多段ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック社製（HRシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 多段ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック社製（HRシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 HRシリーズ メーカー ㈱アルバック
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製品説明
ポンプ本体を高温領域で均熱化し、ＣＶＤ、エッチング等で発生する昇華性排気物質を
気体の状態で排出が可能なポンプとなります。
【用途】
CVD 装置
エッチング装置
アッシング装置
ALD、ALH など
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
特徴
高温領域で均熱化
CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能となります。
URシリーズはHRシリーズよりも、さらなる高温化が可能となります。
ヘリウムタイト
キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全です。
瞬停対策
1000msec以内の瞬停対策を施しています。
優れた耐食性
主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用しており、腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐 食を低減します。
通信機能
ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング／アラーム履歴を読み出すことが可能です。専用ソフトを使用し、コンピュータ通信を行えば集中監視も可能となります。
HR60仕様
使用ポンプ：DRP HR60
最大排気速度：50Hz 62m³/h(1030L/min)
60Hz 80m³/h(1333L/min)
到達圧力：5Pa
最大吸気口圧力(吸入圧力)：大気圧 *1
最大排気口圧力(排出圧力)：1Pa~大気圧
吸気口(CE仕様)：VG50(KF50)
排気口：KF40
質量：180kg
電力：三相 200VAC(50Hz/60Hz),220VAC(60Hz)
電流値：定常時 7.1A(200V時)
最大値 7.3A(200V時)
冷却水一時圧力：0.1~0.3MPa
冷却水出入口差圧：>0.1MPa
冷却水流量：>5.0L/min
パージガス 一次圧力：0.1~0.5MPa
二次圧力：0.05~0.1MPa
N2パージ ：軸 5SLM
ガスバラ 0~45SLM
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
HR90仕様
使用ポンプ：DRP HR90
最大排気速度：50Hz 112m³/h(1860L/min)
60Hz 126m³/h(2100L/min)
到達圧力：0.67Pa
最大吸気口圧力(吸入圧力)：大気圧 *1
最大排気口圧力(排出圧力)：1Pa~大気圧
吸気口(CE仕様)：VG80(KF50)
排気口：KF40
質量：245kg
電力：三相 200VAC(50Hz/60Hz),220VAC(60Hz)
電流値：定常時 11,2A(200V時)
最大値 11,8A(200V時)
冷却水一時圧力：0.1~0.3MPa
冷却水出入口差圧：>0.1MPa
冷却水流量：>5.0L/min
パージガス：一次圧力 0.1~0.5MPa
二次圧力 0.05~0.1MPa
N2パージ：軸 5SLM
ガスバラ 0~45SLM
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
HR300仕様
使用ポンプ：DRP HR60
MPB PRC-003A
最大排気速度：50Hz 359m³/h(5,980L/min)
60Hz 365m³/h(6,080L/min)
到達圧力：0.67Pa
最大吸気口圧力(吸入圧力)：大気圧 *1
最大排気口圧力(排出圧力)：1Pa~大気圧
吸気口(CE仕様)：VG80(KF80)
排気口：KF40
質量：275kg
電力：三相 200VAC(50Hz/60Hz),220VAC(60Hz)
電流値：定常時 7.8A(200V時)
最大値 8.1A(200V時)
冷却水一時圧力：0.1~0.3MPa
冷却水出入口差圧：>0.1MPa
冷却水流量：>5.0L/min
パージガス：一次圧力 0.1~0.5MPa
二次圧力 0.05~0.1MPa
N2パージ：軸 5SLM
ガスバラ 0~45SLM
*1 HR300, HR600, HR1200は、200Pa以上の吸入圧での連続運転を行わないでください
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
HR600仕様
使用ポンプ：DRP HR90
MPB PRC-006A
最大排気速度：50Hz 653m³/h(10,900L/min)
60Hz 701m³/h(11,700L/min)
到達圧力：0.67Pa
最大吸気口圧力(吸入圧力)：大気圧 *1
最大排気口圧力(排出圧力)：1Pa~大気圧
吸気口(CE仕様)：VG80(KF80)
排気口：KF40
質量：370kg
電力：三相 200VAC(50Hz/60Hz),220VAC(60Hz)
電流値：定常時 12.9A(200V時)
最大値 13.8A(200V時)
冷却水一時圧力：0.1~0.3MPa
冷却水出入口差圧：>0.1MPa
冷却水流量：>5.0L/min
パージガス：一次圧力 0.1~0.5MPa
二次圧力 0.05~0.1MPa
N2パージ：軸 5SLM
ガスバラ 0~45SLM
*1 HR300, HR600, HR1200は、200Pa以上の吸入圧での連続運転を行わないでください
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
HR1200仕様
使用ポンプ：DRP HR90
MPB PRC-012A
最大排気速度：50Hz 1,012m³/h(16,900L/min)
60Hz 1,051m³/h(17,500L/min)
到達圧力：0.67Pa
最大吸気口圧力(吸入圧力)：大気圧 *1
最大排気口圧力(排出圧力)：1Pa~大気圧
吸気口(CE仕様)：VG100(KF100)
排気口：KF40
質量：420kg
電力：三相 200VAC(50Hz/60Hz),220VAC(60Hz)
電流値：定常時 15.4A(200V時)
最大値 18.9A(200V時)
冷却水一時圧力：0.1~0.3MPa
冷却水出入口差圧：>0.1MPa
冷却水流量：>5.0L/min
パージガス：一次圧力 0.1~0.5MPa
二次圧力 0.05~0.1MPa
N2パージ：軸 5SLM
ガスバラ 0~45SLM
*1 HR300, HR600, HR1200は、200Pa以上の吸入圧での連続運転を行わないでください
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
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