 60Hz⇒3kW |
50Hz⇒5.5kW 60Hz⇒5.5kW |
50Hz⇒7.5kW 60Hz⇒7.5kW |
| 騒音レベル | <65dB | <70dB | <75dB | <75dB |
| オイルタイプ(推奨) | Ultragrade70 | Ultragrade70 | Ultragrade70 | Ultragrade70 |
| オイル量 | 4L | 6.4L | 25L | 28L |
| F仕様推奨オイル | フォンブリンYVAC06/6 | フォンブリンYVAC06/6 | フォンブリンYVAC06/6 | － |
| F仕様オイル量 | 3.5L | 4L | 18L | － |
| 重量 | 72.0Kg | 105Kg | 200Kg | 225Kg |
| 寸法 | W240mm×D690mm×H395mm | W266mm×D815mm×H429mm | W388mm×D1,140mm×H519.5mm | W388mm×D1,185mm×H519.5mm |
効率的なオイル潤滑システム：「内蔵オイルろ過システムによるEMシリーズの効率性」
EHシリーズのポンプは、エンジンのようなもので、工場や研究所でエネルギーを効率的に動かす役割を果たしています。
モードセレクタ
モードセレクタは、ポンプの動作モードを選ぶスイッチみたいなものです。例えば、ポンプが「高速モード」で動くか、「低速モード」で動くかを選ぶことができます。高速モードでは、ポンプはたくさんのエネルギーを使って、たくさんのガスを吸い込んで排出します。
ガスバラスト
ガスバラストは、ポンプの中のガスを効率的に外に出す仕組みです。ポンプがガスを吸い込むとき、ちょっとだけガスが中に残ります。ガスバラストは、その残ったガスを素早く外に出して、ポンプの性能を良くします。
つまり、EHシリーズのポンプは、エネルギーを効率的に運ぶためのスーパーエンジンみたいなものです。ガスバラストとモードセレクタを使って、真空技術をサポートしています。
