ContourX-500
ContourX-500光学式プロファイラー（三次元白色干渉型顕微鏡・表面粗さ計・白色干渉計）は、高速で非接触の3次元表面形状測定を可能にする、世界で最も包括的なベンチトップ型自動測定システムです。ゲージ対応のContourX-500は、卓越したZ軸の分解能と精度を誇り、ブルカーの白色光干渉計（WLI）のフロアスタンド型モデルの利点をすべて備えていますが、設置面積ははるかに小さくなっています。このプロファイラは、精密加工された表面形状測定や半導体プロセスのQA/QC計測、眼科向けやMEMSデバイス用の研究開発における特性評価まで、幅広い複雑なアプリケーション用途に合わせて、容易にカスタマイズすることが可能です。
特長
- 電動チップ/チルトヘッド構造を搭載した顕微鏡ヘッドのハイパフォーマンスモデル
- 各種3D測定：表面形状(粗さ）、形状、段差
- 圧倒的な高さ測定ダイナミックレンジ：0.1nm~10mm
- クローズドループ制御により高い測定再現性を実現
- 試料に合わせた測定モードを標準搭載
- 2種類の高輝度LEDで反射率の異なる素材にも適応
- 日本語対応ソフトで誰でも簡単に操作可能
- 手動、電動のセットが選択可能
- 豊富なオプション群から必要な機能を拡張可能
仕様
| Contour X-500 | |
|---|---|
| 測定方式 | USI方式、VSI方式、PSI方式USI方式、VSI方式、PSI方式 |
| 垂直分解能 | <0.01mm |
| 段差再現性 | <0.1% |
| 使用光源 | 高輝度LED(白色・緑色) |
| 最大測定速度 | 37μm/秒 |
| 最大測定レンジ | 最大10mm |
| CCDカメラタイプ | 標準型モノクロ 1200×1000画素、カラー(オプション) |
| XYステージサンプル | 150mm×150mm電動(エンコーダー制御) |
| Zステージ | 100mm電動 |
| Zサンプルスペース | 100mm、150mmの切替え |
| 傾斜調整 | ±6°電動メーションヘッド(コンピュータコントロール) |
| 制御解析ソフトウェア（Vision64基本機能） | 自動調整(光量、範囲）、2D解析、3D解析、マルチリージョン解析、オートフォーカス、スティッチングステージプログラム、Vision64Map(高機能オフライン制御解析ソフトウェア) |
オプション部品
タブレット対応対物レンズ
- 標準対物レンズ：2.5X、5X、10X、20X、50X、115X
- 光学ズームレンズ：0.55X、0.75X、1.5X、2X
シングル対応対物レンズ
- 対物レンズアダプタ
- 低倍干渉対物レンズ：1.5X
- 長作動干渉対物レンズ：2XLWD、5XLWD、10XLWD
- 環境対応レンズ(TTM型)レンズ：2XTTM、5XTTM、10XTTM、20XTTM
装置のアップグレード
- リアルカラーイメージングシステムの追加が可能です。
- 干渉計測によって得られた高さ情報に加え、リアルカラー情報を同時に取得します。
- 顕微鏡視野内で色の異なる表面の計測においてリアルカラーシステムは優れた性能を発揮します。
