特長
架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。
- キャスター付きで移動が容易、尚且つアジャスターも搭載しており、設置の安全性を確保できます。
- ガラスベルジャーにより内部が見やすく、良好な操作性を確保できます。
- メインポンプを停止させなくても、真空槽の開放を行うことが可能なので操作性が良いです。
- 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着（最大4層）が可能です。
仕様
| VTR-350M/ERH | |
|---|---|
| 排気速度 | 4.0×10⁻³Pa/10min 3.0×10⁻³Pa/10min |
| 到達圧力 | 4.0×10⁻⁴Pa 2.0×10⁻⁴Pa（液体窒素使用時※液体窒素トラップはオプション品） |
| 真空槽 | ガラスベルジャー（内径Φ300mm×高さ300mm） |
| フィードスルカラー | 12ポート（側面8/底面4） |
| 基板推奨サイズ・最大サイズ | □50mm・□140mm（最大） ※最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります |
| 蒸発電極構成 | 1点式 |
| 蒸発電源・数量 | SEREM PSE-150C 1式 0～10V 150A（Max） |
| メインポンプ |
ターボ分子ポンプ 345L/sec
液体窒素トラップ 有り
補助ポンプ 油回転真空ポンプ200L/min
オイルミストトラップ OMI-200
メインバルブ バタフライバルブ
|
| 補助バルブ | 三方向バルブ |
| 自動リークバルブ | 有り |
| 操作 | 手動 |
| 最大寸法（本体） | 730mm（W）×584mm（D）×1161mm（H） |
| 最大寸法（電源） | 480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H） |
| 質量（本体） | 165kg |
| 質量（電源） | 40kg |
