ガス分析装置│インフィコン社製(MPSシリーズ)製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 MPSシリーズ メーカー インフィコン㈱
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製品説明
MPSシリーズは、異なるアプリケーションに合わせて選択できるように設計されており、真空プロセスのモニタリングと最適化に役立ちます。
それぞれの仕様に基づいて、各モデルは異なる質量範囲と最小検出粒子圧力を提供し、FC(ファラデーカップ)およびEM(電子増倍管)の感度が異なります。
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
特徴
デュアルフィラメント: Transpector MPSはデュアルフィラメントを備えており、フィラメントの交換が現場で行えます。これにより、計器の稼働時間を最大限に保ち、生産プロセスの中断を最小限に抑えます。
光電子増倍管の現場での交換: 光電子増倍管の現場での交換が可能です。これは効率的なメンテナンスを実現し、計器の信頼性を向上させます。
アノード、カソード、リペラーフィラメントアセンブリの交換: アノード、カソード、リペラーフィラメントアセンブリの交換が可能で、これにより計器の寿命を延ばすことができます。
交換可能なセンサーと電子回路: センサーや電子回路の交換が可能で、計器のメンテナンスが簡単です。
TCP/IPイーサーネット接続: Transpector MPSはTCP/IPイーサネット接続をサポートし、データの効率的な収集とリモート監視を可能にします。
短いセンサーによる設置フットプリントの最小化: コンパクトなデザインにより、設置に必要なスペースを最小限に抑えます。
9桁のダイナミックレンジ: Transpector MPSは広範なガス種に対応し、広いダイナミックレンジでガス分析が可能です。
アナログスキャンおよび選択ピーク時の最速データ取得時間3 ms: 高速なデータ収集により、プロセスのリアルタイムモニタリングが実現します。
MDPP 1.5E-14 Torr未満: 最小検知分圧(MDPP)が非常に低いため、微量のガスも検出可能です。
クリーンルームでの組み立てとテスト: 製品はクリーンルーム環境で組み立てられ、試験が行われ、二重の袋に入れられています。これにより、高品質かつクリーンな計器が提供されます。
RoHSコンプライアント: 製品はRoHS指令に準拠しています。
Transpector MPSは、広範な真空アプリケーションにおいて高性能なガス分析を提供し、プロセスの最適化や品質管理に貢献します。
MPS100M仕様
質量範囲: 100 amu
検出可能な最小粒子圧力: 1.5E-14 Torr
感度 (FC): 3E-4 amps/Torr
感度 (EM): 500 amps/Torr
最大動作圧力: 5E-4 Torr
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
MPS100F仕様
質量範囲: 100 amu
検出可能な最小粒子圧力: 2.6E-12 Torr
感度 (FC): 3E-4 amps/Torr
感度 (EM): 想定されていません(NA)
最大動作圧力: 5E-4 Torr
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
MPS200M仕様
質量範囲: 200 amu
検出可能な最小粒子圧力: 1.5E-14 Torr
感度 (FC): 3E-4 amps/Torr
感度 (EM): 500 amps/Torr
最大動作圧力: 5E-4 Torr
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
MPS200F仕様
質量範囲: 200 amu
検出可能な最小粒子圧力: 2.6E-12 Torr
感度 (FC): 3E-4 amps/Torr
感度 (EM): 想定されていません(NA)
最大動作圧力: 5E-4 Torr
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
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