特長
- 全自動制御となりますので真空装置の操作および、蒸着経験の有無に関わらずどなたでも仕上がりが均一になります。
- ワーク(試料)と蒸着材料の脱着以外はスタートボタンを押すのみの簡単操作です。
- タッチパネルで装置の状態を色分け表示していますので確認が行い易いです。
- 蒸着の条件がデジタル値となるので正確なデータを収集することが可能です。
- インターロック、アラーム機能による誤操作防止と安全確保。
- エラー対処内容がタッチパネルに表示され復旧作業をサポートします。
- 電気のみで圧空や冷却水を必要としません。
- 机上やドラフトチャンバー内に設置が可能なコンパクトサイズとなります。
仕様
| 型式 | E-250DT |
|---|---|
| 蒸着性能 | |
| 形成膜 | 金属等 |
| 膜厚分布 | ø50mm area±5% ø100mm area±10% |
| 蒸着方式 | 抵抗加熱方式 |
| 蒸着電源 | AC10V 100A（Max） |
| 蒸着制御 | 電圧制御 |
| ボート切替器 | 別置き |
| 基盤性能 | |
| サイズ | ø100mm以下 |
| 回転機構 | 無し |
| 排気性能 | |
| 主ポンプ | ターボ分子ポンプ（50 L/s） |
| 補助ポンプ | 油回転真空ポンプ（160L/min） |
| 到達圧力 | 1.0E-4Pa order（1 hour） |
| ポンプ排気 | 許容排気口圧力 20kPaG以下 |
| 電 源 | AC200V、1ø、50 ／ 60Hz、1.7KVA（1 電源） AC200V、1ø、50 ／ 60Hz、2.7KVA（2 電源） |
| アース | D種接地 |
| 重 量 | 装置本体 ： 48kg 油回転真空ポンプ ： 25kg 蒸着電源 ： 26kg ボート切替器 ： 4kg |
| 設置面積 | 本体 ： W400×D400×H670mm（ベルジャ ø250×H330） 蒸着電源 ： W260×D415×H320mm ボート切替器 ： W200×D320×H115mm |
| オプション | SUS ベルジャ |
| 膜厚モニター | |
| ボート切替器 | |
