特長
- 測定質量数範囲 1～300 amu
- 反応性プロセス中で長時間安定した測定が可能です
- 磁場をもつクロードイオン源の採用をしてます
- ソフトなイオン化でガスの解離が少なく、感度が高いイオン化室での熱反応による分解、吸着を防ぎます
- コンパクトな流路制御バルブとなります
- プロセス室からイオン源までの距離を短くし、速いレスポンスでの分解が可能です
- 10-6 to 13kPa幅広い圧力での測定が可能です（オリフィス選択による）
- PCレスでも測定可能です
- One Click機能を搭載（だれにでも簡単、複雑な操作は不要）
- センサユニット接続時で最大120℃の高温ベーキングが可能です
- イオンソース、二次電子倍増管の予防保全分析管のトレサビリティ機能の搭載をしてます（特許出願中）
- ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能です
- ソフトウェアが標準搭載です（Windows 8/9/10対応)
用途
- エッチング・CVD装置のプロセス中の反応ガスのモニタ
- エッチングやクリーニングプロセスなどのエンドポイントモニタ
- 残留ガス測定
- リークテスト用途
仕様
| RGM-202 | RGM-302 | |
|---|---|---|
| センサ | ||
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | 四重極型質量分析計 |
| 質量数範囲 | 1～200 amu | 1～300 amu |
| 分解能 | M/△M=1M (10%P.H.) | M/△M=1M (10%P.H.) |
| 検出器 | SEM／ファラデーカップ | SEM／ファラデーカップ |
| 感度 | 1×10⁻³ A/Pa | 1×10⁻³ A/Pa |
| 最小検知分圧 | 1×10⁻¹⁰ Pa | 1×10⁻¹⁰ Pa |
| イオン源 | 磁石付クローズドイオン源 | 磁石付クローズドイオン源 |
| フィラメント | V字型 Ir/Y2O3 1本 | V字型 Ir/Y2O3 1本 |
| イオン化電圧 | 20～70 eV | 20～70 eV |
| エミッション電流 | 10μA | 10μA |
| アンプレンジ | 1×10⁻⁵～1×10⁻¹² A | 1×10⁻⁵～1×10⁻¹² A |
| ベーキング可能温度 | 120℃ | 120℃ |
| 差動排気システム |
||
| ガス導入バルブ | オリフィス付き流路制御バルブ | オリフィス付き流路制御バルブ |
| 最大サンプリング圧力 | 13kPa | 13kPa |
| 差動排気系 | 中間排気、パージ付TMP | 中間排気、パージ付TMP |
| ターボ分子ポンプ | 67L/s：N₂ | 67L/s：N₂ |
| フォアポンプ | DIS090 | DIS090 |
| ピラニ真空計 | SW1-1 | SW1-1 |
| 電離真空計 | GI-M2 | GI-M2 |
| 質量（排気系／制御系） | 57kg／38kg | 57kg／38kg |
| ユーティリティ | ||
| 電源電圧 | AC100V 15A | AC100V 15A |
| 圧縮空気 | Dry N₂：0.4～0.7MPa（O6ワンタッチ継手） | Dry N₂：0.4～0.7MPa（O6ワンタッチ継手） |
| コントロールユニット | ||
| One Click機能 | あり／He/H₂O/N₂/O₂/Any gas | あり／He/H₂O/N₂/O₂/Any gas |
| PCインターフェース | RS-232C／485 | RS-232C／485 |
| 外部入出力 （アナログ入力） |
2点（0-10V） | 2点（0-10V） |
| 外部入出力 （セットポイント出力） |
2点（異常、警告） | 2点（異常、警告） |
| 外部入出力 （外部インターロック） |
圧力保護 | 圧力保護 |
| その他 | ||
| ベーキングヒーター | テープヒーター | テープヒーター |
| 高さ調整スタンド | 標準 | 標準 |
| センサ部一制御部間 接続ケーブル |
約5m | 約5m |
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11 対応） | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11 対応） |
| オプション | PC | PC |
