ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック社製（LRシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 LRシリーズ メーカー ㈱アルバック
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製品説明
ポンプを低温領域で均熱化することで、PVD（Physical Vapor Deposition）プロセスなど、
特に排気時間の短縮が重要な、Ｌ／ＵＬ室の排気の最適なポンプです。
【用途】
成膜装置（スパッタリング装置/蒸着装置など）
仕込み取り出し室の排気時間を短縮するため
補助排気ポンプとして（ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
特徴
低温領域で均熱化 (LRシリーズ)：PVDプロセスに加えて、特にスループットを向上するために
排気時間の短縮が重要なＬ／ＵＬ室の排気に最適なポンプです。
ヘリウムタイト: キャンドモータを搭載で、密閉構造を実現しており、安全性が高くヘリウム漏れを防ぎます。
瞬停対策: 瞬間停電によるポンプの停止を防ぐため、1000ミリ秒以内の対策を施しています。安定した運転を提供します。
優れた耐食性: 主要部品には耐食性に優れた特殊表面処理を採用しており、腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減します。
通信機能: ポンプの運転状態に関するデータや警告/アラーム履歴を読み出すことが可能です。
また専用ソフトで、集中監視を実現するためのＰＣ通信機能を提供します。
LR60仕様
最大排気速度: 62 m³/h (50Hz)、80 m³/h (60Hz)
到達圧力: 5.0 Pa
最大吸気口圧力: 大気圧
最大排気口圧力: 1Paから大気圧
吸気口 (CE仕様): VG50(KF50)
排気口: KF40
質量: 180 kg
電力: 三相 VAC (Hz) 200 (50/60)、220 (60)
電流値: 定常時 6.9 A (200V時)
冷却水一時圧力: 0.1~0.3 MPa
冷却水出入口差圧: >0.1 MPa
冷却水流量: >5.0 L/min
パージガス: 一次圧力 0.1~0.5 MPa
N2パージ: 軸 5SLM、ガスバラ: 0~45 SLM
【サイレンサー（オプション部品）】
型式: RS-01 + キットA
材質: SUS304
表面処理: GBB処理
質量: 4.1 kg
接続フランジ: KF40
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
LR90仕様
最大排気速度: 112 m³/h (50Hz)、126 m³/h (60Hz)
到達圧力: 5.0 Pa
最大吸気口圧力: 大気圧
最大排気口圧力: 1Paから大気圧
吸気口 (CE仕様): VG80(KF50)
排気口: KF40
質量: 245 kg
電力: 三相 VAC (Hz) 200 (50/60)、220 (60)
電流値: 定常時 11.2 A (200V時)
冷却水一時圧力: 0.1~0.3 MPa
冷却水出入口差圧: >0.1 MPa
冷却水流量: >5.0 L/min
パージガス: 一次圧力 0.1~0.5 MPa
N2パージ: 軸 5SLM、ガスバラ: 0~45 SLM
【サイレンサー（オプション部品）】
型式: RS-01 + キットA
材質: SUS304
表面処理: GBB処理
質量: 4.1 kg
接続フランジ: KF40
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
LR180仕様
最大排気速度: 183 m³/h (50Hz)、237m³/h (60Hz)
到達圧力: 5.0 Pa
最大吸気口圧力: 大気圧
最大排気口圧力: 1Paから大気圧
吸気口 (CE仕様): VG80(KF50)
排気口: KF40
質量: 335 kg
電力: 三相 VAC (Hz) 200 (50/60)、220 (60)
電流値: 定常時 18.9 A (200V時)
冷却水一時圧力: 0.1~0.3 MPa
冷却水出入口差圧: >0.1 MPa
冷却水流量: >5.0 L/min
パージガス: 一次圧力 0.1~0.5 MPa
N2パージ: 軸 5SLM、ガスバラ: 0~45 SLM
【サイレンサー（オプション部品）】
型式: RS-02 + キットA
材質: SUS304
表面処理: GBB処理
質量: 8.3 kg
接続フランジ: KF40
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
LR421、LR421-T共通仕様
最大排気速度: 440 m³/h (50/60Hz)
到達圧力: 5.0 Pa
最大吸気口圧力: 大気圧
最大排気口圧力: 1Paから大気圧
吸気口 (CE仕様): VG100
排気口: VG50
質量: 415 kg
電力: 三相 VAC (Hz) 200 (50/60)
電流値: 定常時 20.8 A (200V時)
冷却水一時圧力: 0.2~0.5 Mpa
冷却水出入口差圧: >0.2 MPa
冷却水流量: >4.0 L/min
パージガス: 一次圧力 0.1~0.5 MPa
N2パージ: 軸 5SLM、ガスバラ: 0~45 SLM（LR421は無し）
【サイレンサー（オプション部品）】
型式: RS-03 + キットA
材質: SUS304
表面処理: 磨き板
質量: 12.5 kg
接続フランジ: KF50
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
LR/HR300仕様
使用ポンプ: LR/HR60＋PRC-003A
最大排気速度: 359 m³/h (50Hz)、365 m³/h (60Hz)
到達圧力: 0.67 Pa
最大吸気口圧力: 大気圧
最大排気口圧力: 1Paから大気圧
吸気口 (CE仕様): VG80 (KF80)
排気口: KF40
MBP表面処理: 有無を選択可能
質量: 251 kg
電力: 三相 VAC (Hz) 200 (50/60)、220 (60)
電流値: 定常時 7.0 A (200V時)
冷却水一時圧力: 0.1~0.3 MPa
冷却水出入口差圧: >0.1 MPa
冷却水流量: >5.0 L/min
パージガス: 一次圧力 0.1~0.5 MPa
N2パージ: 軸 5SLM、ガスバラ: 0~45 SLM
【サイレンサー（オプション部品）】
型式: RS-02 + キットA
材質: SUS304
表面処理: GBB処理
質量: 8.3 kg
接続フランジ: KF40
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
LR/HR600仕様
使用ポンプ: LR/HR90＋PRC-006A
最大排気速度: 653 m³/h (50Hz)、701m³/h (60Hz)
到達圧力: 0.67 Pa
最大吸気口圧力: 大気圧
最大排気口圧力: 1Paから大気圧
吸気口 (CE仕様): VG80 (KF80)
排気口: KF40
MBP表面処理: 有無を選択可能
質量: 370 kg
電力: 三相 VAC (Hz) 200 (50/60), 220 (60)
電流値: 定常時 12.3 A (200V時)
冷却水一時圧力: 0.1~0.3 MPa
冷却水出入口差圧: >0.1 MPa
冷却水流量: >5.0 L/min
パージガス: 一次圧力 0.1~0.5 MPa
N2パージ: 軸 5SLM、ガスバラ: 0~45 SLM
【サイレンサー（オプション部品）】
型式: RS-01 + キットB
材質: SUS304
表面処理: GBB処理
質量: 4.1 kg
接続フランジ: KF40
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
LR/HR1200仕様
使用ポンプ: LR/HR90＋PRC-012A
最大排気速度: 1,012 m³/h (50Hz)、1051m³/h (60Hz)
到達圧力: 0.67 Pa
最大吸気口圧力: 大気圧
最大排気口圧力: 1Paから大気圧
吸気口 (CE仕様): VG100 (KF100)
排気口: KF40
MBP表面処理: 有無を選択可能
質量: 403 kg
電力: 三相 VAC (Hz) 200 (50/60), 220 (60)
電流値: 定常時 18.9 A (200V時)
冷却水一時圧力: 0.1~0.3 MPa
冷却水出入口差圧: >0.1 MPa
冷却水流量: >5.0 L/min
パージガス: 一次圧力 0.1~0.5 MPa
N2パージ: 軸 5SLM、ガスバラ: 0~45 SLM
【サイレンサー（オプション部品）】
型式: RS-02 + キットB
材質: SUS304
表面処理: GBB処理
質量: 8.3 kg
接続フランジ: KF40
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
LR1800仕様
使用ポンプ: LR180＋PRC-018A
最大排気速度: 1,701 m³/h (50Hz)、1784m³/h (60Hz)
到達圧力: 0.67 Pa
最大吸気口圧力: 大気圧
最大排気口圧力: 1Paから大気圧
吸気口 (CE仕様): VG150 (KF100)
排気口: KF50
MBP表面処理: 有無を選択可能
質量: 660 kg
電力: 三相 VAC (Hz) 200 (50/60)
電流値: 定常時 21.4 A (200V時)
冷却水一時圧力: 0.1~0.3 MPa
冷却水出入口差圧: >0.1 MPa
冷却水流量: >5.0 L/min
パージガス: 一次圧力 0.1~0.5 MPa
N2パージ: 軸 5SLM、ガスバラ: 0~45 SLM
【サイレンサー（オプション部品）】
型式: RS-02 + キットB
材質: SUS304
表面処理: GBB処理
質量: 8.3 kg
接続フランジ: KF40
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
LR3601仕様
使用ポンプ: LR421＋PRC-036C
最大排気速度: 3,200 m³/h (50/60Hz)
到達圧力: 0.67 Pa
最大吸気口圧力: 大気圧
最大排気口圧力: 1Paから大気圧
吸気口 (CE仕様): VG150
排気口: KF50
MBP表面処理: 対応不可
質量: 660 kg
電力: 三相 180-240/380-440
電流値: 定常時 31.0 A (200V時)
冷却水一時圧力: 0.2~0.5 MPa
冷却水出入口差圧: >0.2~0.5 MPa
冷却水流量: >4.0 L/min
パージガス: 一次圧力 0.1~0.5 MPa
N2パージ: 軸 5SLM、ガスバラ: 無
【サイレンサー（オプション部品）】
型式: RS-03 + キットB
材質: SUS304
表面処理: 磨き板
質量: 12.5 kg
接続フランジ: KF50
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
LR3601-T(TT)仕様
使用ポンプ: LR421-T＋PRC-036C（T）
最大排気速度: 3,200 m³/h (50/60Hz)
到達圧力: 0.67 Pa
最大吸気口圧力: 大気圧
最大排気口圧力: 1Paから大気圧
吸気口 (CE仕様): VG150
排気口: KF50
MBP表面処理: T:対応不可 TT：有無を選択可能
質量: 720 kg
電力: 三相 180-240/380-440
電流値: 定常時 31.0 A (200V時)
冷却水一時圧力: 0.2~0.5 MPa
冷却水出入口差圧: >0.2~0.5 MPa
冷却水流量: >4.0 L/min
パージガス: 一次圧力 0.1~0.5 MPa
N2パージ: 軸 5SLM、ガスバラ: 0〜45SLM
【サイレンサー（オプション部品）】
型式: RS-03 + キットB
材質: SUS304
表面処理: 磨き板
質量: 12.5 kg
接続フランジ: KF50
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
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