高速キャパシタンスダイアフラムゲージ│インフィコン社製（CDG Dhsシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 高速キャパシタンスダイアフラムゲージ│インフィコン社製（CDG Dhsシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 CDG Dhsシリーズ メーカー インフィコン㈱
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製品説明
今までにない超⾼速応答性能と従来品より⼀桁低い圧⼒のフルスケールヘッドをラインナップしております。
応答時間<2msとEtherCATインターフェイス⾼速通信が完全に新しい分野の用途を切り開き先端アプリケーションにおける新たなソリューションを提供します。
実績ある温度制御・耐食性・超高純度のセラミックセンサは、数年にわたる長期間の安定性と、最先端の０点安定性を実現します。
革新的な加熱技術を使用する事で接触面を冷却し、独自の高速性能によって生産性を前例の無い程度まで向上させる方式でこの分野で最先端の真空計です。
【用途】
Atomic Layer Deposition等の真空制御
高速プロセス制御・微圧プロセス制御・高真空プロセス制御
特徴
・45℃又は100℃加熱型仕様かつ業界最高クラスの高速応答を実現しました。
・0.1Torrから100Torrの幅広いフルスケールレンジになります。
・耐腐食性に優れたアルミナセラミックセンサーを採用しております。
・ワンプッシュボタン又はリモート制御で簡単な０点調整ができます。
・フルスケールは500/200/50/20/5/2/0.5/0.25Torrも選択可能です。
・セットポイント２つとMini USB typeB/EtherCATインターフェースが標準装備です。
・ステータスランプで真空計の状態が一目で分かります。
CDG045Dhs仕様
精度（読取値）：0.15%(1000～0.1Torr)
供給電源：+14～+30V(DC)
使用環境温度：+10～+40℃
アナログ出力：0～+10V
最大使用圧力/破壊圧力：130kPa(0.1～0.5Torr)、260kPa(1～500Torr)、400kPa(500Torr以上)/600kPa
セットポイント数：2(SP1,SP2)
ケーブルコネクタ：D-Sub 15ピン、オス
インターフェース：Mini USB typeB/EtherCAT
フルスケール：1000Torr(133kPa)、100Torr(13.3kPa)、10Torr(1.33kPa)、1Torr(133Pa)、0.1Torr(13.3Pa)から選択
フランジ：DN16 ISO-KF、DN16 CF-R、4VCR オス(1/4″)、4VCR メス(1/4″)、8VCR メス(1/2″)から選択
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
CDG045Dhs仕様
精度（読取値）：0.2%(1000～1Torr)、0.4%(0.5～0.1Torr)
供給電源：+14～+30V(DC)
使用環境温度：+10～+50℃
アナログ出力：0～+10V
最大使用圧力/破壊圧力：130kPa(0.1～0.5Torr)、260kPa(1～500Torr)、400kPa(500Torr以上)/600kPa
セットポイント数：2(SP1,SP2)
ケーブルコネクタ：D-Sub 15ピン、オス
インターフェース：Mini USB typeB/EtherCAT
フルスケール：1000Torr(133kPa)、100Torr(13.3kPa)、10Torr(1.33kPa)、1Torr(133Pa)、0.1Torr(13.3Pa)から選択
フランジ：DN16 ISO-KF、DN16 CF-R、8VCR メス(1/2″)から選択
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
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