リークディテクター│ライボルト社製（PHOENIXシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- リークディテクター│ライボルト社製（PHOENIXシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 PHOENIXシリーズ メーカー ライボルト㈱
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製品説明
使いやすさを念願に、高い精度で素早く。
PHOENIXには3種類のモデルがございます。
簡単な操作・内臓式タッチスクリーンとWi-Fiオプションで、ご用途に合った適切なリークディテクターを選択いただくことが可能です。
新しいソフトウェアファンクションで、外部ディスプレイを追加してモニタリングしたり、
PHOENIXを遠隔から稼働するなど、柔軟性を追加することができます。
内部と外部でデータをロギングすることができますので、測定値の紛失がなくなります。
【PHOENIXシリーズ仕様一覧】
PHOENIX Quadro・Quadroドライ
補助ポンプは油回転式またはドライ仕様を選択可能です。
ヘリウム排気速度が最適化されたターボ分子ポンプにより検知感度を改善
粗引き時の排気速度は41.6L/min(2.5㎥/h)から50L/min(3㎥/h)まで
より高いデータの柔軟性：USBとバス・インターフェースオプション
【PHOENIX Magno・Magnoドライシリーズ仕様一覧】
排気速度の高い補助ポンプを使用する強力なタイプとなります。
大容量のテストに最適です。
カートで移動、または固定しての操作が可能です。
【PHOENIX Varioシリーズ仕様一覧】
より小型なモジューラーバージョン
コンパクトでポータブル、軽量
システム統合または移動式（カートに搭載）に理想的
外付けの補助ポンプに直接電気接続が可能です。
【用途】
研究開発 ：大学、研究機関 、リサーチセンター 、研究所 、装置製造開発
コンパクトなシステムで利用可能なスペースで最適に使用が可能です。高い移動性と柔軟性。簡単で直感的な操作。
インテリジェントリマインダーと便利なデータロギングオプション。
ユーザーごとに簡単に切り替えが可能：ユーザープロファイルの設定とログインが簡単に行えます。
実験ごとに簡単に変更が可能：テスト設定を作成、10までのパラメーターの保存が可能です。
UHVアプリケーション ：粒子加速器、UHVコンポーネントとシステム、宇宙シュミレーション
全てのモデルで、最小リークレート：≤5×10-13乗Pa・㎥/s（≤ 5・10-12乗mbar・l/s）
非常に高い精度と信頼性の高い測定が可能です。
非常に低いバックグランドと、低いリークレートで素早く測定するためのインテリジェントゼロファンクション。
ボリュームが大きい時でも素早く測定するための高い排気速度。
オイルフリーのシステムとプロセス用途向けのドライバージョン。
産業用途：産業用システムと機械、冶金、工業炉、電機産業
非常に高い排気速度で大量生産に最適です。
過酷なプロセスでの堅牢性：高頻度での使用に耐用性がある実績のある産業用設計の頑丈なコンポーネント。
リモートコントロールオプションが必要となる大型システムに対して、RC310またはWi-Fi機能を使用して
スマートフォンやタブレットからログインが可能です。
素早いオペレーション：数分で運転可能な状態となる素早い起動が可能です。
工業生産：分析機器、医療機器、食品・包装、自動車・航空機
高い品質要求に対応：一貫した高い精度のテスト結果のための信頼できる測定が可能です。
優れた効率性：異なるテストパーツのパラメーターの保存と簡単なアップロードが可能です。
素早いサイクルのための高いヘリウム排気速度。
半導体 ：半導体製造 、フラットパネルディスプレイ
測定時間短縮：数分で運転可能な状態となる素早い起動が可能です。
広い施設内で高い可搬性のある小型システムのシリーズがあります。
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
特徴
・簡単にタッチ：ディスプレイの複雑なメニューがなく使いやすいディスプレイとなります。
直感的メニュー構造の最先端のマルチカラータッチスクリーンとなります。
・手間なく簡単なログイン：Wi-Fiを介してスマートフォンやタブレットから簡単にログインできる
マーケット唯一のポータブルディテクターです。
ソフトウエアやアプリのダウンロードは不要です。
・非常に高い感度：全てのPHOENIXシリーズには極めて高いヘリウム感度のULTRAモードを
新たに搭載しております。
非常に小さなリークも即座に検知でき、結果として今までにないほど素早い
レスポンスタイムに繋がります。
・実績のある測定システムによる非常に高い正確性と信頼性
・非常に速いヘリウム排気速度を持つ最も効率的な測定器です。
・一貫性と利便性：全てのパラメータを保存、他のPHOENIXリークディテクターにコピーが可能です。
・簡単な内部または外部のロギング：測定値の紛失なし。
・HDMIインターフェースにより追加の外部ディスプレイからリークをチェックが可能です。
・3種類のモデルから、ご用途に合ったモデルを選択可能です。
PHOENIX Quadro仕様
最小検知可能ヘリウムリークレート
真空モード：≤5×10-13乗Pa・㎥/s（≤ 5・10-12乗mbar・l/s）
スニファーモード ：<1×10-10乗Pa・㎥/s（＜1×10-9乗mbar・l/s）
最小検知可能水素リークレート
真空モード：≤1×10-9乗Pa・㎥/s（≤ 5×10-8乗mbar・l/s）
スニファーモード ：<1×10-8乗Pa・㎥/s（＜1×10-7乗mbar・l/s)
表示測定単位（選択可能）
圧力：Pa、Torr、mbar、atm
リークレート：Pa・㎥/s、mbar・I/s、Torr・I/s、atm・cc/s
スニファーモード：ppm、g/a、oz/yr
リークレート表示範囲：1×10-13乗～1×10-2乗Pa・㎥/s（ 1×10-12乗～1×10-1乗mbar・l/s）
最大吸気口圧力：1.5×10+3乗Pa（15mbar）
パーシャルフローポンプセット使用時：1×10+5乗Pa（1000mbar）
排気プロセス中排気速度： 50Hz ⇒41.6L/min（2.5㎥/h）、60Hz⇒ 50L/min（3.0㎥/h）
ヘリウム排気速度(真空モード時）
GROSSモード：24L/min（0.4L/s）
FINEモード：72L/min（1.2L/s)
ULTRAモード：＞186L/min（＞3.1L/s）
起動時間（スイッチオン後）： ≤110秒
質量分析計 ：180°磁場偏向型
検知可能質量（単位：amu） 2、3および4
吸気口フランジ：DN 25ISO-KF
外形寸法：W495mm×D318mm×H475mm
本体重量：41kg
使用可能言語：英語、ドイツ語、中国語、日本語、韓国語、ロシア語、フランス語、
イタリア語、スペイン語、ポーランド語
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
PHOENIX Quadroドライ仕様
最小検知可能ヘリウムリークレート
真空モード：≤5×10-13乗Pa・㎥/s（≤ 5・10-12乗mbar・l/s）
スニファーモード ：<1×10-10乗Pa・㎥/s（＜1×10-9乗mbar・l/s）
最小検知可能水素リークレート
真空モード：≤1×10-9乗Pa・㎥/s（≤ 5×10-8乗mbar・l/s）
スニファーモード ：<1×10-8乗Pa・㎥/s（＜1×10-7乗mbar・l/s)
表示測定単位（選択可能）
圧力：Pa、Torr、mbar、atm
リークレート：Pa・㎥/s、mbar・I/s、Torr・I/s、atm・cc/s
スニファーモード：ppm、g/a、oz/yr
リークレート表示範囲：1×10-13乗～1×10-2乗Pa・㎥/s（ 1×10-12乗～1×10-1乗mbar・l/s）
最大吸気口圧力：1.5×10+3乗Pa（15mbar）
パーシャルフローポンプセット使用時：1×10+5乗Pa（1000mbar）
排気プロセス中排気速度：50Hz⇒56.6L/min（3.4 ㎥/h）、60Hz⇒ 63.3L/min（3.8㎥/h）
ヘリウム排気速度(真空モード時）
GROSSモード：2.4L/min（0.04L/s）
FINEモード：72L/min（1.2L/s）
ULTRAモード：＞186L/min（＞3.1L/s）
起動時間（スイッチオン後）：≤110秒
質量分析計 ：180°磁場偏向型
検知可能質量（単位：amu） 2、3および4
吸気口フランジ：DN 25ISO-KF
外形寸法：W495mm×D318mm×H475mm
本体重量：35kg
使用可能言語：英語、ドイツ語、中国語、日本語、韓国語、ロシア語、フランス語、イタリア語、
スペイン語、ポーランド語
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
PHOENIX Magno仕様
最小検知可能ヘリウムリークレート
真空モード：≤5×10-13乗Pa・㎥/s（≤ 5・10-12乗mbar・l/s）
スニファーモード ：<1×10-10乗Pa・㎥/s（＜1×10-9乗mbar・l/s）
最小検知可能水素リークレート
真空モード：≤1×10-9乗Pa・㎥/s（≤ 5×10-8乗mbar・l/s）
スニファーモード ：<1×10-8乗Pa・㎥/s（＜1×10-7乗mbar・l/s)
表示測定単位（選択可能）
圧力：Pa、Torr、mbar、atm
リークレート：Pa・㎥/s、mbar・I/s、Torr・I/s、atm・cc/s
スニファーモード：ppm、g/a、oz/yr
リークレート表示範囲：1×10-13乗～1×10-2乗Pa・㎥/s（ 1×10-12乗～1×10-1乗mbar・l/s）
最大吸気口圧力：1.5×10+3乗Pa（15mbar）
パーシャルフローポンプセット使用時：1×10+5乗Pa（1000mbar）
排気プロセス中排気速度：50Hz⇒250L/min（15㎥/h）、60Hz⇒ 283.3L/min（17㎥/h）
ヘリウム排気速度(真空モード時）
GROSSモード：＜480L/min（＜8L/s）
FINEモード：＜420L/min（＜7L/s）
ULTRAモード：＞186L/min（＞3.1L/s）
起動時間（スイッチオン後）：≤110秒
質量分析計 ：180°磁場偏向型
検知可能質量（単位：amu） 2、3および4
吸気口フランジ：DN 25ISO-KF
外形寸法：W521mm×D371mm×H679mm
本体重量：67kg
使用可能言語：英語、ドイツ語、中国語、日本語、韓国語、ロシア語、フランス語、イタリア語、
スペイン語、ポーランド語
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
PHOENIX Magnoドライ仕様
最小検知可能ヘリウムリークレート
真空モード：≤5×10-13乗Pa・㎥/s（≤ 5・10-12乗mbar・l/s）
スニファーモード ：<1×10-10乗Pa・㎥/s（＜1×10-9乗mbar・l/s）
最小検知可能水素リークレート
真空モード：≤1×10-9乗Pa・㎥/s（≤ 5×10-8乗mbar・l/s）
スニファーモード ：<1×10-8乗Pa・㎥/s（＜1×10-7乗mbar・l/s)
表示測定単位（選択可能）
圧力：Pa、Torr、mbar、atm
リークレート：Pa・㎥/s、mbar・I/s、Torr・I/s、atm・cc/s
スニファーモード：ppm、g/a、oz/yr
リークレート表示範囲：1×10-13乗～1×10-2乗Pa・㎥/s（ 1×10-12乗～1×10-1乗mbar・l/s）
最大吸気口圧力：1.5×10+3乗Pa（15mbar）
パーシャルフローポンプセット使用時：1×10+5乗Pa（1000mbar）
排気プロセス中排気速度：50Hz⇒83.3L/min（5㎥/h）、60Hz⇒ 100L/min（6㎥/h）
ヘリウム排気速度(真空モード時）
GROSSモード：＜210L/min（＜3.5L/s）
FINEモード：＜120L/min（＜2L/s）
ULTRAモード：＞186L/min（＞3.1L/s）
起動時間（スイッチオン後）：≤110秒
質量分析計 ：180°磁場偏向型
検知可能質量（単位：amu） 2、3および4
吸気口フランジ：DN 25ISO-KF
外形寸法：W521mm×D371mm×H679mm
本体重量：57kg
使用可能言語：英語、ドイツ語、中国語、日本語、韓国語、ロシア語、フランス語、イタリア語
スペイン語、ポーランド語
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
PHOENIX Vario仕様
最小検知可能ヘリウムリークレート
真空モード：≤5×10-13乗Pa・㎥/s（≤ 5・10-12乗mbar・l/s）
スニファーモード ：<1×10-10乗Pa・㎥/s（＜1×10-9乗mbar・l/s）
最小検知可能水素リークレート
真空モード：≤1×10-9乗Pa・㎥/s（≤ 5×10-8乗mbar・l/s）
スニファーモード ：<1×10-8乗Pa・㎥/s（＜1×10-7乗mbar・l/s)
表示測定単位（選択可能）
圧力：Pa、Torr、mbar、atm
リークレート：Pa・㎥/s、mbar・I/s、Torr・I/s、atm・cc/s
スニファーモード：ppm、g/a、oz/yr
リークレート表示範囲：1×10-13乗～1×10-2乗Pa・㎥/s（ 1×10-12乗～1×10-1乗mbar・l/s）
最大吸気口圧力：1.5×10+3乗Pa（15mbar）
パーシャルフローポンプセット使用時：1×10+5乗Pa（1000mbar）
排気プロセス中排気速度：選択した補助ポンプによる
ヘリウム排気速度(真空モード時）
ULTRAモード：＞186L/min（＞3.1L/s）
起動時間（スイッチオン後）：≤110秒
質量分析計 ：180°磁場偏向型
検知可能質量（単位：amu） 2、3および4
テストポート：2×DN 25 ISO-KF
吸気口フランジ：DN 25ISO-KF
外形寸法：W486mm×D313mm×H380mm
本体重量：25kg
使用可能言語：英語、ドイツ語、中国語、日本語、韓国語、ロシア語、フランス語、イタリア語、
スペイン語、ポーランド語
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
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