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※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値より引用
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

3次元白色光干渉顕微鏡│ブルカージャパン社製(NPFLEX-1000)

※価格についてはお問い合わせください。

柔軟な大型試料対応の高精度製造ソリューションで、迅速かつ自動化された粗さ・表面テクスチャ測定を実現します。

特長

  • 大型・重量物の測定を可能にした高フレキシビリティモデル
  • 最大積載試料重量:50kg
  • 最大搭載試料サイズ(W×D×H):304mm×304mm×249mm
  • 各種3D測定:表面形状(粗さ)、形状、段差
  • 圧倒的な高さ測定ダイナミックレンジ:0.1nm~19mm
  • クローズドループ制御により高い測定再現性を実現
  • 試料に合わせた測定モードを標準搭載
  • 2種類の高輝度LEDで反射率の異なる素材にも適応
  • 豊富なオプション群から必要な機能を拡張可能
  • 300mm自動XYステージ(エンコード制御)
  • 電動傾斜調整ヘッド

仕様

NPFLEX-1000
測定方式 USI方式、VSI方式、PSI方式
垂直分解能 <0.01mm
段差再現性 <0.1%
使用光源 高輝度LED(白色・緑色)
最大測定速度 73μm/秒
最大測定レンジ 最大10mm
CCDカメラタイプ 標準型モノクロ 1200×1000画素、カラー(オプション)
XYステージサンプル 300mm×300mm電動(エンコーダー制御)
Zステージ 200mm電動
Zサンプルスペース 249mm電動(XYステージ上)、350mm電動(XYステージ取外し時)
傾斜調整 ±6°電動メーションヘッド(コンピュータコントロール)
制御・解析ソフトウェア(Vision64基本機能) 自動調整(光量、範囲)、2D解析、3D解析、マルチリージョン解析、オートフォーカス、スティッチングステージプログラム、Vision64Map(高機能オフライン制御解析ソフトウェア)

オプション

    シングル対応対物レンズ

    • 超長作動レンズ(対物レンズアダプタ一体型):2.0X、5.0X、10.0X
    • 対物レンズアダプタ
    • 低倍干渉対物レンズ:1.5X
    • 長作動干渉対物レンズ:2XLWD、5XLWD、10XLWD

    アップグレードツール

    • ステージ:360°回転ステージ
    • スペーサー:150mm
    • ガントリコラム:電動ガントリZステージ、90°スイベルガントリ

    装置のアップグレード

    • リアルカラーイメージングシステムの追加が可能です。
    • 干渉計測によって得られた高さ情報に加え、リアルカラー情報を同時に取得します。
    • 顕微鏡視野内で色の異なる表面の計測においてリアルカラーシステムは優れた性能を発揮します。

    この製品を導入した実績

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