製品情報 PRODUCT

大気圧から1E1-7 Paまでの圧⼒計測を実現しました。

特許取得の極めて弱い浮遊磁場設計で、これまでになかった⽤途にまで使⽤範囲を拡張しました。

独自の交換可能式デュアルチャンバーセンサユニットの採用により、クリーニングサイクルを省き、メンテナンスの⼿間を減らすことができるため、

同種製品の中で、最も頑丈で経済的な真空計となりました。

測定範囲：1.0×10-7　～　100,000　Pa

精度（読取値）：N2ガス、±50％（10,000　～　100,000Pa）、±30％（1.0×10-6　～　10,000Pa）

供給電圧：+14.5　～　+30 VDC

使用環境温度：+5　～　+55　℃

アナログ出力：０　～　10V（対数線型）

【用途】

・低真空〜超⾼真空領域における真空測定および制御

・真空システム内の安全回路

・⼀般真空装置の圧⼒モニタ

・研究開発⽤途の分析装置の圧⼒モニタ

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

・良好な点⽕特性-信頼のある設計

・極めて弱い浮遊磁場設計-分析アプリケーションに適⽤可能

・メンテナンスの⼿間がゼロ-容易なユニット交換だけ

・コンパクトサイズ

・ピラニーインターロックで冷陰極ゲージの⾃動制御