用途
- 真空乾燥、脱ガス、脱泡、射出成型、真空含浸
- スパッタ、真空蒸着、ＣＶＤ、真空炉
- 真空パック、真空包装、ラベリング
- 脱泡、脱ガス
- 真空チャック、真空成形
特徴
- ベルト方式に比べ高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。
- 低騒音で低振動。
- 2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。
- 自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
| G-5DA仕様 | G-10DA仕様 | G-20DA仕様 | G-50DA仕様 | G-101D仕様 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 実効排気速度 | 50Hz:5L/min 60Hz:6L/min |
50Hz:10L/min 60Hz:12L/min |
50Hz:20L/min 60Hz:24L/min |
50Hz:50L/min 60Hz:60L/min |
50Hz:100L/min 60Hz:120L/min |
| 到達圧力 | 6.7Pa | 1.3Pa | 1.3Pa | 1.3Pa | G.V. Closed:0.67Pa G.V. Open:6.7Pa |
| 使用電動機 | 単相,100V,40W,4P,コンデンサ運転 | 単相,100V,60W,4P,コンデンサ運転 | 単相,100V,100W,4P,分相始動 | 単相,100V,200W,4P,分相始動 | 単相,100V,400W,4P,コンデンサ始動・運転 |
| 全負荷電流 | 50Hz:0.92A 60Hz:0.73A |
50Hz:1.38A 60Hz:1.22A |
50Hz:3.7A 60Hz:3.0A |
50Hz:5.6A 60Hz:4.8A |
50Hz:6.4A 60Hz:5.9A |
| 油量 | 180mL | 250mL | 180mL | 260mL | 800mL |
| 使用油 | SMR-100 | SMR-100 | SMR-100 | SMR-100 | SMR-100 |
| 質量 | 5kg | 5.5kg | 9kg | 11kg | 23kg |
| 吸気管径 | O.D.Φ12mm×I.D.Φ6mm | O.D.Φ18mm×I.D.Φ14mm | O.D.Φ18mm×I.D.Φ14mm | O.D.Φ18mm×I.D.Φ14mm | O.D.Φ2mm7×I.D.Φ20mm |
| 使用雰囲気温度範囲 | 7～40℃ | 7～40℃ | 7～40℃ | 7～40℃ | 7～40℃ |
| 最大寸法 | 130mm(W)×203mm(L)×159.5mm(H) | 130mm(W)×229.5mm(L)×165mm(H) | 156mm(W)×295.5mm(L)×199.5mm(H) | 156mm(W)×341mm(L)×199.5mm(H) | 234mm(W)×500.5mm(L)×264mm(H) |
| 認証規格 | – | – | – | – | – |
| 電圧 | 1Φ100V | 1Φ100V | 1Φ100V | 1Φ100V | |
| オプション | 1Φ115V・1Φ220V | 1Φ115V・1Φ220V | 1Φ115V・1Φ220V・1Φ230V | 1Φ200V・1Φ220V・1Φ230V | 1Φ200V |
※到達圧力は、ピラニ真空計による測定値です。（マクラウド真空計による測定の場合、到達圧力が1.3Pa以下のポンプでは、1桁低い値になります。）
ご使用上の注意
１．真空ポンプ油は性質上、運転とともに劣化し性能不足の要因となります。
定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。
２．逆流防止弁機構は、停電時等の緊急時に真空槽側にポンプ油が逆流するのを防ぐものです。
長時間停止する場合には真空側を大気圧に戻してください。
３．排気口からの油煙（オイルミスト）は大気圧付近で特に発生します。
４．5kPa以上の高い吸入圧力での連続運転には適しません。
５．排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。
６．このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。
７．真空ポンプ運転中に過負荷保護装置が作動した場合、モータ巻線の温度が下がると自動的に運転を再開します。
事故防止のため、過負荷保護装置が作動した場合は、すぐに電源プラグを抜いてください。
