特長
コンパクト構成の高真空排気装置
ベース架台内にターボ分子ポンプ、ドライ真空ポンプ、バルブ配管、電気系などの必要な機器をコンパクトに構成した高真空排気装置です。
幅広い分野で活躍
半導体、分析、検査、理化学、製薬など多様な分野で使用され、クリーンで安定した真空環境を提供します。
完全ドライの排気ユニット
完全にドライな排気を行います。これにより、信頼性の高い真空環境を確保
省スペース設計
設置スペースがコンパクトであるため、設備スペースの効率が向上。
仕様
| VPT-060 | |
|---|---|
| 到達圧力 | 10⁻⁵ Pa |
| メインポンプ | ターボ分子ポンプ（空冷）60L/sec |
| 補助ポンプ | ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20L/min |
| 吸気口 | ISO63（オプション：KF-40） |
| 排気口 | ISO63（オプション：KF-40） |
| 所要電気量 | 単相/100V 0.3kVA |
| 質量 | 17 kg |
| 使用雰囲気温度範囲 | 8～38℃ |
| 最大寸法 | 幅: 340 mm、長さ: 340 mm、高さ: 355 mm |
| RoHS対応 | 対応 |
オプション
- 電離真空計
- ピラニ真空計
- 配管部品
