真空アングルバルブ│アルバック社製（VLPシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 真空アングルバルブ│アルバック社製（VLPシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 VLPシリーズ メーカー ㈱アルバック
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製品説明
アルバックの真空アングルバルブは、ユーザーが特定の要件に合わせて
効果的に使用できるよう多様な要件に対応するためにラインアップが充実しています。
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
特徴
サイズのバリエーションは、16A(5/8inch)から900A(36inch)までの広範なサイズを提供しています。
接続フランジタイプ: バルブは4種類の接続フランジタイプを備えています。
開閉メカニズムのバリエーション: バルブは複動・単動シリンダに手動まで、様々な開閉メカニズムを提供しています。
幅広いニーズへの対応: バルブのサイズ、接続タイプ、開閉メカニズムの組み合わせにより、多岐にわたる真空システムやプロセスに対応できます。
VLP-SA仕様
真空レベル: 大気圧から10^-5 Pa(abs)
使用圧力範囲: 大気圧から10^-5 Pa(abs)
形状: アングル
駆動方式: 複動
ボディ材質: ステンレス鋼（304）
許容ベーキング温度: 150 ℃
許容逆差圧: 0.10 MPa
*1 真空レベルと構造の関係は、「シール構造説明」を参照下さい。
*2 駆動部は60℃以下。（ ）内はバルブ“開”状態。
*3 単動NC・・・ノーマルクローズ。（圧空解放時に自動的にクローズ）
弁板許容最大差圧（正圧/逆圧） MPa: 0.10
弁開時許容最大差圧（正圧/逆圧） MPa: 0.10
弁板シール方式: Oリング
軸シール方式: VLP-SA: Oリング
駆動方式: 複動シリンダ
リーク量（外部/内部）※1 Pa・m3/s: ≦1.0E-10
使用圧力範囲 Pa（abs): VLB-SA: 大気圧～1.0E-5
ベーキング許容温度※2 ℃:本体: 150※3
駆動部: 70 (センサー: 60)
加熱及び冷却速度 ℃/h: ≦30
使用流体温度 ℃: 5～70
使用流体: 非腐食性流体
環境温度 ℃: 5～70 (センサー: 5～60)
環境雰囲気: 非腐食性雰囲気、結露しないこと
シリンダ供給圧空圧力 MPaG: 0.40～0.60※4
保証動作回数※5: 10,000 (VLP-SB)
保証経過年数※5: 納入後１年
運転姿勢: 自由
開閉センサ取付: オプション (別売)
真空側主要部品材質: ステンレス鋼（304）
大気側主要部品材質: ステンレス鋼（304）、アルミニウム（6061）+アルマイト
ベローズ材質: VLP-SB, VLP-MB:ステンレス鋼（316L）
シール部品材質（真空側）※6: VLP-SA, VLP-SB : FKM VLP-MB: 外部シール：メタル、内部シール：FKM
油脂類（真空側）: VLP-SA, VLP-MB: フッ素グリス VLP-SB: ノングリス
吊具取付部: 無※7
RoHS/SEC/EAR: 対応/非該当/非該当
※1 リーク量に Oリングの透過は含みません。また、Oリング軸シールの場合、開閉動作中の外部リーク量は規定対象外です。
※2 ベーキング中は開閉動作を行わないで下さい。
※3 VLP-MB 本体（開時）：200℃，本体（閉時）：150℃
※4 200A 以上は、0.50 ～ 0.60MPaG となります。
※5 保証動作回数、保証経過年数いずれかに到達するまでが保証期間となります。
※6 VLP-SA , VLB-SA についてはオプションで EPDM も用意致します。
※7 VLP-SA350JH は吊り具（アイボルト M12 × 2 個）が本体に取り付けられています。
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
VLP-SB仕様
真空レベル: 大気圧から10^-6 Pa(abs)
使用圧力範囲: 大気圧から10^-6 Pa(abs)
形状: アングル
駆動方式: 複動
ボディ材質: ステンレス鋼（304）
許容ベーキング温度: 150 ℃
許容逆差圧: 0.10 MPa
*1 真空レベルと構造の関係は、「シール構造説明」を参照下さい。
*2 駆動部は60℃以下。（ ）内はバルブ“開”状態。
*3 単動NC・・・ノーマルクローズ。（圧空解放時に自動的にクローズ）
弁板許容最大差圧（正圧/逆圧） MPa: 0.10
弁開時許容最大差圧（正圧/逆圧） MPa: 0.10
弁板シール方式: Oリング
軸シール方式: VLP-SB: ベローズ
駆動方式: 複動シリンダ
リーク量（外部/内部）※1 Pa・m3/s: ≦1.0E-10
使用圧力範囲 Pa（abs):VLP-SB: 大気圧～1.0E-6
ベーキング許容温度※2 ℃:本体: 150※3
駆動部: 70 (センサー: 60)
加熱及び冷却速度 ℃/h: ≦30
使用流体温度 ℃: 5～70
使用流体: 非腐食性流体
環境温度 ℃: 5～70 (センサー: 5～60)
環境雰囲気: 非腐食性雰囲気、結露しないこと
シリンダ供給圧空圧力 MPaG: 0.40～0.60※4
保証動作回数※5: 10,000 (VLP-SB), 100,000 (VLP-SB, VLP-MB)
保証経過年数※5: 納入後１年
運転姿勢: 自由
開閉センサ取付: オプション (別売)
真空側主要部品材質: ステンレス鋼（304）
大気側主要部品材質: ステンレス鋼（304）、アルミニウム（6061）+アルマイト
ベローズ材質: VLP-SB, VLP-MB:ステンレス鋼（316L）
シール部品材質（真空側）※6: VLP-SA, VLP-SB : FKM VLP-MB: 外部シール：メタル、内部シール：FKM
油脂類（真空側）: VLP-SA, VLP-MB: フッ素グリス VLP-SB: ノングリス
吊具取付部: 無※7
RoHS/SEC/EAR: 対応/非該当/非該当
※1 リーク量に Oリングの透過は含みません。また、Oリング軸シールの場合、開閉動作中の外部リーク量は規定対象外です。
※2 ベーキング中は開閉動作を行わないで下さい。
※3 VLP-MB 本体（開時）：200℃，本体（閉時）：150℃
※4 200A 以上は、0.50 ～ 0.60MPaG となります。
※5 保証動作回数、保証経過年数いずれかに到達するまでが保証期間となります。
※6 VLP-SA , VLB-SA についてはオプションで EPDM も用意致します。
※7 VLP-SA350JH は吊り具（アイボルト M12 × 2 個）が本体に取り付けられています。
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
VLP-MB仕様
真空レベル: 大気圧から10^-8 Pa(abs)
使用圧力範囲: 大気圧から10^-8 Pa(abs)
形状: アングル
駆動方式: 複動
ボディ材質: ステンレス鋼（304）
許容ベーキング温度: 150 ℃（一部200 ℃）
許容逆差圧: 0.10 MPa
*1 真空レベルと構造の関係は、「シール構造説明」を参照下さい。
*2 駆動部は60℃以下。（ ）内はバルブ“開”状態。
*3 単動NC・・・ノーマルクローズ。（圧空解放時に自動的にクローズ）
弁板許容最大差圧（正圧/逆圧） MPa: 0.10
弁開時許容最大差圧（正圧/逆圧） MPa: 0.10
弁板シール方式: Oリング
軸シール方式:VLP-SB，VLP-MB: ベローズ
駆動方式: 複動シリンダ
リーク量（外部/内部）※1 Pa・m3/s: ≦1.0E-10
使用圧力範囲 Pa（abs):VLP-MB: 大気圧～1.0E-8
ベーキング許容温度※2 ℃:本体: 150※3
駆動部: 70 (センサー: 60)
加熱及び冷却速度 ℃/h: ≦30
使用流体温度 ℃: 5～70
使用流体: 非腐食性流体
環境温度 ℃: 5～70 (センサー: 5～60)
環境雰囲気: 非腐食性雰囲気、結露しないこと
シリンダ供給圧空圧力 MPaG: 0.40～0.60※4
保証動作回数※5: 100,000 (VLP-SB, VLP-MB)
保証経過年数※5: 納入後１年
運転姿勢: 自由
開閉センサ取付: オプション (別売)
真空側主要部品材質: ステンレス鋼（304）
大気側主要部品材質: ステンレス鋼（304）、アルミニウム（6061）+アルマイト
ベローズ材質: VLP-SB, VLP-MB:ステンレス鋼（316L）
シール部品材質（真空側）※6:VLP-MB: 外部シール：メタル、内部シール：FKM
油脂類（真空側）: VLP-SA, VLP-MB: フッ素グリス
吊具取付部: 無※7
RoHS/SEC/EAR: 対応/非該当/非該当
※1 リーク量に Oリングの透過は含みません。また、Oリング軸シールの場合、開閉動作中の外部リーク量は規定対象外です。
※2 ベーキング中は開閉動作を行わないで下さい。
※3 VLP-MB 本体（開時）：200℃，本体（閉時）：150℃
※4 200A 以上は、0.50 ～ 0.60MPaG となります。
※5 保証動作回数、保証経過年数いずれかに到達するまでが保証期間となります。
※6 VLP-SA , VLB-SA についてはオプションで EPDM も用意致します。
※7 VLP-SA350JH は吊り具（アイボルト M12 × 2 個）が本体に取り付けられています。
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
VLP-U仕様
真空レベル: 大気圧から10^-5 Pa(abs)
使用圧力範囲: 大気圧から10^-5 Pa(abs)
形状: アングル
駆動方式: 複動
ボディ材質: 炭素鋼（400）+Niメッキ
許容ベーキング温度: 60 ℃
許容逆差圧: 不可
*1 真空レベルと構造の関係は、「シール構造説明」を参照下さい。
*2 駆動部は60℃以下。（ ）内はバルブ“開”状態。
*3 単動NC・・・ノーマルクローズ。（圧空解放時に自動的にクローズ）
弁板許容最大差圧（正圧時）Mpa： 0.10
弁板許容最大差圧（逆圧時）Mpa： 対応できません
弁開時許容最大差圧（正圧時）kPa： 1.0
弁開時許容最大差圧（逆圧時）kPa： 対応できません
弁板シール方式 ：Oリング
軸シール方式： Oリング
駆動方式：複動シリンダ
リーク量（外部）*1 Pa・m3/s ：≦ 1.3E-7
リーク量（内部）*1 Pa・m3/s： ≦ 1.3E-7
使用圧力範囲(絶対圧) Pa： 大気圧～1.0E-5
ベーキング許容温度（静止時）*2 ℃ ：60
動作環境温度 ℃ ：5～40
使用流体温度 ℃： 5～40
加熱及び冷却速度 ℃/h ：≦ 30
使用環境雰囲気：非腐食性雰囲気
使用流体：非腐食性流体
シリンダ供給圧空圧力 MPaG： 0.45～0.55
保証動作回数*3 ：100,000
運転姿勢： 垂直
開閉センサ： オプション（別売）
真空側主要部品材質： 炭素鋼（400） Niメッキ
大気側主要部品材質： 炭素鋼（400） Niメッキ＋アクリル系塗装
シール部品材質（真空側）： ニトリルゴム
油脂類（真空側）： 高純度精製パラフィンオイル
吊具取付部： 無
RoHS： 対応
※1 リーク量に Oリングの透過は含みません。また、Oリング軸シールの場合、開閉動作中の外部リーク量は規定対象外です。
※2 ベーキング中は開閉動作を行わないで下さい。
※3 詳細は取扱説明書を参照下さい。
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
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