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※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値より引用
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

小型真空蒸着装置│昭和真空社製(SEC-06D/08C)

※価格についてはお問い合わせください。

金属薄膜用蒸着装置のコンパクトモデル。抵抗加熱式蒸発源を使用して金属材料を蒸発させ、基板上に薄膜を形成するための真空蒸着装置です。装置はバッチ式で、自転式治具を搭載し、付き回りの良い成膜を行います。

特長

  1. 膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。
  2. 操作制御系は全自動式になっています。
  3. 真空槽はメンテナンス性が高いフロントドアータイプです。
  4. 用途に応じて、自転式以外にドーム式や自公転式への対応も可能です。
  5. ローコストでリーズナブルに研究開発・小ロット生産をスタートさせることが可能です。
  6. ロードロック式へのカスタマイズも可能です。

用途・応用例

金属装飾部品/アンダーコート・トップコートなどの塗料評価用

    仕様

    SEC-06D/08C
    到達圧力 10-4Pa台
    排気速度 大気圧より6.7×10-3Pa迄20分以内
    基板加熱 MAX150℃
    基板回転 2~14rpm
    蒸発源系 抵抗加熱式蒸発源 4式、切替式(蒸発電源2台)
    排気系 拡散ポンプ、油回転ポンプ (SEC-06D)
    クライオポンプ、ドライポンプ (SEC-08C)
    真空槽 W500㎜×D500㎜×H600㎜
    フットプリント W1,240 mm x D1,300 mm x H2,000 mm
    装置重量 500kg
    電源容量 AC200V (3φ) / 9.8kVA (28A)
    所要水量 0.2MPa以上(差圧)、0.75㎥/h、20~25℃
    ※冷却水入口の最大圧は0.4MPa以下、水質は市水相当
    所要圧空 0.5MPa以上、接続口径、8A(Rp3/4)

    オプション

    公転ドーム式治具/自公転式治具/加熱機構/ロードロック対応

    この製品を導入した実績

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