ハイパフォーマンスプロセス│アルバック社製（Qulee HGM2シリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社

ハイパフォーマンスプロセス│アルバック社製（Qulee HGM2シリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社

型式	Qulee HGM2シリーズ
メーカー	㈱アルバック

この製品についての
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製品説明

革命的なシンプルさと使いやすさを実現した新型残留ガス分析計Qulee シリーズ（Ethernet 通信対応）のハイエンドモデル機です。

2.5 × 10 A/Pa（ファラデーカップ）という高感度を実現しました。

各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応した製品です。

【用途】

　昇温脱離ガス分析など各種研究開発

　極高‧超高真空排気装置等の残留ガス分析

　ガス中の微量不純物の測定

　太陽電池関連の研究開発

　有機分析

　環境測定

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

特徴

・測定質量数範囲：1～200 amu/1～300 amu

・各種研究開発用途に最適：ハイエンド機能として最高感度2.5×10 A/Paを実現しました

・通信インターフェース：Ethernet通信対応

・表示部一体型の設計：パソコンがなくとも測定可能です

・簡単操作「One Click 機能」：だれにでも簡単に操作をしていただけます

・ベーキング対応：センサユニット接続時【最大250℃のベーキング可能（センサユニット分離状態では300℃可能）】

・デガス機能搭載：電子衝撃脱離方式を採用しております

・メンテナンス：フィラメント、イオンソース、二次電子増倍管の交換が容易に可能

・予防保全機能の充実：イオンソース、二次電子増倍管予防保全、分析管のトレサビリティ機能を搭載致しました（特許第5016031号）

・リークテスト機能の充実：ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能です

・全圧測定が可能です（電離真空計機能）

・全圧測定が可能です

・Qulee QCSソフトウェアが標準搭載しております（Windows 8/10/11対応）

・CE標準対応

Qulee HGM2-202 仕様

質量分離方式: 四重極型質量分析計

質量数範囲: 1 ~ 200 amu

分解能：M/ ΔM=1M (10% P.H.)

検出器：ファラデーカップ／二次電子倍増管

感度: 2.5×10 A/Pa @1.0mA／4 A/Pa

最小検知分圧: 10-9Pa／10-13Pa

最大使用圧力: 1×10-2Pa

フィラメント：lr / Y2O3 2本

イオン化電圧：25 ~ 70 eV (デフォルト:70eV)

エミッション電流：0.1mA/0.5mA/1.0mA (デフォルトは0.5mA)

DEGAS：電子衝撃脱離方式 330V, 5mA

全圧測定機能：あり／ 10 ~ 10 Pa

One Click機能：あり／ He / H2O / N2/ O2/ Any gas

One Clickリークチェック機能：あり

電源電圧：DC24V±10% 50W

質量(センサユニット/分析管)：2.4kg / 0.81kg

最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時)：250℃

最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時)：300℃

使用温度範囲: 10～40℃

使用湿度範囲：15 ~ 80% (ただし結露無きこと)

IP保護等級：IP30 (センサユニット)

電源コネクタ：MSTBV2.5 / 3-STF-5.08

通信インターフェース：Ethernet仕様

外部入出力コネクタ：D-sub15ピン／M2.6ネジ(オプション)

通信コネクタ：RJ45

外部入出力信号：アナログ入力 (0-10V)×2、外部インターロック入力 (圧力保護)×1、エラー出力×1 (FIL、SEM、RF異常時)、分圧セットポイント出力×2 (異常、警告)、全圧セットポイント出力×1

ソフトウェア：Qulee QCS Ver4.2以降（Windows 8/10/11対応）

標準付属品：電源コネクタ、LANケーブル(3m)、ソフトウェア(インストールCD)、取扱説明書(CD)

オプション (Quleeオプションカタログ参照)：LANケーブル (10,15,20,30,50m)、ACアダプタ、USB-LANアダプタ、スイッチングハブ (8ポート又は16ポート)、入出力コネクタ、ジャケットヒータ、キャリーケース

適合規格 CE

※AC電源でご使用される場合は、必ずACアダプタをご準備ください(Quleeオプションカタログ参照)

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

Qulee HGM2-302 仕様