製品情報 PRODUCT

架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、

抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。

クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。

【仕様】

到達圧力：10-４Pa

排気時間：4.0×10-3Pa/20min

真空層：円筒型ガラスチャンバー(φ236mm×H250mm)

フィードスルーカラー：7ポート(底面)

基板推奨サイズ：□50mm ・ □120mm(Max)

基板/電極間距離：Max 200mm

蒸発電極構成：1点式

蒸発電極：SEREM PSE-150C・1 式　0-10V 80A(Max)

メインポンプ：ターボ分子ポンプ 60L/sec

補助ポンプ：油回転真空ポンプ　20L/min

オイルミストトラップ：OMT-050A

メインバルブ：オプション(バタフライバルブ)

補助バルブ：オプション(三方向バルブ)

自動リークバルブ：オプション

操作：手動

膜厚計：オプション (CRTM-6000G)

最大寸法(mm)：428(W) × 438(L) × 713(H)

質量(kg)：50

最大寸法(mm)　※電源部：480(W) × 435.3(D) × 149(H)

質量(kg)　※電源部：24

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

卓上に設置できるコンパクトなサイズで、ターボ分子ポンプを搭載しています。

スイッチ操作だけで高真空排気が可能で、多層膜蒸着や基板回転もできる高い拡張性を持っています。

低融点金属の蒸着に最適です。この製品は、基礎研究開発等の実験用に最適で、

クリーン排気であるため、クリーンルーム内でも使用できます。