油拡散ポンプ│アルバック社製（ULKシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 油拡散ポンプ│アルバック社製（ULKシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 ULKシリーズ メーカー ㈱アルバック
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製品説明
油拡散ポンプは小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。
研究用途から製造ラインまで幅広く使用されております。
【用途】
・蒸着装置
・高真空実験装置
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
特徴
機械的な摺動部がなく丈夫な高真空ポンプです。
2種類のオイルとヒータの選定により、ご要求の排気速度、到達圧力を得ることが出来ます。
補助ポンプ側への作動液の流出防止機構を備えております。
ULK-04A仕様
作動油 *2：ULVOIL D-11
排気速度：550 L/sec
到達圧力 *1：＜2.6×10-5 Pa
臨界背圧：40 Pa
作業開始時間：9 min
油量：0.15 L
水温：19℃ ~ 25℃
冷却水取合(サイズ×系統数)：Rc 1/4″
冷却水量：1 L/mi：
電圧仕様：200V / 1Φ
所要電力：0.55 kW
ヒーター種類：熱盤
推奨補助ポンプ *3：VD151 / VD201 /PVD-180 / PVD-360
吸気口：VG100
排気口：VG25
質量：7.5 Kg
オイルレベルゲージ：無し
サーモスタットオプション：有り
サーモスタット設定温度 ：250 ℃
*1 到達圧力は電離真空計により、冷却水量20℃の場合となります。
*2 D-11は炭化水素系汎用油、D-31は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油となります。
*3 補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われおりますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当となります。
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
ULK-04A仕様
作動油 *2：ULVOIL D-31
排気速度 500 L/sec
到達圧力 *1：＜2.6×10-6 Pa
臨界背圧：60 Pa
作業開始時間：8.5 min
油量：0.15 L
水温：19℃ ~ 25℃
冷却水取合(サイズ×系統数)：Rc 1/4″
電圧仕様：200V / 1Φ
所要電力：0.73 kW
ヒーター種類：熱盤
推奨補助ポンプ *3：VD151 / VD201 /PVD-180 / PVD-360
吸気口：VG100
排気口：VG25
質量：7.5 Kg
オイルレベルゲージ：無し
サーモスタットオプション：有り
サーモスタット設定温度 ：250 ℃
*1 到達圧力は電離真空計により、冷却水量20℃の場合となります。
*2 D-11は炭化水素系汎用油、D-31は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油となります。
*3 補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われおりますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当となります。
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
ULK-06A仕様
作動油 *2：ULVOIL D-11
排気速度：1200 L/sec
到達圧力 *1：＜2.6×10-5 Pa
臨界背圧：40 Pa
作業開始時間：16.5 min
油量：0.35 L
水温：19℃ ~ 25℃
冷却水取合(サイズ×系統数)：Rc 1/4″
冷却水量：1 L/min
電圧仕様：200V / 1Φ
所要電力：0.9 kW
ヒーター種類：熱盤
推奨補助ポンプ *3：VD30C / VD40C /VD60C
吸気口：VG150
排気口：VG40
質量：13.5 Kg
オイルレベルゲージ：無し
サーモスタットオプション：有り
サーモスタット設定温度 250 ℃
*1 到達圧力は電離真空計により、冷却水量20℃の場合となります。
*2 D-11は炭化水素系汎用油、D-31は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油となります。
*3 補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われおりますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当となります。
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
ULK-06A仕様
作動油 *2：ULVOIL D-31
排気速度：1100 L/sec
到達圧力 *1：＜2.6×10-6 Pa
臨界背圧：60 Pa
作業開始時間：15 min
油量：0.35 L
水温：19℃ ~ 25℃
冷却水取合(サイズ×系統数)：Rc 1/4″
冷却水量：1.5 L/min
電圧仕様：200V / 1Φ
所要電力：1.2 kW
ヒーター種類：熱盤
推奨補助ポンプ *3：VD30C / VD40C /VD60C
吸気口：VG150
排気口：VG40
質量：13.5 Kg
オイルレベルゲージ：無し
サーモスタットオプション：有り
サーモスタット設定温度： 250 ℃
*1 到達圧力は電離真空計により、冷却水量20℃の場合となります。
*2 D-11は炭化水素系汎用油、D-31は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油となります。
*3 補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われおりますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当となります。
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
ULK-10A仕様
作動油 *2：ULVOIL D-11
排気速度：3400 L/sec
到達圧力 *1：＜2.6×10-5 Pa
臨界背圧：35 Pa
作業開始時間：20 min
油量：0.8 L
水温：19℃ ~ 25℃
冷却水取合(サイズ×系統数)：Rc 3/8″
冷却水量：2.5 L/min
電圧仕様：200V / 1Φ
所要電力：2.4 kW
ヒーター種類：熱盤
推奨補助ポンプ *3：VD90C / VS1501 /PKS-016 / PKS-030
吸気口：VG250
排気口：VG80
質量：47 Kg
オイルレベルゲージ：ビューポート
サーモスタットオプション：有り
サーモスタット設定温度 ：180 ℃
*1 到達圧力は電離真空計により、冷却水量20℃の場合となります。
*2 D-11は炭化水素系汎用油、D-31は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油となります。
*3 補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われおりますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当となります。
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
ULK-10A仕様
作動油 *2：ULVOIL D-31
排気速度：3000 L/sec
到達圧力 *1：＜2.6×10-6 Pa
臨界背圧：40 Pa
作業開始時間：20 min
油量：0.8 L
水温：19℃ ~ 25℃
冷却水取合(サイズ×系統数)：Rc 3/8″
冷却水量：3 L/min
電圧仕様：200V / 1Φ
所要電力：2 kW
ヒーター種類：熱盤
推奨補助ポンプ *3：VD90C / VS1501 /PKS-016 / PKS-030
吸気口：VG250
排気口：VG80
質量：47 Kg
オイルレベルゲージ：ビューポート
サーモスタットオプション：有り
サーモスタット設定温度：180 ℃
*1 到達圧力は電離真空計により、冷却水量20℃の場合となります。
*2 D-11は炭化水素系汎用油、D-31は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油となります。
*3 補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われおりますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当となります。
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
ULK-14A
作動油 *2：ULVOIL D-11
排気速度：5400 L/sec
到達圧力 *1：＜2.6×10-5 Pa
臨界背圧：30 Pa
作業開始時間：25 min
油量：1.5 L
水温：19℃ ~ 25℃
冷却水取合(サイズ×系統数)：Rc 3/8″
冷却水量：2.5 L/min
電圧仕様：200V / 1Φ
所要電力：2.25 kW
ヒーター種類：熱盤
推奨補助ポンプ *3：VS1501 / VS2401 /PKS-030
吸気口：VG350
排気口：VG80
質量：56 Kg
オイルレベルゲージ：ビューポート
サーモスタットオプション：有り
サーモスタット設定温度：180 ℃
*1 到達圧力は電離真空計により、冷却水量20℃の場合となります。
*2 D-11は炭化水素系汎用油、D-31は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油となります。
*3 補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われおりますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当となります。
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
ULK-14A仕様
作動油 *2：ULVOIL D-31
排気速度：4900 L/sec
到達圧力 *1：＜2.6×10-6 Pa
臨界背圧：30 Pa
作業開始時間：25 min
油量：1.5 L
水温：19℃ ~ 25℃
冷却水取合(サイズ×系統数)：Rc 3/8″
冷却水量：3.5 L/min
電圧仕様：200V / 1Φ
所要電力：2.4 kW
ヒーター種類：熱盤
推奨補助ポンプ *3：VS1501 / VS2401 /PKS-030
吸気口：VG350
排気口：VG80
質量：56 Kg
オイルレベルゲージ：ビューポート
サーモスタットオプション：有り
サーモスタット設定温度 ：180 ℃
*1 到達圧力は電離真空計により、冷却水量20℃の場合となります。
*2 D-11は炭化水素系汎用油、D-31は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油となります。
*3 補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われおりますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当となります。
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
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