特長
- 機械特性、電気特性技術に加えナノスケール赤外分光分析が単一システムで実現
- 大型試料対応
- ハイパフォーマンス10nm以下
基本仕様
| Icon-IR | |
|---|---|
| スキャンレンジ | XY 90μm |
| Zノイズフロア | ＜50pm RMS |
| 標準イメージモード | PeakForce Tapping、Contact Tapping、FAST Tapping Force Curves、Force modulation |
| 標準IRモード | Contact AFM-IR、Resonance Enhanced AFM-IR、Tapping AFM-IR、Surface Sensitive AFM-IR |
| レーザー種類 | QCL 780~1800cm-1（カイザー）、OPO 1900～2600cm-1（カイザー）、QCL 2700～3600cm-1（カイザー） |
| 選択可能なIRレーザー | 中赤外CW/Pレーザー 1900～2600cm-1（カイザー）、中赤外OPOレーザー 2700～3600cm-1（カイザー） |
AFMオプション
熱分析オプション
走査型示唆熱顕微鏡(VITA SThM)、局所熱分析(VITA nanoTA)
機械特性オプション
高速弾性率マッピング(PeakForce QNM HA)、動的粘弾性測定(NDMA)、300HzまでのDMA・ヒーター付き(AFM-ｎDMA 300Hz)、DMAレンジを20kHzまで拡張(AFM-ｎDMA 20kHz）、接触共振粘弾性マッピング＋QNM(FFV-CR with QNM-HR）
電気特性オプション
超微小電流測定+QNM(PeakForce TUNA with QNM)、微小電流測定(CAFM)、走査型キャパシタンス顕微鏡(SCM)、走査型拡がり抵抗顕微鏡(SSRM)、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡(sMIM2.0)、表面電位測定+QNM(KPFM with QNM)、表面電位測定(KPFM-U)、DCUBE TUNA/DCUBE SCM/DCUBE SSRM/DCUBE sMIM/DCUBE PFM
