リアクティブプロセスガスモニタ│アルバック社製（Qulee RGMシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社

リアクティブプロセスガスモニタ│アルバック社製（Qulee RGMシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社

型式	Qulee RGMシリーズ
メーカー	㈱アルバック

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製品説明

リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM-202/RGM-302は、Quleeシリーズのエッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタとなります。

ULVAC独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能なガスモニタ。

【用途】

・エッチング・CVD装置のプロセス中の反応ガスのモニタ

・エッチングやクリーニングプロセスなどのエンドポイントモニタ

・残留ガス測定

・リークテスト用途

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

特徴

・測定質量数範囲 1～300 amu

・反応性プロセス中で長時間安定した測定が可能です

・磁場をもつクロードイオン源の採用をしてます

・ソフトなイオン化でガスの解離が少なく、感度が高いイオン化室での熱反応による分解、吸着を防ぎます

・コンパクトな流路制御バルブとなります

・プロセス室からイオン源までの距離を短くし、速いレスポンスでの分解が可能です

・10-6 to 13kPa幅広い圧力での測定が可能です（オリフィス選択による）

・PCレスでも測定可能です

・One Click機能を搭載（だれにでも簡単、複雑な操作は不要）

・センサユニット接続時で最大120℃の高温ベーキングが可能です

・イオンソース、二次電子倍増管の予防保全分析管のトレサビリティ機能の搭載をしてます（特許出願中）

・ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能です

・ソフトウェアが標準搭載です（Windows 7/8/10対応)

RGM-202仕様

【センサ】

質量分離方式：四重極型質量分析計

質量数範囲：1～200 amu

分解能：M/△M=1M (10%P.H.)

検出器：SEM/ファラデーカップ

感度：1×10-3 A/Pa

最小検知分圧：1×10-10 Pa

イオン源：磁石付クローズドイオン源

フィラメント：V字型 Ir/Y2O2 1本

イオン化電圧：20～70 eV

エミッション電流：10μA

アンプレンジ：1×10-5～1×10-12 A

ベーキング可能温度：120℃

【差動排気システム】

ガス導入バルブ：オリフィス付き流路制御バルブ

最大サンプリング圧力：13kPa

差動排気系：中間排気、パージ付TMP

ターボ分子ポンプ：67L/s：N2

フォアポンプ：DIS090

ピラニ真空計：SW1-1

電離真空計：GI-M2

質量排気系：57kg／制御系：38kg

【ユーティリティ】

電源電圧：AC100V 15A

圧縮空気：Dry N2：0.4～0.7MPa (O6ワンタッチ継手)

【コントロールユニット】

One Click機能：あり／He/H2O/N2/O2/Any gas

PCインターフェース：RS-232C/485

外部入出力：アナログ入力2点（0-10V）

外部入出力：セットポイント出力2点（異常、警告）

外部入出力：外部インターロック（圧力保護）

【その他】

ベーキングヒーター：テープヒーター

高さ調整スタンド：標準

センサ部一制御部間接続ケーブル：約5m

ソフトウェア：Qulee QCS Ver.3.1以降（Windows 7/8/10 対応）

オプション：PC

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

RGM-302仕様