ベーシックプロセスガスモニタ│アルバック社製（Qulee BGM2シリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- ベーシックプロセスガスモニタ│アルバック社製（Qulee BGM2シリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 Qulee BGM2シリーズ メーカー ㈱アルバック
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製品説明
シンプルさと使いやすさをともに実現した残留ガス分析計(質量分析計)です。
各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスガスモニタの新スタンダードモデルです。
真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。
【用途】
真空蒸着装置やスパッタリング装置などの成膜装置の残留ガス分析
高真空排気装置の残留ガス分析
凍結乾燥装置の残留ガス分析
研究開発向け各種ガス分析
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
特徴
コストパフォーマンス抜群の汎用仕様
測定質量数範囲 ：1～100 amu/1～200 amu
表示部一体型の設計：パソコンがなくとも測定可能です
簡単操作「One Click 機能」：だれにでも簡単に操作をしていただけます
リークテスト機能が充実しています
全圧測定が可能です
Qulee QCSソフトウエアが標準搭載
CE標準対応
Qulee BGM2-101仕様
質量分離方式: 四重極型質量分析計
質量数範囲: 1～100 amu
検出器: ファラデーカップ
感度: 10-7A/Pa
最小検知分圧: 10-8Pa
最大使用圧力: 1×10-2Pa
全圧測定機能: あり
One Click機能: あり (He/H2O/N2/O2/Any gas)
リークチェック機能: あり
電源電圧: DC24V±10％ 50W
最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時): 120℃
最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時): 250℃
使用温度範囲: 10～40℃
ソフトウェア: Qulee QCS Ver4.2以降（Windows8/10/11対応）
適合規格: CE
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
Qulee BGM2-201仕様
質量分離方式: 四重極型質量分析計
質量数範囲: 1～200 amu
検出器: 二次電子増倍管ファラデーカップ
感度: 410-7A/Pa
最小検知分圧: 10-8Pa
最大使用圧力: 1×10-2Pa
全圧測定機能: あり
One Click機能: あり (He/H2O/N2/O2/Any gas)
リークチェック機能: あり
電源電圧: DC24V±10％ 50W
最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時): 120℃
最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時): 250℃
使用温度範囲: 10～40℃
ソフトウェア: Qulee QCS Ver4.2以降（Windows8/10/11対応）
適合規格: CE
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
Qulee BGM2-102
質量分離方式: 四重極型質量分析計
質量数範囲: 1～100 amu
検出器: 二次電子倍増管/ファラデーカップ
感度: 4A/Pa
最小検知分圧: 10-12Pa
最大使用圧力: 1×10-2Pa
全圧測定機能: あり
One Click機能: あり (He/H2O/N2/O2/Any gas)
リークチェック機能: あり
電源電圧: DC24V±10％ 50W
最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時): 120℃
最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時): 250℃
使用温度範囲: 10～40℃
ソフトウェア: Qulee QCS Ver4.2以降（Windows8/10/11対応）
適合規格: CE
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
Qulee BGM2-202
質量分離方式: 四重極型質量分析計
質量数範囲: 1～200 amu
検出器: 二次電子増倍管/ファラデーカップ
感度: 4A/Pa
最小検知分圧: 10-12Pa
最大使用圧力: 1×10-2Pa
全圧測定機能: あり
One Click機能: あり (He/H2O/N2/O2/Any gas)
リークチェック機能: あり
電源電圧: DC24V±10％ 50W
最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時): 120℃
最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時): 250℃
使用温度範囲: 10～40℃
ソフトウェア: Qulee QCS Ver4.2以降（Windows8/10/11対応）
適合規格: CE
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
ガス分析計専用ソフトウェア：Qulee QCS Ver.4.2
型式：Qulee QCS Ver. 4.2
OS：Windows /8/10/11
インターフェース：Ethernet
接続センサ数：最大32ユニット(Ethernet)、Ethernet対応による最大32台の同時制御が可能
対応機種：Qulee BGM2、Qulee CGM2、Qulee HGM2、Qulee RGM2
レシピ保存数：100(ユーザーエリア 70点)
測定速度：50、100、200、500、1000、2000 msec/mass
測定間隔：自動、0.5 ~ 1000sec(トレンドモード)、1 ~ 1000sec(スキャンモード)
測定時間：連続、任意設定
測定モード
スキャンモード: 任意の質量数範囲の質量スペクトルの測
トレンドモード: 分圧の時間変化を最大20ch計測可能
リークテストモード:ヘリウムリークテストがワンタッチで可能
アナログモード: 質量数校正用のアナログ波形表示
感度校正モード: SEM検出器の感度校正
ＤＥＧＡＳモード:イオン源のDEGAS制御(RGMのぞく)
ガス組成名表示：スキャン・トレンドモードにてガス組成名表示可能
各種処理機能：バックグラウンド処理機能、測定の積分処理機能、Data結合機能、Password lock機能
イオンソース・二次電子倍増管の予防保全管理機能、分析管のトレサビリティ管理機能
(特許第5016031号)
アナログデータを2点同時記録
アナログ入力：0 ~ 10V(2点)
分圧セットポイント：2chの分圧セットポイント[異常、警告]の設定(トレンド測定モードのみ)
イオン化電圧設定：固定(HGM2 25 ~ 70eV／RGM2 20 ~ 70eV)
状態監視：エラー検出(通信異常、FIL断線、RF異常、SEM異常、インターロック作動)FIL,SEMの仕様積算時間表示
グラフ表示
縦 軸:リニア／LOGの切替、表示範囲選択[電流値(A)、分圧値(Pa)、濃度(ppm)]
横 軸:質量数、時間の変更およびスクロール、保存データの表示(測定中の表示も可能)棒グラフ、折れ線グラフの同時表示設定が可能
データ保存：自動保存又は測定終了後保存選択により保存
ファイル名は測定開始時に年月日時間を表示
任意のファイル名、保存場所の設定も可能
CSV形式での保存可能(過去の既取得データに対して)
印刷：スキャン・トレンド・アナログモードの表示グラフの印刷
印刷画面範囲の設定／データ色の設定、トレンドグラフ線径の設定
オプション：上位通信:トレンドモードの測定データをホストコンピューターからの要求により、RS232C通信を介して送信することができます。
アナログ出力:トレンドモード測定中に、指定した質量数のデータを、測定間隔毎にアナログ出力します。
PC要求仕様：Ethernetポート、CPU:Corei5以上(8ユニット以上接続時はCorei7以上推奨)、
CD-ROMドライブ、HDD:30MB(測定データ除く)、RAM:4GB以上、
表示機種:1280×1024以上
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
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