製品情報 PRODUCT

架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、

抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。

クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。

【仕様】

排気時間：4.0×10-４Pa

　　　　　2.0×10-４Pa（液体窒素使用時※液体窒素トラップはオプション品 ）

到達圧力：4.0×10-４Pa

　　　　　2.0×10-４Pa（液体窒素使用時※液体窒素トラップはオプション品 ）

真空槽：ガラスベルジャー（内径Φ300mm×高さ300mm)

フィードスルカラー：12ポート(側面8/底面4)

基板推奨サイズ・最大サイズ：□50mm・□140mm(最大)

※最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります

蒸発電極構成：1点式

蒸発電源・数量：SEREM　PSE-150C　1 式

　　　　　　　　0～10V 150A（Max)

メインポンプ：バタフライバルブ

補助バルブ：三方向バルブ

自動リークバルブ：有り

操作：手動

ピラニ真空計：GP-1G

電離真空計：GI-M2

最大寸法(本体)：730mm（W）×584mm（D）×1161mm（H）

最大寸法(電源)：480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H）

質量(本体)：160kｇ

質量(電源)：40kg

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

・キャスター付きで移動が容易、尚且つアジャスターも搭載していますので設置の安全性を確保できます。

・ガラスベルジャーにより内部が見やすく、良好な操作性を確保できます。

・メインポンプを停止させなくても、真空槽の開放を行うことが可能なので操作性が良いです。

・蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着(最大4層)が可能です。