ピラニ真空計│アルバック社製（SP1）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- ピラニ真空計│アルバック社製（SP1）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 SP1 メーカー ㈱アルバック
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製品説明
SP1はピラニゲージ型のセンサーユニットとなります。
測定子と回路部が一体(測定子の交換は可能)のトランデューサ型となっており、コストダウンや省スペース化に適した真空計です。
フィラメント材に白金（Pt）を使用しており大気圧でも壊れません。
【用途】
半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用
炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用
インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用
【仕様】
タイプ：センサユニット
測定子：WP-01（Φ18）、WP-02（Φ15）、WP-03（PT3/8）、WP-16（NW16）
測定精度：±15 %（51 Pa ～760 Pa）
±30 %（10 Pa ～1000 Pa）
±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa）
使用温度範囲：10～40℃
サンプリング時間：50ms 5回の移動平均処理
測定値出力：非線形出力：DC0-5V（Max.10V）
(更新時間) 50 ms
(分解能) 10 mV
セットポイント1/2調整用出力：非線形出力：DC 0-5V（Max.10V）
制御出力信号：オープンコレクタ、負論理
Error信号
セットポイント1/2
LED表示：パワー、エラー、セットポイント1/2
電源電圧：DC24V±2V, 90mA（Max.）
入出力コネクタ：D-sub-15P（M2.6 screw）
本体質量：190g（測定子含まず）
付属品：入出力コネクタ 1式
クイックマニュアル 1部
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
特徴
圧力表示器が不要な場合の、コスト低減化、制御盤周りの省スペース化、省配線化などを実現しました。
測定子の交換を容易に行うことが可能です。
各種測定子（WP-01、WP-02、WP-03、WP-16）が使用可能です。
セットポイント2点の出力が可能です。
測定値出力はDC0～5V（非線形出力)
電源電圧：DC24V入力で使用可能です。
オプション
各種測定子：WP-01（Φ18）、WP-02（Φ15）、WP-03（PT3/8）、WP-16（NW16）
表示器：ISG1
SP1・ISG1接続用ディスプレイケーブル及びACアダプタ
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
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