特長
- 3室インライン式の採用
処理室と取出室を別にし、イオンソースもH／Lを各々搭載したことで、アイドルタイム
の少ない効率的な動作が可能になりました。 - 多源同時処理
SFE-B03に搭載したIGF-201型100㎜ビームのイオンソースを2基搭載しています。
1台あたり最大24個、計48個同時処理が可能です。 - 微小ワークに対応した高精度な機構
SFE-B03で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機構を本装置にも採用しております。
今までインラインでは困難であった小型ワーク（1.2×1.0以下）の周波数調整も、安定して量産できます。
用途・応用例
対象製品
水晶振動子/水晶発振器（3225、2520，2016，1612，1210，1008）
音叉振動子（3215，2012，1610，1210）
仕様
| SFE-X2012 | |
|---|---|
| 処理方式 | インライン式 |
| 排気ポンプ | RP＋MBP＋TMP |
| 設置寸法 | W3,000㎜×D2,100㎜×H2,000㎜ |
| 装置重量 | 2,150kg |
| 電源容量 | AC200V（3φ）/ 18kVA（54A） |
| 真空槽サイズ | 処理室：W1,100㎜×D500㎜×H200㎜ |
| 装置構成 | 3室（仕込室、処理室、取出室） ※オプションでLD、ULDとドッキングが可能 |
| 搬送系 | SFE-B03型と同じくＸ軸搬送をH/Lに各々採用 |
| イオンソース | 100㎜ビーム矩形型 ×2式⇒最大48個同時処理 |
| 計測器 | ネットワークアナライザー 8台 |
| パソコン | Windows PC×2台 |
| 周調工程 | 2段階(H,LL) |
| タクトタイム | 0.3sec/pc以下 ※18MHz以上のワーク、1列24個以上の場合 |
| 調整精度 | ±1.5ppm以下 |
| 処理数 | 最大24列（p4.0）×32列 |
| 生産量 | 12,000pcs/時間以上 |
