膜厚/蒸着レートモニター│インフィコン社製(STM-2)製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 膜厚/蒸着レートモニター│インフィコン社製(STM-2)製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 STM-2 メーカー インフィコン㈱
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製品説明
STM-2はUSB接続でシンプルかつ精密な測定エンジンを備え、そのコンパクトかつ低価格のパッケージは効率的なセットアップと操作を可能にします。
毎秒10回の測定が可能で、1回の測定当たり0.037 Åの高い分解能を提供します(密度 = 1、Z ratio = 1の場合)
【仕様】
種類(センサー):シングルQCMセンサー(シャッター制御不可)
入力数(センサー):STM-2×1台に付き センサー×1台
入力端子 (センサー):BNCメスコネクタ
使用可能な水晶振動子:6 MHz
周波数分解能:0.03 Hz(6 MHzにおいて)
測定間隔:0.10 s
基準周波数の安定性 :±2 ppm
膜厚とレートの分解能と測定:0.037 Å(Tooling Factor = 100、密度 = 1、Z ratio = 1、6 MHzの場合です)
膜厚表示の分解能:1 Å(ソフトウェアでの表示のみ)
インタフェース :400 mA、5 V DCの給電可能なv1.1以降のUSB
サイズ:11.4 × 7.6 × 2.5 cm(4.5 × 3 × 1インチ)
重さ:57 g
コンピュータ要求 Windows 2000以降のMicrosoftのいずれかのOSを実行しているパソコンで、1台のSTM-2につき1つのUSB 1.1以降のポートを使用できることが必要。
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
・低価格で導入可能
・シンプルなUSB接続なので取り回しが容易
・オシレータ内蔵型
・毎秒10回の測定が可能で高精度を実現
・外部オシレータにの対応可能
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