3次元白色光干渉顕微鏡│ブルカージャパン社製（Contour GT-X）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 3次元白色光干渉顕微鏡│ブルカージャパン社製（Contour GT-X）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 Contour GT-X メーカー ブルカージャパン㈱
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製品説明
・Contour GT-X基本仕様
測定方式：USI方式、VSI方式、PSI方式
垂直分解能：<0.01mm
段差再現性：<0.1%
使用光源：高輝度LED(白色。緑色)
最大測定速度：114μm/秒
最大測定レンジ：最大10mm
CCDカメラタイプ：標準型モノクロ 1200×1000画素、カラー(オプション)
XYステージサンプル：300mm×300mm電動(エンコーダー制御)
Zステージ：100mm電動
Zサンプルスペース：80mm
傾斜調整：±6°電動メーションヘッド(コンピュータコントロール)
・制御・解析ソフトウェア：Vision64基本機能
自動調整(光量、範囲）、2D解析、3D解析、マルチリージョン解析、オートフォーカス、スティッチング
ステージプログラム、Vision64Map(高機能オフライン制御解析ソフトウェア)
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
大型基板の自動測定に対応するハイエンドモデル
電動機能（内部レンズ交換、対物レンズ交換、光量調整、焦点調整、スキャン量調整)
300mm自動XYステージ(エンコード制御）
電動傾斜調整ヘッド
各種3D測定：表面形状(粗さ）、形状、段差
圧倒的な高さ測定ダイナミックレンジ：0.1nm~19mm
クローズドループ制御により高い測定再現性を実現
試料に合わせた測定モードを標準搭載
2種類の高輝度LEDで反射率の異なる素材にも適応
豊富なオプション群から必要な機能を拡張可能
【オプション】
高機能ピエゾスキャナー：分解能0.01nmRMS再現性0.04nm
リファレンスシグナル(リアルタイム)：内部レーザーによる自己校正
オプション部品
・タレット対応対物レンズ
標準対物レンズ：2.5X、5X、10X、20X、50X、115X
光学ズームレンズ：0.55X、0.75X、1.5X、2X
・シングル対応対物レンズ
対物レンズアダプタ
低倍干渉対物レンズ：1.5X
長作動干渉対物レンズ：2XLWD、5XLWD、10XLWD
環境対応レンズ(TTM型)レンズ：2XTTM、5XTTM、10XTTM、20XTTM
装置のアップグレード
リアルカラーイメージングシステムの追加が可能です。
干渉計測によって得られた高さ情報に加え、リアルカラー情報を同時に取得します。
顕微鏡視野内で色の異なる表面の計測においてリアルカラーシステムは優れた性能を発揮します。
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