特長
- 膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。
- 操作制御系は全自動式になっています。
- 真空槽はメンテナンス性が高いフロントドアータイプです。
- 用途に応じて、自転式以外にドーム式や自公転式への対応も可能です。
- ローコストでリーズナブルに研究開発・小ロット生産をスタートさせることが可能です。
- ロードロック式へのカスタマイズも可能です。
用途・応用例
金属装飾部品/アンダーコート・トップコートなどの塗料評価用
仕様
SEC-06D/08C | |
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到達圧力 | 10-4Pa台 |
排気速度 | 大気圧より6.7×10-3Pa迄20分以内 |
基板加熱 | MAX150℃ |
基板回転 | 2~14rpm |
蒸発源系 | 抵抗加熱式蒸発源 4式、切替式(蒸発電源2台) |
排気系 | 拡散ポンプ、油回転ポンプ (SEC-06D) クライオポンプ、ドライポンプ (SEC-08C) |
真空槽 | W500㎜×D500㎜×H600㎜ |
フットプリント | W1,240 mm x D1,300 mm x H2,000 mm |
装置重量 | 500kg |
電源容量 | AC200V (3φ) / 9.8kVA (28A) |
所要水量 | 0.2MPa以上(差圧)、0.75㎥/h、20~25℃ ※冷却水入口の最大圧は0.4MPa以下、水質は市水相当 |
所要圧空 | 0.5MPa以上、接続口径、8A(Rp3/4) |
オプション
公転ドーム式治具/自公転式治具/加熱機構/ロードロック対応