特長
- 長期間にわたる安定性
- セラミック膜の採用による、優れた耐腐食性
- 温度補償回路内蔵タイプ
- 汚れからセンサを保護する構造を新規採用
- プッシュボタンによる0点調整が可能
用途
- 成膜装置のプロセス中の圧力モニタ
- 真空溶解、真空熱処理炉などの真空排気系の圧力モニタ
- 太陽電池などの各種製造装置の圧力モニタ
- ガス置換、ガス封入などの圧力モニタ
- 加圧還元炉などの加圧真空システム
仕様
| CCMT-1000D | CCMT-100D | CCMT-10D | CCMT-1D | |
|---|---|---|---|---|
| 測定フルスケール | 133kPa F.S. | 13.3kPa F.S. | 1.33kPa F.S. | 133Pa F.S. |
| 測定下限圧力 | 13Pa | 1.3Pa | 0.13Pa | 1.3×10-2Pa |
| 実用測定下限圧力 | 66.6Pa | 6.7Pa | 0.67Pa | 6.7×10-2Pa |
| 分解能 | フルスケールに対し0.003% | フルスケールに対し0.003% | フルスケールに対し0.003% | フルスケールに対し0.003% |
| 精度*1 | 指示値に対し±0.2% ±温度係数 | 指示値に対し±0.2% ±温度係数 | 指示値に対し±0.2% ±温度係数 | 指示値に対し±0.2% ±温度係数 |
| 温度係数 | ゼロ電圧⇒0.015% F.S./℃、スパン電圧⇒0.01% R/℃ | ゼロ電圧⇒0.015% F.S./℃、スパン電圧⇒0.01% R/℃ | ゼロ電圧⇒0.015% F.S./℃、スパン電圧⇒0.01% R/℃ | ゼロ電圧⇒0.015% F.S./℃、スパン電圧⇒0.01% R/℃ |
| 使用温度範囲 | 10～50℃ | 10～50℃ | 10～50℃ | 10～50℃ |
| 応答速度 | 30ms以下 | 30ms以下 | 30ms以下 | 30ms以下 |
| 接ガス部材質 | Al2O3、Vacon70*2、SUS316*3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田 | Al2O3、Vacon70*2、SUS316*3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田 | Al2O3、Vacon70*2、SUS316*3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田 | Al2O3、Vacon70*2、SUS316*3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田 |
| 入力電源 | DC14～30V, 1W | DC14～30V, 1W | DC14～30V, 1W | DC14～30V, 1W |
| 出力 | DC 0～10V F.S. | DC 0～10V F.S. | DC 0～10V F.S. | DC 0～10V F.S. |
| 質量 | 329g（直径12.7・標準型） | 329g（直径12.7・標準型） | 329g（直径12.7・標準型） | 329g（直径12.7・標準型） |
| 外形寸法 | 直径55mm×117mm（直径12.7mm・標準型） | 直径55mm×117mm（直径12.7mm・標準型） | 直径55mm×117mm（直径12.7mm・標準型） | 直径55mm×117mm（直径12.7mm・標準型） |
| フィッティング | 直径12.7パイプ、NW16、Cajon 8VCR | 直径12.7パイプ、NW16、Cajon 8VCR | 直径12.7パイプ、NW16、Cajon 8VCR | 直径12.7パイプ、NW16、Cajon 8VCR |
| 温度補償 | 温度補償回路内臓 | 温度補償回路内臓 | 温度補償回路内臓 | 温度補償回路内臓 |
| 入出力コネクタ | D-sub 15ピン オス | D-sub 15ピン オス | D-sub 15ピン オス | D-sub 15ピン オス |
*1：2時間電源投入後、使用環境温度25℃、ゼロ点調整実施
*2：Ni⇒28%、Co⇒23%、Fe⇒49%
*3：Cr⇒18%、Ni⇒10%、Mo⇒3%、69%⇒Fe
未来の真空技術の進化
真空技術はさまざまな産業や科学分野で重要な役割を果たしています。未来に向けて、どのように進化するでしょうか？
エネルギー分野への応用
真空技術は、エネルギーの効率的な利用にも役立ちます。例えば、太陽光発電や風力発電の装置内での真空技術の活用が期待されています。
宇宙探査への貢献
真空は宇宙空間の特性でもあります。将来的には、宇宙船や人口衛星の設計や運用に真空技術が欠かせない存在となるでしょう。
医療分野での進歩
真空技術は、MRI（磁気共鳴画像法）や放射線治療装置などの医療機器にも利用されています。今後はさらなる進歩が期待されています。
セラミックキャパシタンスマノメータの可能性と課題
セラミックキャパシタンスマノメータの可能性と課題：セラミックキャパシタンスマノメータは、真空計の一種で、セラミック製の隔膜を使って圧力を測定します。これにはどの様な可能性と課題があるでしょうか？
可能性
- 高い耐久性：セラミック材料は耐久性が高く、長期間にわたって安定した性能を発揮します。
- 再現性と安定性：セラミックキャパシタンスマノメータは再現性が高く、正確な圧力測定ができます。
課題
- 高精度の維持：真空計は正確な測定が求められるため、センサの精度を維持することが重要です。
- 温度補償：温度変化による影響を最小限に抑えるために、温度補償回路が必要です。