金属膜+保護膜成膜装置│昭和真空社製（SPP-SERIES）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 金属膜+保護膜成膜装置│昭和真空社製（SPP-SERIES）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 SPP-SERIES メーカー ㈱昭和真空
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製品説明
装置構成：射出成型機連動型高速スパッタ・重合システム
最大基板寸法：W250mm×L500mm×D150mm
基板材質:PC、PET、PP、PEなど
スパッタレート：10nm/秒以上（Al)
重合レート：1nm/秒
排気速度：0.1Paまで40秒（スパッタ室）、10Paまで40秒（重合室）
生産サイクルタイム：基板投入から成膜・重合・取り出しまで約100秒以下
膜性能：反射率85％以上、KOH 1％ 10分
ポンプ構成：スパッタ室⇒油回転真空ポンプ+メカニカルブースターポンプ+ターボ分子ポンプ
重合室⇒油回転真空ポンプ+メカニカルブースターポンプ（ターボ分子ポンプ：オプション）
スパッタ室+重合室の2室構成
スパッタ室：ハイレートカソード(ターゲットサイズ：540mm×240mm)、40kW DC電源
重合室：グロー放電式重合電極×1、1kW RF電源
スパッタ材料：Al等
重合ガス：HMDSO(SiOx用)等
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
1.全自動：射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング：金属膜、重合：保護膜）することが可能
2.サイクルタイム：100秒（Al：100nm+SIOx：20nm）
3.高い密着度：アンダーコート無しでも高い密着率が得られる
PC基板アンダーコート無し、Al成膜後クロスカットして剥離無し
用途・応用例
自動車ヘッドランプリフレクター、ミラー、金属装飾膜
オプション
重合室：ターボ分子ポンプ
基板回転機構
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