特長
測定質量数範囲
1～200 amu/1～300 amu
各種研究開発用途に最適
ハイエンド機能として最高感度2.5×10 A/Paを実現しました。
通信インターフェース
Ethernet通信に対応し、データ通信がスムーズに行えます。
表示部一体型の設計
パソコンがなくとも測定可能です。
簡単操作「One Click 機能」
だれでも簡単に操作をしていただけます。
ベーキング対応
センサユニット接続時には最大250℃のベーキングが可能（センサユニット分離状態では300℃まで対応）。
デガス機能搭載
電子衝撃脱離方式を採用しております。
メンテナンス
フィラメント、イオンソース、二次電子増倍管の交換が容易に可能です。
予防保全機能の充実
イオンソース、二次電子増倍管予防保全、分析管のトレサビリティ機能を搭載いたしました（特許第5016031号）。
リークテスト機能の充実
ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能です。
全圧測定
全圧測定が可能です（電離真空計機能）。
Qulee QCSソフトウェア標準搭載
Qulee QCSソフトウェアを標準搭載しております（Windows 8/10/11対応）。
CE標準対応
国際的な安全規格であるCE標準に対応しています。
用途
- 昇温脱離ガス分析など各種研究開発
- 極高‧超高真空排気装置等の残留ガス分析
- ガス中の微量不純物の測定
- 太陽電池関連の研究開発
- 有機分析
- 環境測定
仕様
| HGM2-202 | HGM2-302 | |
|---|---|---|
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | 四重極型質量分析計 |
| 質量数範囲 | 1～200 amu | 1～300 amu |
| 分解能 | M/ΔM=1M (10% P.H.) | M/ΔM=1M (10% P.H.) |
| 検出器 | ファラデーカップ／二次電子倍増管 | ファラデーカップ／二次電子倍増管 |
| 感度 | 2.5×10⁻⁴ A/Pa @1.0mA／4 A/Pa | 2.5×10 ⁻⁴A/Pa @1.0mA／4 A/Pa |
| 最小検知分圧 | 10⁻⁹ Pa／10⁻¹³ Pa | 10⁻⁹ Pa／10⁻¹³ Pa |
| 最大使用圧力 | 1×10⁻² Pa | 1×10⁻² Pa |
| フィラメント | Ir / Y₂O₃（2本） | Ir / Y₂O₃（2本） |
| イオン化電圧 | 25～70 eV（デフォルト70 eV） | 25～70 eV（デフォルト70 eV） |
| エミッション電流 | 0.1 / 0.5 / 1.0 mA（デフォルト0.5 mA） | 0.1 / 0.5 / 1.0 mA（デフォルト0.5 mA） |
| DEGAS | 電子衝撃脱離方式 330V, 5mA | 電子衝撃脱離方式 330V, 5mA |
| 全圧測定機能 | あり（10～10 Pa） | あり（10～10 Pa） |
| One Click機能 | あり（He / H₂O / N₂ / O₂ / Any gas） | あり（He / H₂O / N₂ / O₂ / Any gas） |
| リークチェック機能 | あり | あり |
| 電源電圧 | DC24V ±10％ 50W | DC24V ±10％ 50W |
| 質量（センサユニット／分析管） | 2.4 kg ／ 0.81 kg | 2.4 kg ／ 0.81 kg |
| 最大ベーキング温度（接続時） | 250℃ | 250℃ |
| 最大ベーキング温度（脱着時） | 300℃ | 300℃ |
| 使用温度範囲 | 10～40℃ | 10～40℃ |
| 使用湿度範囲 | 15～80％（結露なきこと） | 15～80％（結露なきこと） |
| IP保護等級 | IP30（センサユニット） | IP30（センサユニット） |
| 電源コネクタ | MSTBV2.5 / 3-STF-5.08 | MSTBV2.5 / 3-STF-5.08 |
| 通信インターフェース | Ethernet | Ethernet |
| 通信コネクタ | RJ45 | RJ45 |
| 外部入出力コネクタ | D-sub15ピン／M2.6ネジ（オプション） | D-sub15ピン／M2.6ネジ（オプション） |
| 外部入出力信号 | アナログ入力（0-10V）×2 外部インターロック入力×1 エラー出力×1（FIL/SEM/RF） 分圧出力×2（異常・警告） 全圧出力×1 |
アナログ入力（0-10V）×2 外部インターロック入力×1 エラー出力×1（FIL/SEM/RF） 分圧出力×2（異常・警告） 全圧出力×1 |
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11対応） | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11対応） |
| 標準付属品 | 電源コネクタ、LANケーブル（3m）、ソフトウェアCD、取扱説明書CD | 電源コネクタ、LANケーブル（3m）、ソフトウェアCD、取扱説明書CD |
| オプション | LANケーブル（10〜50m）、ACアダプタ、USB-LANアダプタ、スイッチングハブ、入出力コネクタ、ジャケットヒータ、キャリーケース | LANケーブル（10〜50m）、ACアダプタ、USB-LANアダプタ、スイッチングハブ、入出力コネクタ、ジャケットヒータ、キャリーケース |
| 適合規格 | CE | CE |
