ロードロック式周波数調整装置│昭和真空社製（SFE-B03-II）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 SFE-B03-Ⅱ メーカー ㈱昭和真空
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製品説明
水晶デバイスの周波数調整を行う事を目的とした装置となります。
省スペース、高精度、高生産性を実現したスタンダードモデルです。
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
特徴
省スペース・高精度・低価格・タクトタイム0.4s/pcs以下を実現しました。
（※SMD3.2×2.5、24MHz、H1,000ppm/s、L50ppm/sの場合）
新型イオンソース（ビーム幅：100mm）を搭載しており、標準24～32個同時処理が可能となりました。
高精度・高安定・高再現性の搬送機構の採用により、1.2×1.0以下の微小ワークも、安定して生産できます。
FLモード（負荷容量自動演算モード）を搭載しています。
イオンソース本体・コンタクト機構のメンテナンス性が大幅に向上しました。
2室ロードロック方式を採用することで、処理室は常時真空に保持されているので、
タクトタイムが真空排気及び大気開放の時間に依存しません。
仕様・オプション
【仕様】
処理方式 ロードロック式
排気ポンプ：油回転真空ポンプ(RP)+ターボ分子ポンプ(TMP)
設置寸法：W1,200mm×D1,300mm×H1,800mm
装置重量：1,000kg
チャンバー(真空槽）：処理室⇒W475mm×D500mm×H220mm
装置構成：2室（仕込室、処理室）インターバック式
搬送系：1軸×方向のみ
イオンソース：100mmビーム矩形型 1式→24ビーム（4mmピッチ）
計測器：ネットワークアナライザー/周波数カウンター4台（6素子/1台）
周調工程：1～4階段（H,M,L,LL）
タクトタイム：0.4sec/pc以下 ※18MHz以上のワーク、1列24個以上の場合
調整制度：±1.5ppm以下
処理数：最大24列（p4.0）×32列
生産量：10,000pcs/時間以上
【オプション】
マガジン搬送・オーバードライブ機能付き LD/ULD（三生電子株式会社製）
小型ワークコンタクト調整システム 「サーチロイド」
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
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