特長
- 大型基板の自動測定に対応するハイエンドモデル
- 電動機能（内部レンズ交換、対物レンズ交換、光量調整、焦点調整、スキャン量調整)
- 300mm自動XYステージ(エンコード制御）
- 電動傾斜調整ヘッド
- 各種3D測定：表面形状(粗さ）、形状、段差
- 圧倒的な高さ測定ダイナミックレンジ：0.1nm~19mm
- クローズドループ制御により高い測定再現性を実現
- 試料に合わせた測定モードを標準搭載
- 2種類の高輝度LEDで反射率の異なる素材にも適応
- 豊富なオプション群から必要な機能を拡張可能
- 高機能ピエゾスキャナー：分解能0.01nmRMS再現性0.04nm
- リファレンスシグナル(リアルタイム)：内部レーザーによる自己校正
仕様
| Contour GT-X | |
|---|---|
| 測定方式 | USI方式、VSI方式、PSI方式 |
| 垂直分解能 | <0.01mm |
| 段差再現性 | <0.1% |
| 使用光源 | 高輝度LED(白色・緑色) |
| 最大測定速度 | 114μm/秒 |
| 最大測定レンジ | 最大10mm |
| CCDカメラタイプ | 標準型モノクロ 1200×1000画素、カラー(オプション) |
| XYステージサンプル | 300mm×300mm電動(エンコーダー制御) |
| Zステージ | 100mm電動 |
| Zサンプルスペース | 80mm |
| 傾斜調整 | ±6°電動メーションヘッド(コンピュータコントロール) |
| 制御・解析ソフトウェア（Vision64基本機能） | 自動調整(光量、範囲）、2D解析、3D解析、マルチリージョン解析、オートフォーカス、スティッチングステージプログラム、Vision64Map(高機能オフライン制御解析ソフトウェア) |
オプション
タレット対応対物レンズ
- 標準対物レンズ：2.5X、5X、10X、20X、50X、115X
- 光学ズームレンズ：0.55X、0.75X、1.5X、2X
シングル対応対物レンズ
- 対物レンズアダプタ
- 低倍干渉対物レンズ：1.5X
- 長作動干渉対物レンズ：2XLWD、5XLWD、10XLWD
- 環境対応レンズ(TTM型)レンズ：2XTTM、5XTTM、10XTTM、20XTTM
装置のアップグレード
- リアルカラーイメージングシステムの追加が可能です。
- 干渉計測によって得られた高さ情報に加え、リアルカラー情報を同時に取得します。
- 顕微鏡視野内で色の異なる表面の計測においてリアルカラーシステムは優れた性能を発揮します。
